Планирование деятельности предприятия ОАО "Технология" по производству кремниевых пластин
Дипломная работа - Менеджмент
Другие дипломы по предмету Менеджмент
?темы.
.Блок управления, в который входят микропроцессор, датчики и устройства вывода.
Рис.3.Оборудование роста кристаллов фирмы Kayex. США
Научная деятельность направлена на улучшение качества выращиваемого кремния по основным электрофизическим и структурным параметрам. Это, в первую очередь, относится к достижению однородного распределения легирующих примесей и кислорода по всему слитку, низкой концентрации микродефектов и посторонних примесей. Разработана новая система газодинамики, исключающая негативное влияние конвективных потоков аргона в камере печи. Использован специальный газонаправляющий экран (колодец), который формирует поток аргона, исключающий возможность образования и диффузии монооксида кремния непосредственно в расплав. Производственная деятельность направлена на увеличение объема готовой продукции за iет оптимизации технологических процессов выращивания и увеличении массы загрузки исходного сырья в тигель по сравнению со стандартными значениями.
Ростовые установки переведены на компьютерное управление технологическим процессом, разработанное совместно с организацией Бизнес-Альянс.
Контроль качества выращенного слитка и его доводка до готовой продукции заключается в измерении электрофизических и структурных параметров выращенного слитка выделении части слитка, удовлетворяющей требованиям потребителя, а также придании формы и геометрических размеров в соответствии с требованиями потребителя.
.3 Мероприятия по внедрению новой технологии
В настоящее время ОАО Технология для выращивания монокисталлического кремния использует установку фирмы Kayex США.
Для развертывания производства пластин ОАО Технология приобретает станок проволочной резки швейцарской фирмы НСТ (Аш Си Ти), установку для отмывки пластин и установку для упаковки пластин.
Анализ оборудования для резки пластин, которое предлагает российская промышленность показал, что на рынке представлено оборудование для изготовления полупроводниковых пластин, которое не удовлетворяет требования времени. Около 15 - 20% кремния теряется при традиционной резке слитков кремния на пластины алмазными кругами, что вызвано несовершенством существующего процесса резки кремния, при котором резка осуществляется лезвиями с внутренней режущей кромкой.
В Европе создана и успешно используется принципиально новая высокоэффективная технология резки слитков кремния на пластины. Она воплощена в станках, где использована технология проволочной резки (Wire Saw Mashine). Такая технология позволяет значительно сократить потери кремния при резке (до 10%), многократно увеличить производительность и, как следствие, сильно сократить себестоимость продукции.
Введение в строй нового швейцарского станка фирмы НСТ типа WS380 позволит:
создать ультразвуковую безотходную линию отмывки пластин;
создать систему технологического учета, близкую к стандарту ISO9002.
Достоинства станка фирмы НСТ перед отечественными:
повышенная производительность резки;
экономия кремния (мало кремния уходит в стружку);
высокое качество поверхности пластин.
В технологическом процессе резки кремния на пластины используются следующие расходные материалы:
проволока из быстрорежущей стали;
абразив (карбид кремния);
техническое масло типа Кафран.
Поставщик карбида кремния - фирма Силикон карбид, проволоки - НСТ, масла - Кафран (Франция).
После резки пластины нужно отмыть от масла. Расходные материалы для отмывки:
техническая вода;
моющее средство Биол.
Для установки станка, отмывочной установки и упаковочной машины будет арендовано производственное помещение ЗАО Далекс. Согласие администрации завода получено. Помещения оборудованы всеми необходимыми коммуникациями для подачи электроэнергии, воды и сжатого воздуха, а также для устройства канализации и телефонной связи.
В соседнем помещении будет организован участок технического контроля качества пластин и участок упаковки пластин в пленку.
Ниже представлена общая схема производства.
рис 1. Схема производства
Контроль качества и упаковка
Для контроля качества пластин необходим участок технического контроля. Контролируемые параметры:
толщина;
выпуклость-вогнутость;
клиновидность;
шероховатость;
наличие потеков после отмывки.
Готовые пластины упаковываются в полиэтиленовую термоусаживающуюся пленку типа ЭВА по 250 шт. в одной упаковке. Это делается с помощью упаковочной машины фирмы Байер (Германия), полиэтиленовая пленка - отечественная.
Виды отходов, возникающих во время процесса резки слитков кремния на пластины, и способ их утилизации приведены в таблице 9.
Таблица 9.
Виды отходов и их утилизация
Вид отходаСпособ утилизацииЦенаОтработанная смесь масла, абразива и кремнияСдача в пункт утилизации нефтепродуктов90 рублей за бочку 200 лОтработанная проволокаВ металлоломБесплатноОтходы полиэтиленовой пленкиПункт сбора мусора радиозаводаВходит в арендную платуОтработанный раствор средства БиолВ гальванический цех радиозаводаВходит в арендную платуОбрезки кремнияВ переплавку-
Данные о персонале, который нужно принять на работу для производства пластин, приведены в таблице 10.
Таблица 10.
Персон