Бурнаевский Игорь Сергеевич, студент, Национальный исследовательский университет «миэт», igor bs@mail ru 12 программа
| Вид материала | Программа |
- 2-я международная научно-техническая конференция технологии, 68.17kb.
- Национальный Исследовательский Мордовский Государственный Университет им Н. П. Огарёва», 211.68kb.
- Конференция пит-2010 проведена на базе Самарского государственного аэрокосмического, 176.83kb.
- Программа конференции 25-27 октября 2011 года Уфа, 2712.43kb.
- Программа международной научно-методической конференции национальный исследовательский, 365.41kb.
- Внастоящей работе проведен анализ зависимостей затухающих акустических колебаний отливок, 47.5kb.
- Программа конференции включает: Пленарное заседание, 119.03kb.
- Программа «вуз здорового образа жизни» на 2011-2013, 675.7kb.
- Правительство Российской Федерации Национальный исследовательский университет «Высшая, 578.52kb.
- Программа дисциплины «Командообразование» для направления 080500. 68 «Менеджмент», 305.87kb.
РАЗРАБОТКА МЕТОДИКИ ВЕРИФИКАЦИИ БИБЛИОТЕК СТАНДАРТНЫХ ЦИФРОВЫХ ЯЧЕЕК
Ильин Сергей Алексеевич,
инженер-конструктор 2-ой категории (СГК)
ОАО “НИИМЭ и Микрон”, silin@sitronics.com
На современном этапе научно-технического развития области разработки сложных интегральных схем одним из важных критериев качества по-прежнему является сокращение времени, затраченного на их безошибочную разработку. Удовлетворение данного критерия достигается за счет широкого применения автоматических и автоматизированных маршрутов проектирования и верификации устройств.
Важным элементом автоматизированного маршрута синтеза, как структурного, так и физического, цифровых устройств являются библиотеки стандартных цифровых элементов, содержащие комбинационные и последовательностные ячейки различного типа. Наиболее важными являются описания библиотек стандартных ячеек в форматах Liberty и Verilog. В связи с ключевой ролью этих представлений в процессе синтеза, становится актуальной задача верификации данных содержащихся в этих представлениях. Для проведения верификации библиотек в форматах Liberty и Verilog, была разработана следующая методика, основанная на системе тестов:
- Тестирование средствами САПР: проверка синтаксиса. компиляция; зачитывание данных программным продуктом. Реализуется при помощи специальных командных файлов, которые могут создаваться вручную или генерироваться автоматически для проверки того или иного представления.
- Автоматизированное тестирование про помощи специализированных программных средств:
- Тест на «полноту»
Проверка наличия всех необходимых представлений и/или описаний ячейки;
- Тест «целостности данных»
Проверка того, что данное представление ячейки содержит все необходимые данные и атрибуты;
- Тест «корректности данных»
Проверка данных на корректность (корректность изменения данных, корректность значений величин);
- Тест «сравнения»
Сравнение двух Liberty – файлов и анализ содержащихся в них параметров.
Для реализации предложенной методики были написаны скрипты на языках PERL и Shell, которые обеспечивали автоматизированное выполнение групп тестов.
Применение предложенной методики позволило значительно ускорить работу по выявлению и исправлению ошибок в библиотеках стандартных цифровых элементов и повысить эффективность разработки библиотек. Данная методика используется в ОАО “НИИМЭ и Микрон” при разработке библиотек под различные технологии (в том числе с современными нормами проектирования 0.18 – 0.25 мкм).
Измерение электрического сопротивления металлических слоёв в микроэлектромеханической мультиэлектродной биоматрице методом относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии
Карташов Дмитрий Александрович, аспирант, Национальный исследовательский университет "МИЭТ", dmitry_kartashov@mail.ru
Для того, чтобы производить устройства со всё более меньшими проектными нормами, например, транзисторы с металлическими затворами и альтернативным диэлектриком, необходимы точные методы неразрушающего контроля, в частности шероховатости и толщины металлических и диэлектрических многослойных структур (МС). С усложнением технологических процессов необходимость в точных неразрушающих методах контроля границ раздела в многослойных структурах будет лишь возрастать, что увеличивает актуальность решения проблемы с разработкой соответствующих методов исследования.
Одним из таких методов является относительная двухволновая рентгеновская рефлектометрия. В настоящее время она применяется в основном в лабораториях. Основным препятствием к внедрению её в производство является сравнительно высокое время обработки результатов и невысокая надёжность их интерпретации, что требует постоянного участия квалифицированного специалиста в процессе обработки результатов. Решению проблемы увеличения точности и уменьшению времени обработки результатов на персональных компьютерах посвящена данная работа.
Процедуру определения параметров МС можно разбить на несколько этапов: экспериментальная съемка угловой зависимости коэффициента отражения; выбор адекватной модели МС для расчета; численное определение параметров МС.
Формирование модели рассчитываемой МС является ключевым моментом в процессе решения обратной задачи рентгеновской рефлектометрии. Для корректного моделирования МС необходим предварительный анализ исследуемых образцов с целью определения степени четкости границ раздела, определения в кристаллическом или аморфном состоянии находятся слои, оценки величины шероховатости и т.д.
В данной работе для расчета шероховатостей использовалась модель промежуточных слоев, которая наиболее точно описывает зеркальное отражение от шероховатой поверхности.
На основе нашей концепции пограничного слоя [1] рассмотрим алгоритм более сложной модели.
Модель предполагает однородность поверхностных слоёв Si, SiO2 и металла в плоскости границы раздела, которую мы полагаем стехиометрически непрерывно меняющейся. Исходный слой кремния разбит на N=20 слоёв с начальной толщиной 2.54 A (длина связи Si-Si). Нумерацию слоёв кремния будем вести от границы раздела Si-газ вглубь кремниевой подложки, введя также с номером n=0 адсорбированный слой на поверхности кремния.
Результатом сравнения результатов модели и экспериментальных данных является толщина металлических и диэлектрических слоёв, что однозначно определяет электрическое сопротивление металлического слоя.
Таким образом, методика относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии делает возможным определение сопротивления металлических слоёв бесконтактным неразрушающим методом, что в ряде случаев является единственно возможным способом, например, для измерения сопротивления контактов в микроэлектромеханической мультиэлектродной биоматрице.
[1] Красников Г.Я., Зайцев Н.А., Матюшкин И.В. Математическое моделирование кинетики высокотемпературного окисления кремния и структуры пограничного слоя в системе Si-SiO2 //Физика и техника полупроводников, т.37, №1 2003г.-с.44-50.