Geum.ru

Техническое задание

Вид материалаТехническое задание
Лот №9 «Универсальный спектрометр (1 ед.)»
Технические требования
Комплект поставки
Лот №10 «Комплект оборудования для пробоподготовки (1 комплект)»
Комплект поставки
2. Отрезной станок
Комплект поставки
Лот №11 «Вакуумная часть установки для определения динамики роста пленок (1 ед.)»
Наименование камеры
Комплект поставки
Лот №12 «Вакуумные установки магнетронного распыления» (2 ед.)
Требования к поставке оборудования
1. Вакуумная установка напыления структуры хром-медь-хром
Комплект поставки
2. Вакуумная установка для напыления резистивных слоев
Лот №13 «Ламповый генератор изображений (1 ед.)»
Комплект поставки
Лот №14 «Комплект оборудования для технологии полиимид-алюминий (1 комплект)»
Требования к поставке оборудования
1. Установка нанесения фоторезиста.
...
Полное содержание
Подобный материал:
1   ...   12   13   14   15   16   17   18   19   ...   23

Лот №9

«Универсальный спектрометр (1 ед.)»


Оборудование должно быть зарегистрировано в Государственном реестре средств измерений и допущено к применению в Российской Федерации.


Технические требования:

Эксплуатация должна производиться в условиях умеренного и холодного климата.

Питание: сеть переменного тока напряжением 220В ± 10% с частотой (50 ± 1) Гц.

Максимальный возможный размер исследуемого образца 50×50 мм – с многопозиционным поворотным столиком; 120×100 мм – с единичным держателем.

Спектрометр должен определять массовые доли элементов от №3 (Li) до №92 (U) с пределом обнаружения массовых долей элементов от 10-4 до 100 %, с пределом допускаемой относительной погрешности измерений массовых долей от 0,1 до 30%.

Предел обнаружения химических элементов должен быть 10-6 - 10-3 %.

Количество одновременно определяемых элементов должно быть от 1 до 20.

Должен быть предусмотрен блок охлаждения лазера, т.е. обеспечен подвод и слив воды.

Средняя наработка на отказ не менее 5000 часов.

Средний срок службы не менее 8 лет.

Масса не более 120 кг.

Диапазон рабочих температур от 10 до 35°С

Относительная влажность воздуха при 20°С от 30 до 80 %.

Атмосферное давление от 84 до 106,7 кПа.


Комплект поставки:

Лазерный атомный эмиссионный спектрометр должен содержать: основной лазер, пилотный лазер, фокусирующее устройство, систему зеркал (включающее избирательно пропускающее зеркало), объектив камеры образцов, объектив монохроматора, нить монохроматора в держателе и видеокамеру, а также столик для закрепление по крайней мере одного исследуемого образца, выполненный с возможностью перемещения в трех направлениях и поворота вокруг своей оси.

Комплект ЗИП: лампа накачки лазера, ключи торцевые, отвертка, визуализатор лазерного пучка, заглушка системы охлаждения, сливной патрубок, стекло покровное.


Лот №10

«Комплект оборудования для пробоподготовки (1 комплект)»


Состав лота


№ п/п
Наименование товара
Коли-чество

1.
Шлифовально-полировальный станок
1 ед.

2.
Отрезной станок
1 ед.

3.
Компрессор масляный с термозащитой
1 ед.


1. Шлифовально-полировальный станок


Технические требования:

Шлифовально-полировальный диск должен быть диаметром 200мм.

Регулируемая скорость вращения 40-600 об/мин с шагом 10 об/мин

Направление вращения происходит против часовой стрелки.

Мощность мотора ~ 370 Вт

Система должна быть обеспечена входом и выходом для воды и вводным краном.

Должна быть встроенная система охлаждения диска до 300 об/мин

Уровень шума в холостом режиме в 1 м от станка должен быть не более 60Дб

Уровень шума во время подготовки 60 Дб

Питание: 1 - фазная сеть напряжением 220-240 V, частотой 50-60 Гц

Номинальная мощность 440 Вт

Давление воды 1-10 бар

Подвод воды (диаметр) должен составлять 1/2"

Слив воды (диаметр) должен составлять 32 мм

Габаритные размеры: 315×410×670 мм

Вес 25 кг

Программное управление сенсорное, ЖК дисплей 128×64 точек с белой подсветкой.

Скорость вращения шлифовально-полировального устройства – 150 об/мин

Направление вращения против часовой стрелки

Мощность мотора 35 Вт

Регулировка усилия давления от 10 до 50 Н с шагом 5 Н

Регулировка держателя образцов 10-50 Н×3, шаг 5 Н×3

Подключение 24 В от полуавтоматического шлифовально-полировального станка

Должен быть обеспечен подвод воздуха (диаметр) 5 мм + 8мм

Давление воздуха должно составлять 5-10 бар

Подключаемый воздух должен иметь чистоту 5.6.4 по ISO 8573-1

Габаритные размеры 445×175×311 мм

Вес 7 кг

Регулировка времени должна быть 5 сек – 99 мин. 30 сек.

Должно быть программное управление, LCD-дисплей.

Уровни дозирования должны быть:

- суспензии 0,2-4,0 мл в 20 шагах

- комплексные суспензии 0,2 – 12 мл в 20 шагах

- лубриканты 0,2 – 12 мл в 20 шагах

- ОР-суспензии 20,0 – 90,0 мл в 20 шагах

Должно быть сенсорное программное управление, LCD дисплей с белой подсветкой.

Габаритные размеры 380×200×210 (без платформы)/550 (с платформой)

Вес без платформы 8,5 кг, вес с платформой 10,0 кг.

Прибор должен эксплуатироваться при температуре 5-40°С, влажности 0-95%

Централизованное питание системы от шлифовально-полировального станка.

Возможность подключения станка к сети Интернет.


Комплект поставки:

- полуавтоматический шлифовально-полировальный станок с микропро-цесссорным управлением, с регулируемой скоростью вращения.

- автоматическое устройство для шлифования и полирования 1-3 образцов.

- автоматическая дозирующая система, содержащая 10 запрограммированных методов и 200 пользовательских методов для дозирования 6 алмазных суспензий и 1 оксидной суспензии.

- регулятор давления и фильтровальный блок.

- держатель образцов. Для залитых/незалитых образцов.

- выравнивающее устройство.

- расходные материалы для магнитной фиксации на пробоподготовительном диске комплект уникальных алмазных суспензий «два в одном» содержащих высококачественные алмазы + охлаждающую жидкость.

ЗИП в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период гарантийного обслуживания станка;

- информация об основных комплектующих с телефонами и адресами их представительств в России.


2. Отрезной станок


Технические требования:

Напряжение сети 220V или 115V, частота 50-60 Гц

Мощность двигателя 38 Ватт

Скорость вращения от 100 до 420 об/мин

Диаметр 12,7 мм (1/2")

Диаметр отрезного диска 75-127 мм (3"-5")

Охлаждающий блок 250 мл

Габаритные размеры 400×280×400

Вес 8 кг.

Режущее давление 0-350 гр.

Отрезаемая способность максимум 30 мм.

Станок должен быть оснащен микрометрическим винтом. Точность позиционирования образца ± 0,01 мм.

Дополнительное оборудование – компрессор масляный с термозащитой. Объем ресивера 15 л.


Комплект поставки:

Низкоскоростной высокоточный отрезной станок.

Комплект с универсальным образцовым держателем, включающий держатель:
    1. - для общего использования. Зажим типа тисков, максимальное раскрытие 25 мм/1";
    2. - для длинных образцов. С двойными параллельными тисками;
    3. - для круглых образцов (max диаметр отверстия 30 мм /1 ½");
    4. - для образцов неправильной формы, с 5 винтами. Максимальное раскрытие 30 мм;
    5. - без отверстий для образцов допускающих приклеивание. Размер образцов 30х40 мм;
    6. - для круглых и квадратных образцов. Зажим с каплеобразным отверстием max. диаметром 20мм.

Фланцевый набор Ø 42 мм или 65 мм.

Набор отрезных дисков

Присадки для охлаждающей системы

ЗИП в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период гарантийного обслуживания станка;

- информация об основных комплектующих с телефонами и адресами их представительств в России.


Лот №11

«Вакуумная часть установки для определения динамики роста пленок (1 ед.)»


Технические требования к вакуумной части установки для определения динамики роста пленок в условиях имитации открытого космоса:

Корпус вакуумной части установки должен быть выполнен из нержавеющей полированной стали.

Вакуумная часть установки при функционировании в процессе испытаний должна обеспечивать постоянную температуру образцов-имитаторов оптических поверхностей в пределах от –30 до +120 °С. Температурный интервал посадочного места для образца-имитатора оптической поверхности – от -40ºС до +150ºС. Холодопроизводительность термостата при минимальной температуре – до 100 Вт. Время достижения заданной температуры не более 2 часов.

Вакуумная часть установки для определения динамики роста пленок в условиях имитации открытого космоса должна состоять из 4-х независимых камер (будут уточняться на этапе проектирования):

- Рабочая камера – диаметр 300 мм, высота 300 мм;

- Шлюз для загрузки материалов – диаметр 200 мм, высота 150 мм;

- Шлюз для загрузки образцов-имитаторов оптических поверхностей – диаметр 200 мм, высота 150 мм;

- Шлюз загрузки/выгрузки герметичного контейнера – диаметр 100 мм, длина 200 мм.

Вакуумная система установки должна обеспечивать предельный вакуум в камерах в соответствии с таблицей 1.

Таблица 1

Наименование камеры
Предельный вакуум,

Па
Время откачки до предельного вакуума не более, мин

Рабочая камера
1,33х10-4
60

Шлюз для загрузки материалов
1,33х101
10

Шлюз для загрузки

образцов-имитаторов
1,33х101
10

Шлюз загрузки/выгрузки

герметичного контейнера
1,33х101
10


Вакуумная часть установки должна обеспечивать:

- тлеющий разряд в рабочей камере – напряжение 3000 В, ток до 0,05А.

Вакуумная часть установки должна обеспечивать возможность установки дополнительного оборудования:

- масс-спектрометра с массой до 200 а.е. для определения в процессе исследования состава летучих веществ;

- лазерного интерферометра (спектрофотометра) для определения в процессе исследования толщины и скорости роста пленки-загрязнителя;

- атомно-силового микроскопа для исследования структуры образующейся пленки-загрязнителя.

Уравнивание давления в шлюзах должно обеспечиваться с помощью инертного газа (N2).

Конструкция вакуумной части установки должна предусматривать возможность заполнения рабочей камеры инертными газами (N2, Ar).

Конструкция вакуумной части установки должна предусматривать возможность изъятия образцов-имитаторов оптических поверхностей без воздействия на них атмосферы.

Вакуумная часть установки должна обеспечивать одновременную загрузку 5 – 10 образцов материалов и их нагрев до + 150 °С. Вращение кассеты с образцами материалов установки в процессе испытаний должно обеспечивать равномерное распределение веществ, выделившихся из исследуемых образцов материалов, в пленке на образце-имитаторе оптической поверхности. Время достижения заданной температуры не более 2 часов.

Внутренний объем рабочей камеры установки должен постоянно находиться под глубоким вакуумом для исключения влияния атмосферы на стенки камеры.

Конструкция вакуумных узлов установки должна предусматривать возможность периодической очистки вакуумных узлов от загрязнений, возникающих в ходе эксплуатации с помощью тлеющего разряда и ручной протиркой бязевыми салфетками, смоченными органическими растворителями.

Время непрерывной работы установки до 72 часов.

Энергопотребление 8 кВт

Электропитание 380 В, 3-х фазное

Охлаждающая вода температурой 18 - 20ºС

Скорость подачи охлаждающей воды 0,5 м3/час

Сжатый воздух 4 атм., осушенный

Габаритные размеры установки (ДхШхВ) 2,5х2х2,2 м. Согласовать!

Вес не более 500 кг.


Комплект поставки:

Вакуумная часть установки для определения динамики роста пленок в условиях имитации открытого космоса.

Комплект гермоконтейнеров.

ЗИП в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период гарантийного обслуживания станка;

- информация об основных комплектующих с телефонами и адресами их представительств в России.


Лот №12

«Вакуумные установки магнетронного распыления» (2 ед.)


Состав лота


№ п/п
Наименование товара
Коли-чество

1.
Вакуумная установка напыления структуры хром-медь-хром
1 ед.

2.
Вакуумная установка для напыления резистивных слоев
1 ед.


Требования к поставке оборудования:


Характеристики вакуумных установок и их технологические возможности должны быть подтверждены Заказчиком при приемке оборудования дважды: на территории Исполнителя по окончании всех работ по производству установок и на территории Заказчика по окончании всех работ по монтажу, наладке и сдаче в эксплуатацию.

Приемка оборудования должна производиться на основании программы испытаний, согласованной и утвержденной сторонами при подписании договора.

Вакуумные установки должны обеспечивать получение пленок с заданными параметрами на поликоровых подложках ВК100-1 размером 60х48 мм, 48х30 мм толщиной от 0,5 до 2,0 мм (Ще0.781.000 ТУ) при использовании материалов, изготовленных в России (хром, медь, нихром, никель, сплавы на основе Cr-Si-Ni, Cr-Si-Co и др.).


Технические требования:


1. Вакуумная установка напыления структуры хром-медь-хром

Установка должна быть оснащена безмаслянными средствами откачки.

Предельно-допустимое разрежение в рабочей камере - 5·10-5 Па.

Вакуумная установка должна работать в двух режимах: ручном и автоматическом.

Вакуумная камера должна быть цилиндрической формы.

Камера, детали внутри камеры, диск держателей подложек, кожухи и другие детали должны быть изготовлены из нержавеющей стали.

Конструкция камеры, крышек камеры, диска (карусели) и расположение технологических устройств (магнетронов, источников, нагревателей) должны обеспечивать свободный доступ к ним.

Конструкция диска (карусели) должна обеспечивать надежное крепление поликоровых подложек размером 30×48 мм и 60×48 мм в количестве не менее 10 – 12 штук.

Конструкция приводов вращения карусели должна обеспечивать равномерное вращение со скоростью 60 – 100 об/мин и точное позиционирование без вращения карусели.

Датчик измерения температуры и «свидетели» для измерения сопротивления нижнего хрома должны находиться на свободной позиции карусели.

Отпыл мишеней должен проводиться на заслонки.

Зоны распыления должны быть закрыты кожухами для облегчения выполнения профилактических работ.

Нагреватель на основе кварцевых ламп должен обеспечивать равномерный нагрев подложек с двух сторон до (350±10)°C.

Контроль процесса напыления структуры хром-медь-хром должен проводиться по двум параметрам: времени и сопротивлению «свидетеля».

Тип источников очистки и их расположение должны обеспечивать равномерную и качественную очистку поверхности поликоровых подложек с двух сторон.

Системы подачи рабочих газов должны обеспечивать работу установок с использованием аргона и азота.

Тип магнетронов, их мощность, количество и расположение в камере установки для нанесения структуры хром-медь-хром должны обеспечивать двухстороннее нанесения структуры Cr-Cu-Cr с толщиной меди до 15 мкм как в режиме позиционирования (равномерность покрытия для меди ±2%), так и в режиме вращения карусели (равномерность покрытия меди ±3-5%). Скорость напыления меди в режиме позиционирования 1-3 мкм/мин.

Габаритные размеры установки – не более 1340х725х1470 мм.


Комплект поставки:

Вакуумный пост:

- камера вакуумная 1

- клапан откачки 2

- клапан напуска 2

- датчик широкодиапазонный 1

- датчик низковакуумный 1

- затвор высоковакуумный 1

- насос механический безмасляный 1

- насос турбомолекулярный 2200 л/сек 1

- держатель подложек 1

- нагреватель подложек до 350 °C 1

- щитки от запыления 1

Средства контроля:

- программно по времени цикла 1

- контроль по сопротивлению «свидетеля» и времени 1

Газовая система:

- расходомеры (аргон, кислород, азот) 1

Система охлаждения / нагрева замкнутая с рециркулятором:

- замкнутая система охлаждения с рециркулятором 1

Пневматическая система:

- пневмоостров 1

Технологические устройства:

- круглый магнетрон диаметром 150 мм на 7 кВт 4

- ионный источник очистки 2

- компенсатор ионного заряда 2

Стойка питания и управления:

- блок питания общий 1

- панель управления ЖК 1

- контроллер управления откачкой 1

- блок питания ионного источника 1

- блок питания магнетрона 2

Комплект программного обеспечения:

- вакуумная откачка 1

- управляющее программное обеспечение

технологическим процессом 1

- шаблоны процессов 1

- редактор операций 1

Комплект эксплуатационной документации

(в бумажном и на компакт диске) 1

Комплект ЗИП и сменных частей в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период его гарантийного обслуживания.


2. Вакуумная установка для напыления резистивных слоев


Установка должна быть оснащена безмаслянными средствами откачки.

Предельно-допустимое разрежение в рабочей камере - 5·10-5 Па.

Вакуумная установка должна работать в двух режимах: ручном и автоматическом.

Вакуумная камера должна быть цилиндрической формы.

Камера, детали внутри камеры, диск держателей подложек, кожухи и другие детали должны быть изготовлены из нержавеющей стали.

Конструкция камеры, крышек камеры, диска (карусели) и расположение технологических устройств (магнетронов, источников, нагревателей) должны обеспечивать свободный доступ к ним.

Конструкция диска (карусели) должна обеспечивать надежное крепление поликоровых подложек размером 30×48 мм и 60×48 мм в количестве не менее 10 – 12 штук.

Конструкция приводов вращения карусели должна обеспечивать равномерное вращение со скоростью 60 – 100 об/мин и точное позиционирование без вращения карусели.

Датчик измерения температуры и «свидетели» для измерения сопротивления нижнего хрома должны находиться на свободной позиции карусели.

Отпыл мишеней должен проводиться на заслонки.

Зоны распыления должны быть закрыты кожухами для облегчения выполнения профилактических работ.

Нагреватель на основе кварцевых ламп должен обеспечивать равномерный нагрев подложек с двух сторон до (350±10)°C.

Контроль процесса напыления структуры хром-медь-хром должен проводиться по двум параметрам: времени и сопротивлению «свидетеля».

Тип источников очистки и их расположение должны обеспечивать равномерную и качественную очистку поверхности поликоровых подложек с двух сторон.

Системы подачи рабочих газов должны обеспечивать работу установок с использованием аргона и азота.

В камере установки для напыления резистивных сплавов на основе сплавов Cr-Si-Ni, Cr-Si-Co и др. должно быть три магнетрона.

Тип магнетронов, их мощность и расположение в камере установки должны обеспечивать получение резистивных слоев с удельным поверхностным сопротивлением от 50 Ом/ до 1000 Ом/, толщиной пленок (1000 – 1500 А°) с равномерностью покрытия ±1%.


4.2 В базовый комплект вакуумной установки для напыления резистивных слоев должны входить:

Вакуумный пост:

- камера вакуумная 1

- клапан откачки 2

- клапан напуска 2

- датчик широкодиапазонный 1

- датчик низковакуумный 1

- затвор высоковакуумный 1

- насос механический безмасляный 1

- насос турбомолекулярный 2200 л/сек 1

- держатель подложек 1

- нагреватель подложек до 350 °C 1

- щитки от запыления 1

Средства контроля:

- контроль по сопротивлению «свидетеля» и времени 1

Газовая система:

- расходомеры (аргон, кислород, азот) 1

Система охлаждения / нагрева замкнутая с рециркулятором:

- замкнутая система охлаждения с рециркулятором 1

Пневматическая система:

- пневмоостров 1

Технологические устройства:

- планарный магнетрон размер мишени 150×80 мм 3

- ионный источник очистки 1

- компенсатор ионного заряда 1

Стойка питания и управления:

- блок питания общий 1

- панель управления ЖК 1

- контроллер управления откачкой 1

- блок питания компенсатора ионного заряда 1

- блок питания ионного источника 1

- блок питания магнетрона 1

Комплект программного обеспечения:

- вакуумная откачка 1

- управляющее программное обеспечение

технологическим процессом 1

- шаблоны процессов 1

- редактор операций 1

Комплект мишеней: 1

Комплект эксплуатационной документации

(в бумажном виде и на компакт диске) 1

Комплект ЗИП и сменных частей в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период его гарантийного обслуживания.


Лот №13

«Ламповый генератор изображений (1 ед.)»


Технические требования:

Назначение: генератор предназначен для изготовления эмульсионных фотошаблонов при производстве интегральных схем, полупроводниковых приборов различного назначения, фотоэлектронных преобразователей, ЖК-индикаторов и экранов, прецизионных печатных плат, фотошаблонов ГИС, микроволновых схем, специальных измерительных и тестовых шаблонов, как в производстве, так и в научно-исследовательских целях. (добавлено)

Размер заготовок от 76×76 до 127×127 мм.

Максимальное перемещение координатного стола не менее 150×150 мм.

Погрешность позиционирования координатного стола ± 0,3 мкм.

Дискретность задания перемещений координатного стола 0,25 мкм.

Параметры наборного элемента:

- диапазон размеров 4 – 1500 мкм;

- погрешность размеров до ±0,5 мкм;

- дискретность изменения размеров 0,5 мкм.

Параметры качества контуров наборного элемента:

- неровность края не более 0,5 мкм.

Погрешность автоматического поворота

наборного элемента в диапазоне 0 – 90 град. не более 0,02°.

Производительность генератора при работе в режиме

сканирования на регулярных структурах не менее 200 000 эксп./час.

Питание генератора – однофазная двухпроводная с нулевым проводом сеть переменного тока 220 В, частота 50 Гц.

Подача в ОМУ сжатого воздуха под давлением 0,6 МПа (6 кгс/см2).

Расход сжатого воздуха не более 15 м3/час.

Подсоединение ОМУ к вакуумной магистрали с абсолютным давлением от 0,02 до 0,04 МПа (0,2-0,4 кгс/см2).

Количество экспозиций лампы не менее 109 экспозиций или не менее 1500 часов непрерывной работы.

Масштаб проекционного уменьшения не менее 1:20.

Занимаемая площадь 16 м2

Вес 1800 кг.


Комплект поставки:

- устройство оптико-механическое;

- управляющий комплекс;

- комплект ЗИП и сменных частей в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период гарантийного обслуживания станка;

- протокол проверки точности на заводе-изготовителе.


Лот №14

«Комплект оборудования для технологии полиимид-алюминий (1 комплект)»


Состав лота


№ п.п.
Наименование модулей (оборудования)
Кол-во

1
Установка нанесения фоторезиста
1 шт.

2
Установка двухстороннего экспонирования
1 шт.

3
Модуль проявления фоторезиста и травления полиимида
1 шт.

4
Модуль предварительной подготовки и травления алюминия
1 шт.

5
Модуль снятия фоторезиста
1 шт.

6
Модуль технологический
1 шт.

7
Камера термодубления
1 шт.

доп. опции
Комплект ванн
1 комплект.


Требования к поставке оборудования:

Приемка оборудования должна производиться на основании программы испытаний, согласованной и утвержденной сторонами до подписания договора


Технические требования:


1. Установка нанесения фоторезиста.

Установка должна обеспечивать одно (двух) стороннее нанесение фоторезиста на плоские заготовки.

Размер заготовки не более 100×100 мм.

Толщина нанесенного фоторезиста 1,5 – 2,5 мкм.

Максимальная потребляемая мощность 5,6 кВт.


2. Установка двухстороннего экспонирования.

Установка должна обеспечивать одно (двух) стороннее экспонирование плоских заготовок с максимальным размером 100×100 мм.

Максимально потребляемая мощность, не более 1 кВт.


3. Модуль проявления фоторезиста и травления полиимида

Модуль должен обеспечивать работу в ваннах с органическими растворителями плоских заготовок, промывку и сушку в отсеке.

Модуль должен быть оснащен камерой обеспыливания с системой очистки принудительно подаваемого в рабочую зону воздуха и полипропиленовым патрубком для подсоединения к цеховой вентиляции.

Нагревательные элементы ванн не должны вносить загрязнений в технологические среды, ванны с подогревом должны быть укомплектованы термодатчиками для непрерывного измерения температуры. Точность поддержания температуры ±1°C.

Ванны изготовить из фторопласта и оборудовать крышками из этого же материала.

Обеспечить оснастку для жесткого крепления заготовок полиимид-алюминий размером 100×100 мм по двум сторонам.

Под ваннами должны быть расположены полипропиленовые поддоны.

Модуль должен быть оснащен открывающимися прозрачными экранами по фронту шкафов.

Ванна сушки подогретым воздухом:

температура 40 – 50 °C

время 15 мин.

Предусмотреть съемную конструкцию ванн.

Ванна для травления полиимида и горячая промывка водой должны быть обеспечены термодатчиками.

Размер модуля:

длина не более 1310 мм

ширина 800 мм.


4. Модуль предподготовки и травления алюминия.

Модуль должен обеспечивать обработку плоских заготовок в ваннах с травителем алюминия, промывки горячей и холодной водой, декапирования и сушке в отсеке.

Модуль должен быть оснащен камерой обеспыливания с системой очистки принудительно подаваемого в рабочую зону воздуха и полипропиленовым патрубком для подсоединения к цеховой вентиляции.

Нагревательные элементы ванн не должны вносить загрязнений в технологические среды, ванны с подогревом должны быть укомплектованы термодатчиками для непрерывного измерения температуры. Точность поддержания температуры ±1°C.

Ванны изготовить из фторопласта и оборудовать крышками из этого же материала.

Обеспечить оснастку для жесткого крепления заготовок полиимид-алюминий размером 100×100 мм по двум сторонам.

Под ваннами должны быть расположены полипропиленовые поддоны.

Модуль должен быть оснащен открывающимися прозрачными экранами по фронту шкафов.

Ванна сушки подогретым воздухом:

температура 40 – 50 °C

время 15 мин.

Предусмотреть съемную конструкцию ванн.

Размер модуля:

длина не более 1920 мм

ширина 800 мм

В модуле травления алюминия должна осуществляться подача дистиллированной воды и слив воды из ванн для промывки.

Ванна для травления алюминия должна быть оборудована сливным патрубком.

Ванна для травления алюминия должна быть оснащена термодатчиком.


5. Модуль снятия фоторезиста.

Модуль должен обеспечивать работу в органических растворителях плоских заготовок, промывку и сушку.

Модуль должен быть оснащен камерой обеспыливания с системой очистки принудительно подаваемого в рабочую зону воздуха и полипропиленовым патрубком для подсоединения к цеховой вентиляции.

Нагревательные элементы ванн не должны вносить загрязнений в технологические среды, ванны с подогревом должны быть укомплектованы термодатчиками для непрерывного измерения температуры. Точность поддержания температуры ±1°C.

Ванны изготовить из фторопласта и оборудовать крышками из этого же материала.

Обеспечить оснастку для жесткого крепления заготовок полиимид-алюминий размером 100×100 мм по двум сторонам.

Под ваннами должны быть расположены полипропиленовые поддоны.

Модуль должен быть оснащен открывающимися прозрачными экранами по фронту шкафов.

Ванна сушки подогретым воздухом:

температура 40 – 50 °C

время 15 мин.

Предусмотреть съемную конструкцию ванн.

Ванна с форсаном должна быть оснащена термодатчиком.

Общий размер модуля:

длина не более 1310 мм

ширина не более 800 мм


6. Модуль технологический.

Модуль должен быть оснащен камерой обеспыливания с системой очистки принудительно подаваемого в рабочую зону воздуха и полипропиленовым патрубком для подсоединения к цеховой вентиляции.

Нагревательные элементы ванн не должны вносить загрязнений в технологические среды, ванны с подогревом должны быть укомплектованы термодатчиками для непрерывного измерения температуры. Точность поддержания температуры ±1°C.

Ванны изготовить из фторопласта и оборудовать крышками из этого же материала.

Обеспечить оснастку для жесткого крепления заготовок полиимид-алюминий размером 100×100 мм по двум сторонам.

Под ваннами должны быть расположены полипропиленовые поддоны.

Модуль должен быть оснащен открывающимися прозрачными экранами по фронту шкафов.

Ванна сушки подогретым воздухом:

температура 40 – 50 °C

время 15 мин.

Предусмотреть съемную конструкцию ванн.

Длина модуля не более 1310 мм.


7. Камера термодубления.

2.8.1 Должна обеспечивать сушку заготовок полиимид-алюминий с нанесенным фоторезистом.

2.8.2 Максимальная температура 140°C.

2.8.3 Размеры не более 500×500×400 мм.

2.8.4 Электрическая мощность не более 3,0 кВт.


Комплект поставки по Лоту:

- установка нанесения фоторезиста;

- установка совмещения;

- камера термодубления;

- шкаф вытяжной полипропиленовый 4 шт.

- модуль проявления:

ванны 60×200×200 мм 4 шт.

сушка 250×200×200 мм 1 шт.

- модуль травления полиимида:

ванны 60×200×200 мм 1 шт.

60×250×200 мм 2 шт.

сушка 250×200×200 мм 1 шт.

- модуль снятия фоторезиста:

ванны 60×200×200 мм 7 шт.

60×250×200 мм 1 шт.

сушка 250×200×200 мм 1 шт.


К дополнительным опциям относится:

№

п/п
Габаритные размеры ванны, мм
Материал
Толщина стенки, мм
Количество

1.
120×130×45
фторопласт
5
3

2.
120×130×45
полипропилен
5-7
5

3.
120×110×70
фторопласт
5
3

4.
120×110×70
полипропилен
5-7
6

5.
500×350×60
полипропилен
5-7
12

6.
300×200×60
фторопласт
5
2

7.
300×200×60
полипропилен
5-7
8

8.
200×100×80
фторопласт
5
2

9.
200×100×80
полипропилен
5-7
5

10.
100×100×80
фторопласт
5
2

11.
100×100×80
полипропилен
5-7
4

12.
550×350×60
нерж. сталь
3
2


Лот №15

«Установка контактного размножения фотошаблонов (1 ед.)»


Технические требования.

Установка контактного размножения должна быть предназначена для переконтакта с эмульсионного фотошаблона на фотопластину и с эмульсионного фотошаблона на фотопленку.

Размеры заготовок от 76×76 до 127×127 мм.

Максимальное рабочее поле осветителя 150×150 мм.

Размер минимального элемента 0,004 мм.

Невоспроизводимость размеров элементов ±0,0003мм.

Толщина эмульсионного фотошаблона 2,5 – 3 мм.

Толщина пленочного фотошаблона 170 мкм


Комплект поставки:

- установка с необходимым набором модулей;

- комплект ЗИП и сменных частей в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период его гарантийного обслуживания;

- вакуумный насос;

- протокол проверки точности на заводе-изготовителе.


Лот №16

«Установка нанесения фоторезиста (1 ед.)»


Технические требования:


Установка должна обеспечивать нанесение фоторезистов методом центрифугирования.

Установка должна обеспечивать сброс воды с двух сторон с подложек размерами 48×30×1 мм, 48×30×0.5 мм, 60×48×1 мм, 60×48×0.5 мм, 102×102 мм.

Конструкция должна обеспечивать надежное крепление подложек и надежное закрытие камеры сброса крышкой.

Материал чаши – ПВХ.

Диаметр чаши 210 мм.

Скорость вращения 100 – 8000 об/мин.

Точность вращения ±5 об/мин.


Комплект поставки:

- камера нанесения фоторезиста (камера сброса воды);

- чаша;

- PLC контроллер с сенсорной панелью;

- комплект оригинальной технической документации;

- комплект технической документации на русском языке;

- обучение оператора у Заказчика оборудования;

- комплект ЗИП и сменных частей в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период его гарантийного обслуживания.

- устройство для сброса воды с двух сторон подложек;

- комплект фторопластовых держателей для подложек размерами 48×30×1 мм, 48×30×0.5 мм, 60×48×1 мм, 60×48×0.5 мм, 102×102 мм.


Лот №17

«Микроскоп-интерферометр (1 ед.)»


Технические требования.

Диапазон измерения параметров шероховатости

Rmax, Rz и толщины пленок, мкм 0.1 – 0.8

Пределы допускаемой систематической

погрешности при измерении Rmax, Rz, % ±22

Увеличение при визуальном наблюдении 500

Линейное поле зрения в пространстве предмета, мм 0.3

Диапазон перемещения предметного столика

в горизонтальной плоскости в продольном

и поперечном направлениях, мм 0 – 10

Цена деления шкал барабанов микрометрических винтов, мм 0,005

Цена деления шкалы барабана

микрометрического механизма фокусировки, мм 0,002

Визуализация изображения объектов посредством цифровой фотокамеры с разрешением не менее 8 мегапикселей.


Комплект поставки:

Микроинтерферометр ЛИННИКА, предназначенный для измерения параметров шероховатости полированных и доведенных поверхностей;

Система визуализации изображения на базе цифровой фотокамеры с разрешением не менее 8 мегапикселей.

Микрометр окулярный винтовой МОВ-1-16x;

Окуляр симметричный 15x;

Втулка переходная для окуляра;

Сетка 4,5×3 мм, в оправе;

Вкладыш столика;

Источник питания 9 В, 25 Вт

Лампы галогенные 9В, 70 Вт;

ЗИП в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период его гарантийного обслуживания.


Лот №18

«Профилометрическая приставка (1 ед.)»


Технические требования:

Приставка для модернизации микроскопа МИИ – 4М до уровня профилометра должна обеспечивать контроль толщины пленок и глубины микрорельефа ±50 мкм с наноразмерным разрешением.

Профилометр должен иметь два режима измерения: однофокусный режим с диапазоном измерения ±2 мкм с погрешностью ±20 нм и многофокусный режим с диапазоном измерения ±50 мкм с ошибкой ±(20 нм + 0.01·Т), где Т – измеренное значение глубины микрорельефа.

Размер светового контролируемого поля – 250×250 мкм.

Диапазон коэффициента отражения контролируемой поверхности от 2 % до 100 %.

Аксиальное пространственное разрешение при измерении в однофокусном режиме – 1 – 4 нм (в зависимости от числа интерференционных полос в кадре).

Количество пикселей цифровой видеокамеры должно быть не менее 3 Мегапикселей.

Пороговая чувствительность лазерного интерференционного датчика перемещения объектива должна быть не более 0.1 нм.

Программное обеспечение должно поддерживать работы в однофокусном и многофокусном режимах.

Программное обеспечение должно обеспечивать следующие возможности математической обработки:

- линейная и параболическая аппроксимация формы рельефа;

- вычисление высоты ступеньки;

- вычисление среднеквадратичной величины неровности микрорельефа.


Комплект поставки:

- цифровая USB видеокамера;

- управляющий компьютер с операционной системой;

- блок волоконного осветителя с USB – портом;

- лазерный интерферометрический датчик перемещения объектива с вводом данных в управляющий компьютер;

- комплект кабелей, необходимых для работы;

- компакт – диск с программным обеспечением профилометрической приставки;

- комплект технической документации на русском языке;

- профилометрическая приставка в целях использования для можернизации микроинтерферометра, изготовленных до 1990 г. с инструкцией по эксплуатации на русском языке;

- тест-объекты для проверки горизонтальных размеров и глубины микрорельефа.

- комплект ЗИП и сменных частей в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период его гарантийного обслуживания.


Лот №19

«Однобалочный опорный кран (1 ед.)»


Технические требования.

Грузоподъёмность крана – 10,0 т.

Пролёт – 12,0 м.

Длина пути – 8,5 м.

Высота подъёма крюка крана – 9,0 м.

Скорость подъёма груза – 8/2 м/мин

Скорость перемещения грузовой тележки – не более 20,0 м/мин.

Скорость перемещения крана – не более 20,0 м/мин.


Комплект поставки:

- однобалочный опорный кран;

- электроталь г/п 10,0 т;

- электрический щит с внутренним наполнением;

- система автоматического управления краном с пола;

- комплект технической документации на русском языке;

- обучение оператора у Заказчика оборудования;

- комплект ЗИП и сменных частей в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период его гарантийного обслуживания.


Лот №20

«Счетчик аэрозольных частиц (2 ед.)»


Приборы должны быть зарегистрированы в Государственном реестре средств измерений и допущены к применению в Российской Федерации.


Технические требования:

Чувствительность 0.5 мкм при скорости пробоотбора 28,4 л/мин;

Измерения в 4 каналах: 0.5 / 1.0 / 5.0 /10.0 мкм;

Измерения в 4 каналах одновременно;

Объем памяти данных не менее 1500 измерений;

Корпус из нержавеющей стали;

Работа от сети 220В 50Гц;

Сенсорный монохромный дисплей 5.7'' (14.47 см);

Изокинетический пробоотборник;

Размеры (20,32 х 21,59 х 22,60) см;

Обработка результатов по стандартам ISO 14644-1.

Должны быть представлены данные о возможностях ввода (вывода) управляющих программ.


Комплект поставки:

- корпус счётчика аэрозольных частиц из нержавеющей стали;

- сенсорный монохромный дисплей 5.7'' (14.47 см);

- изокинетический пробоотборник;

- подтверждение точности параметров независимой испытательной лабораторией, аккредитованной при Росстандарте РФ.

ЗИП в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период гарантийного обслуживания станка.


Лот №21

«Криогенные сосуды (4 ед.)»


Технические требования.

Криогенный сосуд для сжижения газов:

- оснащен экранно-вакуумной изоляцией;

- оборудован запорнорегулирующей и предохранительной арматурой, уровнемером, контрольными приборами, включающими в себя систему поддержания давления и экономайзер, систему регулирования и поддержания давления, имеющий встроенный продукционный испаритель.

Рабочий объем сосуда 85 литров.

Рабочее давление до 27 атм.

Производительность сосуда по газу 4,5 нм3/час.

Криогенные сосуды должны обеспечивать хранение и перемещение жидкого азота.

Материал – нержавеющая сталь.

Размер сосуда: диаметр – 500 мм, высота – 920 мм.

Металлорукав, Р100 кг/см2, втулка Dнар 10х1,5х20, материал – сталь 12х18Н10Т, Ду 10мм.

Фитинг для присоединения металлорукава и криогенного сосуда, материал – нержавеющая сталь, Ду 10мм.


Комплект поставки:

– криогенные сосуды – 4 ед.;

– металлорукав – 4 ед.;

– переходные устройства (фитинг) – 4 ед.;

– ЗИП в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период его гарантийного обслуживания.


Лот №22

«Комплект криогенного оборудования (1 комплект)»


Технические требования.

Технологические возможности и характеристики оборудования должны быть подтверждены тестированием при его сдаче на площадке Заказчика.

Комплект криогенного технологического оборудования должен обеспечивать следующие технологические операции:

- хранение жидкого азота в количествах, превышающих его суточное потребление

- раздачу жидкого азота в емкости типа VLC 085HP;

- внутрицеховую транспортировку и хранение жидкого азота в объеме суточного потребления;


Комплект поставки:
  • криогенная цистерна в горизонтальном исполнении

на массу заправляемого жидкого азота 5000 кг (аналог – ЦТК - 5/0,5) 1 шт.
  • металлорукав ДУ-40 для заправки криогенной цистерны 2 шт.
  • металлорукав ДУ-20 2 шт.
  • соединительная муфта для металлорукава ДУ-40 1 шт.
  • соединительная муфта для металлорукава ДУ-20 1 шт.
  • переходная насадка для заправки сосуда Дьюара СК-16 1 шт.
  • переходная насадка для заправки сосуда Дьюара СК-25 1 шт.
  • переходная насадка для заправки емкости для жидкого азота VLC-085-HP 1 шт.
  • ЗИП в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период его гарантийного обслуживания.


Лот №23

«Тепловизор (1 ед.)»


Изготовление тепловизора для проведения дистанционной инфракрасной диагностики и термографии любого радиотехнического и промышленного оборудования


Технические требования,

В качестве детектора используется неохлаждаемая микроболометрическая матрица, 640х480 элементов.

Диапазон измерения температуры от минус 40 °С до плюс 500 °С, опционально до плюс 2000 °С.

Чувствительность лучше 0,02 °С при 30 °С.

Точность измерения плюс 2 °С или плюс 2 % от показания.

Спектральный диапазон 8 – 14 мкм.

Угловое поле зрения в горизонтальной плоскости – 21,7°х в вертикальной – 16,4°.

Пространственное разрешение 0,6 мрад (при использовании стандартного объектива).

Диапазон фокусировки от 30 см до бесконечности.

Частота кадров 30 кадров в секунду.

Визуализация с помощью видоискателя с изменяемым углом наклона, и поворотного дисплея 5,6 дюйма.

Коррекция коэффициента излучения от 0,10 до 1,00. Встроенная таблица коэффициента излучения для различных материалов.

Должна быть предусмотрена корректировка изображения с учетом влияния внешних факторов среды.

Должна быть предусмотрена компенсация фона.

Должна быть предусмотрена функция отображения до 4 изотермических полос.

Должны быть предусмотрены функции автоматической регулировки с полностью автоматической регулировкой уровней температуры, чувствительности, фокусного расстояния и с автоматическим контролем уровня и коэффициента усиления.

Функции обработки изображений должны включать:
        • композитное отображение термограммы и видеоизображения,
        • изменение уровня температур и чувствительности в режиме стоп-кадра,
        • индикацию температуры в нескольких (до 10) точках,
        • индикацию значения разности температур между двумя точками,
        • индикацию максимальной/минимальной температуры, измеряемой по всему изображению или по отдельной его части (с фиксацией максимальных значений),
        • выделение нескольких (до 5) областей измерений с индикацией максимальной, минимальной и средней температуры.

Должна присутствовать встроенная, цветная 1,3 мегапикселя видеокамера.

Лазерный целеуказатель - красный лазер, класс излучения 2 (1мВт).

Видеовыход – NTSC/PAL, композитный видеосигнал, S –video.

Интерфейсы – IEEE1394, USB 2.0, карта памяти CompactFlash 4 Гб


Комплект поставки:
        • основной блок тепловизора,
        • дополнительные приспособления для расширения диапазона диагностики до плюс 2000 °С,
        • сетевой блок питания,
        • аккумуляторная батарея (2 шт.),
        • зарядное устройство,
        • карта памяти CompactFlash (4 Гб),
        • картридер,
        • чемодан для транспортировки и хранения,
        • ремешок на руку,
        • шейный ремень,
        • защитная крышка объектива,
        • программное обеспечение,
        • руководство по эксплуатации,
        • кабель USB,
        • устройство подсветки цели,
        • комплект ЗИП и сменных частей в объемах для обеспечения запуска и бесперебойной работы оборудования на период его гарантийного обслуживания,
        • паспорт на оборудование,
        • инструкция по монтажу и эксплуатации оборудования,
        • список основных комплектующих с телефонами и адресами представительств их поставщиков в России.


Лот №24

«Система управления виброиспытаниями для вибростенда (1 ед.)»