Geum.ru

«Симпозиум по ядерной химии высоких энергий»

Вид материалаДокументы

Содержание


В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12
Подобный материал:
1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   ...   15

В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. О технологии структур кремний на изоляторе. Химическая технология. 2002. №12. С.3-12.

  • Е.П.Прокопьев.Возможный синергетический подход к проблеме окисления структур КНИ. Тезисы доклада четвертого международного семинара «Нелинейные процессы и проблемы самоорганизации в современном материаловедении». 3-5 октября 2002. Астрахань, Россия. АГПУ: Астрахань, 2002. С.62.

  • Е.П.Прокопьев. Возможные синергетические эффекты в эволюции свойств структур КНИ. Тезисы доклада четвертого международного семинара «Нелинейные процессы и проблемы самоорганизации в современном материаловедении». 3-5 октября 2002. Астрахань, Россия. АГПУ: Астрахань, 2002. С.74.

  • В.И.Графутин, А.Г.Залужный, А.Л.Суворов, Е.П.Прокопьев. Применение метода позитронной аннигиляции для исследования дефектов структуры в радиационной физике материалов. Статья на XII-ом Международном совещании «Радиационная физика твердого тела». Севастополь, 30 июня-7 июля 2002 г. М.: МИЭМ, 2002. C.398-401.

  • А.Л.Суворов, В.И.Графутин, А.Г.Залужный, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Прокопьев Е.П., Фунтиков Ю.В. Исследование радиационных нарушений в структурах КНИ методом позитронной аннигиляции (ОБЗОР). Сборник докладов XII Международного совещания «Радиационная физика твердого тела». Севастополь, 30 июня-7 июля 2002 г. М.: МИЭМ (ТУ), 2002. C.22-25.

  • В.И.Графутин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. Smart-cut технология получения тонких слоев кремния, германия и слоев кремний/германий на различных подложках полупроводников и изоляторов. Труды восьмая международной научно-технической конференция "Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники" (ПЭМ-2002). Пос. Дивногорское, РОССИЯ, Таганрог. 2002. Ч.1. С.109,110.

  • Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, С.А. Дьячков Моделирование и оптимизация процесса синтеза мелкодисперсных порошков оксидов, кремния и диэлектрического стекловидного материала состава SiO2 - Al2O3 - BaO в высокочастотной индукционной воздушной и аргон-кислородной плазме. Теоретические основы химичеcкой технологии. 2002. Т.36. №5. С.500-505.

  • S.P.Timoshenkov, E.P.Prokop'ev, V.I.Grafutin About a Possibility of Usage of Smart-Cut Process for Obtaining of Thin Monocrystalline Silicon Carbide Layers // Abstracts of the IV International Seminar on Silicon Carbide and Related Materials. - May 30-31, 2002. - p.30. (International seminar " Silicon Carbide and Related Materials" (ISSCRM-2002). Great Novgorod, May 30-31, 2002, Novgorod Yaroslav Mudryi State University, 2002).

  • Е.П.Прокопьев, C.П.Тимошенков, В.И.Графутин, В.В.Калугин. Smart-cut технология получения тонких слоев германия, кремния и слоев кремний/германий на различных подложках полупроводников и изоляторов. Электроника и информатика-2002. IV Международная научно-техническая конференция. МИЭТ, 19-21 ноября 2002 г. Тезисы докладов. Часть 1. Москва, 2002. C.272.

  • Е.П.Прокопьев, C.П.Тимошенков, В.И.Графутин, В.В.Калугин.Исследование процесса сращивания пластин кремния по данным выделения паров воды. Тезисы докладов Всероссийской научно-технической конференции (НМТ-2002) “Новые материалы и технологии” «МАТИ» 22-23 октября 2002 года.- Российский государственный технологический университет им. К. Э. Циолковского. 2002. C.52,53.

  • Е.П.Прокопьев Возможные синергетические эффекты в проблеме окисления кремния в атмосфере влажного кислорода и воздуха. Электроника и информатика-2002. IV Международная научно-техническая конференция. МИЭТ, 19-21 ноября 2002 г. Тезисы докладов. Часть 1. Москва, 2002. C.270, 271.

  • В.И.Графутин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.К.Мингазов, Ю.В.Фунтиков. Исследование радиационных нарушений в структурах КНИ методом позитронной аннигиляции. Электроника и информатика-2002. IV Международная научно-техническая конференция. МИЭТ, 19-21 ноября 2002 г. Тезисы докладов. Часть 1. Москва, 2002. C.200, 201.
  • С.П.Тимошенков, Е.П.Прокопьев, С.А.Дьячков. Синтез мелкодисперсных порошков в высокочастотной плазме. Физика и химия обработка материалов. 2002. №5. С.26-31.
  • Е.П.Прокопьев .О возможности исследования технологий природных процессов с целью их практического использования (для разработки новых процессов). Abstracts International conference «Organization of Structure in Open Systems». Тезисы докладов шестой международной конференции. Almaty, October, 21-24, 2002. C.85.
  • Е.П.Прокопьев. Возможные синергетические эффекты в эволюции свойств структур КНИ. Abstracts International conference «Organization of Structure in Open Systems». Тезисы докладов шестой международной конференции. Almaty, October, 21-24, 2002. C.47-49.
  • Е.П.Прокопьев. Возможный синергетический подход к проблеме окисления структур КНИ. Abstracts International conference «Organization of Structure in Open Systems». Тезисы докладов шестой международной конференции. Almaty, October, 21-24, 2002. C.46-47.
  • Е.П.Прокопьев. Особенности процесса окисления кремния в атмосфере влажного воздуха и кислорода. Материаловедение. 2002. №12. С.24-29.

  • Е.П.Прокопьев. Исследование процесса окисления кремния в атмосфере влажного воздуха и кислорода синергетическими методами. Оборонный комплекс-научно техническому прогрессу России. 2002. №4. С.27-32.

  • Е.П.Прокопьев. О синергетическом подходе к проблеме окисления кремния. Материалы докладов на 6-й Международной конференции «Молекулярная биология, химия и физика неравновесных систем» (МК МБХиФНС), Иваново-Плёс, ИГХТУ, 27 мая – 2 июня 2002, Иваново: Издательство ИвГУ,2002. С.301-304.

  • В.И.Графутин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.К.Мингазов, Ю.В.Фунтиков. Исследование радиационных нарушений в структурах КНИ методом позитронной аннигиляции. Электроника и информатика-2002. IV Международная научно-техническая конференция. МИЭТ, 19-21 ноября 2002 г. Тезисы докладов. Часть 1. Москва, 2002. C.200, 201.
  • Е.П.Прокопьев. О синергетическом подходе к проблеме окисления кремния. Материалы докладов на 6-й Международной конференции «Молекулярная биология, химия и физика неравновесных систем» (МК МБХиФНС), Иваново-Плёс, ИГХТУ, 27 мая – 2 июня 2002, Иваново: Издательство ИвГУ,2002. С.301-304.
  • С.П.Тимошенков, Е.П.Прокопьев, С.А.Дьячков. Синтез мелкодисперсных порошков в высокочастотной плазме. Физика и химия обработка материалов. 2002. №5. С.26-31.
  • А.В.Нестерович, Ю.Я.Лапицкий, В.И.Графутин, А.Г.Залужный, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков. Разработка источников ионов водорода с энергией 60 - 150 КэВ для производства структур КНИ методом газового скалывания. Научная сессия МИФИ-2003. II Научно-техническая конференция «Научно-инновационное сотрудничество». Сборник научных трудов. Часть 2. М.: МИФИ, 2003. С.87-89.
  • В.И.Графутин, А.Г.Залужный, В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, А.Л.Суворов, С.П.Тимошенков. Производство структур КНИ методами газового скалывания: развитие технологии и новые перспективные использования. Научная сессия МИФИ-2003. II Научно-техническая конференция «Научно-инновационное сотрудничество». Сборник научных трудов. Часть 2. М.: МИФИ, 2003. С.90-92.
  • Е.П.Прокопьев. Возможные динамические эффекты эффекты в проблеме окисления кремния в атмосфере влажного кислорода и воздуха. Научная сессия МИФИ-2003. Сборник научных трудов. Том 9. М.: МИФИ, 2003. С.92-94.
  • Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Д.К.Григорьев, В.В.Калугин, Ал.С.Тимошенков. Научные основы технологии структур кремний на изоляторе. Петербургский журнал электроники. 2002. №2. С.15-28.
  • Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Д.К.Григорьев, В.В.Калугин, А.С.Тимошенков. Научные основы технологии структур кремний на изоляторе (продолжение). Петербургский журнал электроники. 2002. №3. С.16-32.
  • С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев. Исследование технологии очистки поверхности пластин кремния в процессе изготовления структур КНИ и микроэлектронных изделий. Микросистемная техника. 2003. №1. С.13-22.