Математическое моделирование лазерной подгонки пленочных резисторов
Вид материала | Автореферат |
СодержаниеПостоянные { Переменные { Подгонка { Печать ( r ) Основные выводы и результаты Библиографический список |
- Математическое моделирование управляемого движения космических аппаратов, 213.72kb.
- Программа дисциплины имитационное моделирование в экономике для направления 080100., 228.47kb.
- Математическое моделирование многомерных квазистационарных электромагнитных полей, 380.28kb.
- Правительстве Российской Федерации» (Финансовый университет) Кафедра «Математическое, 246.23kb.
- И математическое моделирование, 1392.77kb.
- Математическое моделирование термомеханических процессов в системах армированных стержней, 259.01kb.
- Вестник Брянского государственного технического университета. 2007. №4(16) математическое, 61.09kb.
- Программа вступительного испытания собеседования для магистерской программы «математическое, 67.11kb.
- Cols=2 gutter=66> Математическое моделирование и процесс создания математической модели, 130.19kb.
- Математическое моделирование процессов самоорганизации в широкополосных системах 05., 181.86kb.
ЗАГОЛОВОК ‘ Подгонка ’; {Заголовок выводится на график
подгонки и на таблицу}
ПОСТОЯННЫЕ { Раздел постоянных данных}
Delta=0.01; {Точность подгонки}
Ua = 0; {Потенциал на левой границе}
Ub= 3; {Потенциал на правой границе}
ПЕРЕМЕННЫЕ {Раздел описания переменных}
R {Неизвестное сопротивление}
ФУНКЦИИ {Раздел функций расчета сопротивления}
Func1;
{ Раздел описания геометрических областей}
ОБЛАСТЬ 1
начало (10,10);
линия 1 (10,20);
. . . . . . . . . . . .
ПОДГОНКА {Раздел имитации подгонки}
Старт (15,15);
Перемещение ((x=,y-), (40,0), 5, 1); { Перемещение по Y со скоростью
5 мм/сек и включенным лазером}
ВЫВОД { Раздел вывода результатов}
ПЕЧАТЬ ( R );
ГРАФИК ( R ) ;
КОНЕЦ.
Применение языка при реализации имитационных моделей обеспечивает гибкость при написании программы, ее отладке и испытании и позволяет разрабатывать клиент-серверные версии системы моделирования с распределенными вычислениями и технологическими действиями с возможностью настройки на специфику предприятий, изготавливающих гибридные интегральные схемыазрабатывать клиент-серверные версии системы с распределенными .
В приложении приведены акты внедрения.
ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ И РЕЗУЛЬТАТЫ
В результате исследований процессов лазерной подгонки пленочных резисторов гибридных ИС разработаны научные основы и методология математического моделирования лазерной подгонки, что позволяет утверждать, что цели диссертации достигнуты.
Научные, технические и технологические решения доведены до алгоритмов и комплексов программ, внедрение которых позволяет увеличить выход годных гибридных ИС в условиях роста требований к их выходным параметрам.
В процессе работы над диссертацией автором получены следующие результаты.
1. Разработана математическая нечеткая модель лазерной подгонки на основе объединения четких моделей изменения конфигурации РЭ и нечеткой модели оценки его состояния.
2. Предложена система методов расчета ПХ РЭ для имитации подгонки в процессе моделирования.
3. Разработан алгоритм моделирования лазерной подгонки на основе метода анализа иерархий.
4. Разработан комплекс программ, позволяющий в цикле моделировать и проектировать лазерную подгонку, прогнозировать ее результаты, выбирать наиболее предпочтительный вариант проекта при настройке механизма регулирования ТП.
5. Определен состав языка моделирования подгонки, с помощью которого
можно редактировать сценарии моделирования РЭ и отображать результаты.
6. Применение комплекса программ сокращает объем физических экспериментов в 5-20 раз и позволяет проектировать подгонку для сложных конфигураций РЭ и форм лазерных резов.
7. Полученные результаты имеют широкое применение в гибридных и полупроводниковых ИС, микросистемной технике и в других областях, где лазер является единственным средством регулирования и обеспечения качества.
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
Монография
1. Антонов, Ю.Н. Проектирование средств регулирования в методе лазерной подгонки. УлГТУ 2007. 134 с.
Публикации в изданиях из перечня ВАК
2. Антонов, Ю.Н. Программное обеспечение автоматизированной установки лазерной подгонки резисторов / Ю. Н. Антонов, К. И. Вершинин, В.М. Николаев // Приборы и системы управления. М.: Машиностроение, 1991.
№ 8. С. 17.
3. Антонов, Ю.Н. Идентификация состояния пленочных резисторов и гибридных интегральных схем при нормировании точности сопротивления / Ю. Н. Антонов// Метрология. М.:ИПК Изд-во «Измерительная техника», 2004. № 11. С. 3134.
4. Антонов, Ю. Н. Разработка проекта нормирования точности сопротивления резисторов гибридных интегральных схем методом лазерной подгонки
/ Ю. Н. Антонов // Радиотехника и электроника. М.: РАН, 2006. том 51.
№ 11. С. 15.
5. Антонов, Ю.Н. Применение нечетких моделей данных для регулирования технологического процесса изготовления плат гибридных интегральных схем
/ Ю. Н. Антонов // Известия вузов. ЭЛЕКТРОНИКА. 2007. 2. С. 934.
6. Антонов, Ю.Н., Соснин П.И. Оценка устойчивости технологического процесса изготовления плат гибридных интегральных схем / П. И. Соснин, Ю. Н. Антонов // Известия вузов Поволжский регион. Технические науки Пенза: ПГУ, 2007.
№ 3(30). С. 109114.
7. Антонов, Ю.Н. Допусковый контроль резистивных элементов и идентификация плат гибридных интегральных схем с помощью нечеткой экспертной системы / Ю. Н. Антонов // Известия Самарского научного центра РАН. Моделирование и управление. Самара: Изд-во Самарского научного центра РАН, 2006. Том. 8. № 4(18). С. 10611066.
8. Антонов, Ю.Н. Автоматизированная система допускового контроля резисторов гибридных ИС / Ю. Н. Антонов // Известия Самарского научного центра РАН. Технологии, процессы и системы в ходе их эволюционного развития. Самара: Изд-во Самарского научного центра РАН, 2006. Том. 1. № 4(18). С. 1218.
Публикации в зарубежных журналах
9. Аntonov, Yn. N. Use of Laser Trimming for the Development of a Project for Accuracy-Normalization of the Resistance of Resistors in Hybrid Integrated Circuits // Yn. N. Antonov // Journal of Communications Technology and Electronics. Pleiades Publishing inc., 2006. Vol. 51. № 12. pp. 13511355.
10. Antonov, Y. Features of application of the laser method for normalization of accuracy of resistors in hybrid integrated circuits / Y Antonov // Key Engineering Materials. Zuerich. Switzerland: Trans Tech Publications, 2005. Vols. 291-292. pp. 643646.
Материалы зарубежных конференций
11. Antonov, Y. The indistinct approach to an estimation of condition of film resistors and hybrid integrated circuits / Y. Antonov // ICEP 2006. International Conference on Electronics Packaging (April 19-21 2006 г.). Tokyo. Japan. p. 360-364.
12. Antonov, Y. Features of application of the laser method for normalization of accuracy of resistors in hybrid integrated circuits // Y. Antonov // Advances in Abrasive Technology VIII. ISAAT2005: international symposium (St. PetersBurg 21 24 June 2005). Zuerich. Switzerland: Trans Tech Publications, 2005.
p. 643646.
Материалы международных конференций
13. Антонов Ю.Н. Моделирование процесса нормирования точности пленочных резисторов методом лазерной подгонки / Ю.Н. Антонов // Новые методологии проектирования изделий микроэлектроники «NEW DESIGN METODOLOGIES». Материалы международной научно-технической конференции (г. Владимир 19-20 декабря 2002 г.). – Владимир: ВГУ, 2002. – С. 18-19.
14. Антонов, Ю.Н. Измерение сопротивления пленочных РЭ в процессе нормирования точности / Ю. Н. Антонов // Теория методы и средства измерений, контроля и диагностики: материалы международной IV научно-практической конференции (Новочеркасск 20 сентября 2003 г.). Новочеркасск: ЮРГТУ, 2003. Ч. 1. С. 4347.
15. Антонов, Ю. Н. Модель распознавания РЭ в процессе лазерной подгонки / Ю. Н. Антонов // Методы и алгоритмы прикладной математики в технике, медицине и экономике: материалы III Международной научно-практической конференции (Новочеркасск 17 января 2003 г.). Новочеркасск: ЮРГТУ, 2003. Ч. 2.
– с. 41-42
16. Antonov, Y. N. Expert Support of Design of Film resistors normalization Process
/ U. N. Antonov // The Problems of Human - Computer Interaction: international Conference Interactive Systems And Tecnologies. Ulyanovsk: ULSTU, 2003.
p. 4851.
17. Antonov, Y. N. Designing of process of resistance accuracy normalization of film resistors in hybrid integrated circuits / U. N. Antonov // The Problems of Human - Computer Interaction: international Conference Interactive Systems And Tecnologies. Ulyanovsk: ULSTU, 2003. p. 6769.
18. Антонов, Ю.Н. Моделирование процесса лазерной подгонки резисторов гибридных интегральных схем / Ю. Н. Антонов // Компьютерное моделирование 2004: труды 5-й Международной научно технической конференции (Санкт-Петербург 29 июня 3 июля). СПб.: Издво «Нестор», 2004. Ч. 2. С. 106109.
19. Антонов, Ю.Н. Применение моделирования для проектирования процесса лазерной подгонки резисторов ГИС / Ю. Н. Антонов // Системы искусственного интеллекта и нейроинформатика: труды международной конференции «Континуальные алгебраические логики, исчисления и нейро-информатика в науке и технике КЛИН-2004» (г. Ульяновск, 1820 мая 2004 г.) / Под общей ред. Л. И. Волгина. Ульяновск: УлГТУ, 2004. Том 3. С. 811.
20. Антонов, Ю.Н. Экспертная поддержка проектирования процесса нормирования точности пленочных резисторов гибридных интегральных схем / Ю. Н. Антонов //Микропроцессорные, аналоговые и цифровые системы: материалы IV Международной научно-практической конференции
(г. Новочеркасск 27 февраля 2004 г.). Новочеркасск: ЮРГТУ, 2004. С. 5558.
21.Антонов, Ю.Н. Возможности гибридной технологии микроэлектроники / Ю. Н. Антонов // Датчики и преобразователи информации систем измерения, контроля и управления: материалы XVI научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов (г. Москва 24-31 мая 2004 г.). М: МГИЭМ, 2004.
-С. 357359.
22. Antonov, U. N. Parameters Of Efficiency Of Technological Systems Of Hybrid Integrated Circuit Manufacturing / U. N. Antonov // The Problems of Human – Computer Interaction: international Conference Interactive Systems And Tecnologies.
Ulyanovsk: ULSTU, 2005. pр. 205208.
23. Антонов, Ю. Н. Нечеткий подход к оценке состояния гибридных интегральных схем / Ю. Н. Антонов // Электроника и информатика2005: материалы V Международной научно-технической конференция (Зеленоград 23-25 ноября 2005). М.: МИЭТ, 2005. Ч. 2. С. 5-6.
24. Antonov, Y . Methods Of State Evaluation Of Plates In Hybrid Integrated Circuits / Y. Antonov // The Problems of Human - Computer Interaction: International Conference Interactive Systems And Technologies (Ulyanovsk 26-30 September 2005). ). Ulyanovsk: ULSTU, 2005. Vol. 1. P. 209212.
25. Антонов, Ю.Н. Роботизированный модуль лазерной подгонки пленочных резисторов / Ю. Н. Антонов // Проблемы синергетики в трибологии трибоэлектрохимии, материаловедении, и мехатронике: материалы IV Международной научно-практической конференции (г. Новочеркасск 4 ноября 2005 г.). Новочеркасск: ЮРГТУ, 2004. С. 4952.
26. Антонов, Ю.Н. Использование теории нечетких множеств для контроля гибридных интегральных схем / Ю. Н. Антонов // Интеллектуальные электромеханические устройства, системы и комплексы: материалы VI Международной научно-практической конференции (г. Новочеркасск 21 октября 2005 г.). Новочеркасск: ЮРГТУ, 2004. С. 1114.
Другие публикации
27. Антонов, Ю. Н. Разработка экспертной системы для лазерной подгонки пленочных резисторов ГИС. / Ю. Н. Антонов // Микроэлектроника в машиностроении: материалы международной научно-технической конференции (Ульяновск, 11-12 марта 1992 г.). Ульяновск.: НПК УЦМ, 1992. С. 3738.
28. Антонов, Ю. Н. Применение средств машинной графики для сопровождения процесса лазерной подгонки пленочных резисторов / Ю. Н. Антонов // Микроэлектроника в машиностроении: материалы международной научно-технической конференции (Ульяновск, 11-12 марта 1992 г.). Ульяновск.:
НПК УЦМ, 1992. С. 3940.
29. Антонов, Ю. Н. Принципы построения модели анализа качества элементов топологии в процессе лазерной подгонки / Ю. Н. Антонов // Микроэлектроника в машиностроении: материалы международной научно-технической конференции (Ульяновск, 11-12 марта 1992 г.). Ульяновск.: НПК УЦМ, 1992. С. 6667.
30. Соснин, П.И. Разработка траектории коррекции пленочных резисторов ГИС / П.И. Соснин, Ю. Н. Антонов // Методы и средства преобразования и обработки информации. Ульяновск: УлГТУ, 1998. С. 8184.
31. Антонов, Ю.Н. Метод расчета резисторов с лазерной коррекцией / Ю.Н. Антонов // Информационные технологии системы и приборы. Ульяновск: УлГТУ, 1998. С. 7479.
32. Соснин, П. И. Программно-логический метод управления коррекцией пленочных резисторов гибридных интегральных схем / П. И. Соснин, Ю. Н. Антонов // Компьютерные технологии в науке, проектировании и производстве: материалы 1 всероссийской международной научно-технической конференции (г. Нижний Новгород, 3-4 февраля 1999 г.). Нижний Новгород: НГТУ, 1999. Ч. 2. С. 1819.
33. Антонов, Ю. Н. Модели изучения объекта / Ю. Н. Антонов // материалы ХХХIII научно-технической конференции (г. Ульяновск, 19-31 января 1999 г.). Ульяновск: УлГТУ, 1999. С. 5758.
34. Ю. Н. Антонов // Моделирование и обработка информации в технических системах: материалы Всероссийской научно-технической конференции
(г. Рыбинск, 1820 мая 2004 г.). Рыбинск: РГАТА, 2004. С. 278281.
35. Антонов, Ю.Н. Интеллектуализация процесса лазерной подгонки пленочных резисторов микросборок и гибридных интегральных схем / Ю. Н. Антонов // Аэрокосмические технологии и оборудование: материалы Всероссийской научно-практической конференции (г. Казань, 1013 августа 2004 г.). Казань: КГТУ, 2004. Том 3. С. 634639.
36. Антонов, Ю. Н. Применение траекторного подхода к нормированию точности сопротивления пленочных резисторов гибридных ИС / Ю. Н. Антонов // Электроника: материалы II Всероссийской научно-технической конференция (Зеленоград 17 ноября 11 декабря 2003 г.). М.: МИЭТ, 2003. С. 8485.