Міністерство освіти та науки україни національний технічний університет

Вид материала

Содержание

Економіка та орг. праці
Цивільна оборона
Міністерство освіти та науки україни
Термічна стабільність структури багатошарових композицій скандій-кремній
Скандій, кремній, багатошарове рентгенівське дзеркало, багатошарова періодична структура, відбивна здатність, аморфні прошарки,
Scandium, silicon, multilayer x-ray mirror, multilayer periodic structure, reflectivity, amorphous interlayers, intermixed zone
Скандий, кремний, многослойное рентгеновское зеркало, многослойная периодическая структура, отражательная способность, аморфные

Подобный материал:

1 2 3 4 5

Студент

^{(підпис)}

Керівник

^{(підпис) (Прізвище, ім’я, по батькові.)}

“ 12 ” листопада 2002 р.

Консультанти по розділах роботи, що не входять до спеціальної частини

		Підпис, дата
Розділ	Консультант	Завдання видав	Завдання прийняв
Економіка та орг. праці	Л.О. Кременчутьска
Охорона праці і довкілля	О.О. Кузьменко
Цивільна оборона	Т.П. Мандрика
Стандартизація	А.Г. Равлік

Додаток В

Зразок оформлення титульного аркуша

МІНІСТЕРСТВО ОСВІТИ ТА НАУКИ УКРАЇНИ

НАЦІОНАЛЬНИЙ ТЕХНІЧНИЙ УНІВЕРСИТЕТ

"Харківський політехнічний інститут" (НТУ "ХПІ")

Кафедра фізики металів та напівпровідників (ФМНП)

УДК 539.2:548.75

ЗВІТ

про дипломну роботу спеціаліста

ТЕРМІЧНА СТАБІЛЬНІСТЬ СТРУКТУРИ БАГАТОШАРОВИХ КОМПОЗИЦІЙ СКАНДІЙ-КРЕМНІЙ

Зав.кафедри ФМНП

професор А.Т. Пугачов _________________________________

(дата, підпис)

Керівник випускної роботи

ст.н.с., канд.фіз.-мат.наук Є.М. Зубарєв ________________________________

(дата, підпис)

Консультанти:

з економіки, ст.викл. Л.О. Кременчутська _________________________________ (дата, підпис)

з охорони праці, доцент О.О. Кузьменко ________________________________ (дата, підпис)

з цивільної оборони, ст.викл. Т.П. Мандрика _________________________________ (дата, підпис)

зі стандартизації, доцент І.П. Кирилюк _________________________________ (дата, підпис)

Виконавець випускної роботи П.І. Гнатченко _________________________________

студент гр. ФТ-18а (дата, підпис)

2002

Додаток Г

Зразки написання рефератів

РЕФЕРАТ

Дипломна робота спеціаліста: 90 с., 15 рис., 14 табл., 35 джерел.

Об`єкт дослідження: багатошарові рентгенівські дзеркала (БРД) Sc-Si, виготовлені за допомогою електронно-променевого випаровування та магнетронного розпорошування.

Мета роботи: вивчення структурних та фазових перетворювань у БРД у вихідному стані та після дифузійного відпалювання.

Методики дослідження: електронна мікроскопія поперечних перерізів високого розділення за допомогою мікроскопа ПЭМ-У, малокутова рентгенівська діфрактометрія з використанням стандартного дифрактометра ДРОН-3М, лазерно-плазмова мас-спектрометрія на спектрометрі ЭМАЛ-2.

Показано, що у зразках Sc-Si у вихідному стані шари скандію знаходяться у ГЦК модифікації, вони відділені від аморфного кремнію змішаними зонами з аморфною структурою, що близькі за складом до ScSi. Ізотермічний відпал при температурі Т_в=400С призводить до амофізації Sc. При підвищенні Т_в до 500С формується періодична надгратка Sc₃Si₅-Si. При подальшому відпалі (Т_в=600С) спостерігається деструктурізація надгратки внаслідок міжшарової агломерації.

Одержані результати будуть використані при опрацюванні оптимальної технології виготовлення високоефективних дзеркал для довжини хвиль більше 45,7 нм. Такі БРД перспективні при розробци рентгенооптичних приладів для роботи в діапазоні м’яких рентгенівських променів – лазерів, мікроскопів, літографів тощо.

СКАНДІЙ, КРЕМНІЙ, БАГАТОШАРОВЕ РЕНТГЕНІВСЬКЕ ДЗЕРКАЛО, БАГАТОШАРОВА ПЕРІОДИЧНА СТРУКТУРА, ВІДБИВНА ЗДАТНІСТЬ, АМОРФНІ ПРОШАРКИ, ПЕРЕМІШАНІ ЗОНИ.

ABSTRACT

Specialist degree work: 90 p., 15 fig., 14 tables, 35 references.

The object of the research: multilayer X-ray Sc-Si mirrors prepared by electron-beam evaporation and magnetron sputtering.

The aim of the work: study of structure and phase transformations in multilayer X-ray mirrors at initial state and after diffusion annealing.

Methods of the research: high-resolution cross-section electron microscopy by means of ПЭМ-У microscope, small-angle X-ray diffractometry by conventional diffractometer ДРОН-3М, laser-plasma mass-spectrometry with spectrometer ЭМАЛ-2.

It has been shown that in Sc-Si samples at initial state Sc layers are in FCC modification and separated from amorphous silicon by intermixed zones with amorphous structure that are close in composition to ScSi. Isothermal annealing results in amorphization of Sc at T_ann=400C. Increasing T_ann to 500C periodic Sc₃Si₅-Si superlattice is formed. Destruction of superlattice due to interlayer agglomeration is observed at the next annealing (T_ann=600C).

The obtained results will be used for optimal technology elaboration of high-efficiency X-ray mirror manufacturing for wavelength above 45,7 nm. Such multilayer X-ray mirrors are very promising for X-ray optics development devices working at soft X-ray range as lasers, microscopes, lithographs etc.

SCANDIUM, SILICON, MULTILAYER X-RAY MIRROR, MULTILAYER PERIODIC STRUCTURE, REFLECTIVITY, AMORPHOUS INTERLAYERS, INTERMIXED ZONE

РЕФЕРАТ

Дипломная работа специалиста: 90 с., 15 рис., 14 табл., 35 источников.

Объект исследования: многослойные рентгеновские зеркала (МРЗ) Sc-Si, изготовленные методом электронно-лучевого испарения и магнетронного распыления.

Цель работы: изучение структурных и фазовых превращений в МРЗ в исходном состоянии и после диффузионного отжига.

Методики исследования: высокоразрешающая электронная микроскопия поперечных срезов при помощи микроскопа ПЭМ-У, малоугловая рентгеновская дифрактометрия с использованием стандартного дифрактометра ДРОН-3М, лазерно-плазменная масс-спектрометрия на спектрометре ЭМАЛ-2.

Показано, что в образцах Sc-Si в исходном состоянии слои скандия находятся ГЦК модификации, они отделены от аморфного кремния перемешанными зонами с аморфной структурой, которые близки по составу к ScSi. Изотермический отжиг при температуре Т_отж=400С приводит к аморфизации Sc. При увеличении Т_отж до 500С образуется периодическая сверхрешетка Sc₃Si₅-Si. При дальнейшем отжиге (Т_отж=600С) наблюдается деструктуризация сверхрешетки из-за межслоевой агломерации.

Полученные результаты будут использованы при разработке оптимальной технологии изготовления высокоэффективных рентгеновских зеркал для длин волн больше 45,7 нм. Такие МРЗ перспективны при разработке рентгенооптических приборов для работы в диапазоне мягких рентгеновских лучей – лазеров, микроскопов литографов и т.д.

СКАНДИЙ, КРЕМНИЙ, МНОГОСЛОЙНОЕ РЕНТГЕНОВСКОЕ ЗЕРКАЛО, МНОГОСЛОЙНАЯ ПЕРИОДИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА, ОТРАЖАТЕЛЬНАЯ СПОСОБНОСТЬ, АМОРФНЫЕ ПРОСЛОЙКИ, ПЕРЕМЕШАННЫЕ ЗОНЫ.

Додаток Д.

Приклад оформлення змісту

ЗМІСТ

Вступ.............................................................................................................................................	6
1 Аналітичний огляд ...................................................................................................................	7
1.1 Особливості структури та оптичних характеристик багатошарових рентгенівських дзеркал ...................................................................................................	7
1.2 Утворення силіцидів на межі розділу ............................................................................	12
1.3 Висновки до огляду літератури та формулювання задач роботи ...............................	16
2 Методики досліджень .............................................................................................................	17
2.1 Методики виготовлення та термічної обробки зразків ................................................	17
2.2 Рентгенівська малокутова дифракція ............................................................................	19
2.3 Методика мікроскопії поперечних перерізів ................................................................	22
2.4 Методика досліджень елементного складу ...................................................................	24
3 Результати експериментів та їх обговорення .......................................................................	27
3.1 Структура у вихідному стані ..........................................................................................	27
3.2 Порівняльні дослідження структури після відпалу при різних режимах ..................	42
3.2.1 Дослідження зразків, виготовлених при електронно-променевому випаровуванні .........................................................................................................	49
3.2.2 Структура зразків, виготовлених при магнетронному розпорошуванні ...........	55
4 Питання охорони праці та довкілля ......................................................................................	59
5 Питання економіки та організації праці ...............................................................................	66
6 Питання цивільної оборони ...................................................................................................	73
Висновки ....................................................................................................................................	79
Перелік посилань ......................................................................................................................	81
Додаток А Таблиці вихідних даних для обчислення відбитної здатності дзеркал ...........	84
Додаток Б Таблиці вихідних даних для визначення елементного складу .........................	86

Додаток Е.

Приклад оформлення висновків

ВИСНОВКИ

1 В багатошарових рентгенівських дзеркалах (БРД) Sc-Si у вихідному стані шари кремнію є аморфними, а полікристалічні шари скандію неоднорідні за своєю структурою, при цьому вони відділені від кремнію асиметричними змішаними зонами, товщина яких на межі Sc/Si менша, ніж на границі Sc/Si.

2 Шари скандію мають ГЦК структуру, яка не властива йому у вихідному стані. Період кристалічної ґратки становить 0,476 - 0,480 нм.

3 Для зразків, виготовлених за допомогою електронно-променевого випаровування, характерні більша шорсткість меж розділу, аперіодичність та більший вміст кисню порівняно із зразками, що були виготовлені при магнетронному розпорошуванні.

4 При дифузійному відпалі при температурі Т_в=400⁰С спостерігається аморфізація скандію, при температурі Т_в=500⁰С формується періодична надгратка Sc₃Si5-Si, а подальший відпал (Т_в=600⁰С) приводить до її руйнування.

5 За зменшенням об'єму кремнію при відпалі оцінено склад змішаних зон у вихідному стані: він близький до сіліціду ScSi. Формування цієї сполуки узгоджується з правилом Бене-Вольсера про виникнення першої фази на міжфазній границі у системі Sc-Si.

Пункти висновків, що відносяться до розділів з економіки, охорони праці та цивільної оборони

Додаток Ж

П

риклади оформлення ілюстрації

1

- зразок 453; 2 - зразок 456; 3 - зразок 789

Рисунок 4.2 - Залежність твердості H_V від температури для різних зразків.

Рис.3.15 Поява 2-го мінімуму при розрахунку функціонала нев'язки у випадку накладення двох ліній

Додаток И

Приклади опису джерел інформації

Книги

а) опис за прізвищем авторів

Пасынков В.В., Сорокин В.С. Материалы электронной техники: учебник для вузов .-М.: Высшая школа, 1986.
Schaumburg H. Werkstoffe .- Stuttgart: B.G. Teubner, 1990.

б) опис за назвою книги

Физика твердого тела: Лабораторный практикум. В 2-х т./ Под ред. А.Ф. Хохлова. Том 1-й. Методы получения твердых тел и исследования их структуры; Том 2 й. Физические свойства твердых тел .-М.: Высшая школа, 2001.
Современная кристаллография (в четырех томах). Том 3-й. Образование кристаллов/ Чернов А.А., Гиваргизов Е.И., Багдасаров Х.С. и др.-М.: Наука, 1980.

Статті

а) у наукових журналах

Соснина Е.И. Физико-технологические основы оптимального легирования монокристаллов тугоплавких металлов. I. Принципы оптимального легирования монокристаллов на основе металлов с примесями// Металлофизика и новейшие технологии .- 1999.-Т.21.- №7.- С.42-51.
Ravlik A.G., Roschenko S.T., Samophalov V.N. et al. New magnetoresistive elements based on W. Thomson effect // Functional materials.-1999 .-V.6. - №5.-P.897 902.
Золотов Ю.А. Рентгеновские методы анализа // Журнал аналитической химии. –1999. – том 54. -№1. С.5-7

i.ru/~zhakh/EdChief/1_1999.htm

б) у збірниках та книгах

Коген М.С. Ферромагнитные свойства пленок // В кн. Технология тонких пленок. Справочник. / Под ред. Л. Майссела и Р. Глэнга, пер. с англ. Т.2.- М.: "Сов. Радио", 1977.- с.477-577.
Неель Л. Замечания к теории магнитных свойств тонких пленок и мелких частиц (порошков) // В сб. Статей Магнитная структура ферромагнетиков / Под. ред. С.В. Вопсовского. -М.: Иностранная литература, 1959.-С.85-94.

Доповіді на конференціях

Кауров Н.И., Королев А.В., Пушин В.Г. и др. Электрические и магнитные свойства сплавов систем Ti₅₀Ni_50-XMn_X с эффектом памяти формы // Сб. трудов XVIII международной школы - семинара "Новые магнитные материалы микроэлектроники", 24-28 июня 2002 г., Москва.- М.: Изд. МГУ, 2002.- С.562-564.
Murzina T.V., Misurgaev T.V., Nikulin A.A. et al. Correlation between GMR and nonlinear magneto-optical Kerr effect in granular films // Book of Abstracts of Moscow International Symposium on Magnetism, June 20-24, 2002.- Moscow: Editorial URSS, 2002. - P.67.
Литовченко С.В., Маслова Т.С., Нечипоренко Е.П. и др. Термодинамически устойчивые силицидные покрытия // Оборудование и технология термической обработки металлов и сплавов в машиностроении (часть II). Сб. докладов 2-го Международного симпозиума, 10-14 сентября, 2001.- Харьков.- Харьков:НПЦ “Контраст”, 2001,-C.128-131
Василевский А.Н., Солотчина Э.П., Шульженко С.Г. Моделирование сложных рентгеновских профилей глинистых минералов методами нелинейного программирования // Труды II Национальной кристаллохимической конференции. –Черноголовка (Россия) :ИРХФ РАН. 2000.- С.108-109.

c.ru/Conference/NCCC/abstracts/Vasilevsky.htm

Препринти

Филиппов Б.Н., Шматов Г.А., Диченко А.Б. Доменная структура тонкопленочных пермалоевых элементов: Препринт .- Свердловск : УРО АН СССР, 1988.
Драбкин Г.М., Окороков А.И., Щебетов А.Ф. и др. Поляризующий нейтроновод на базе многослойных зеркал: Препринт. ЛИЯФ им. Б.П. Константинова №182.- Ленинград: ЛИЯФ, 1975.

Дисертації, автореферати

Лукашев Д.В. Исследование локального магнитного упорядочения в ВТСП соединении YBa₂(Cu_1-XFe_X)₃0_6+δ методом мессбауэровской спектроскопии: Дис... Канд. физ.-мат. наук.- Харьков: Физико-технический институт низких температур им. Б.Е. Веркина, 2000.
Черемський П.Г. Пори у конденсатах і композиційних системах: Автореф. дис… д-ра фіз.-мат. наук. -Харків: ХНУ ім. В.Н. Каразіна, 2002.

Авторські свідоцтва, патенти

А.с. 1388942 СССР, MKИG11b 27/22. Способ измерения полей рассеяния магнитных головок / Палатник Л.С., Равлик А.Г., Рощенко С.Т. и др. - №4033649; Заявл. 05.04.86 // Бюлл изобретений, 1988. - № 35.
Патент №14908 А Україна, МКл. G01R 33/035. Надпровідний магнітний мікроскоп / Бондаренко С.І., Шабло А.О., Павлов П.П. №9606234: Заявл. 11.06.96

Технічні звіти

Теоретическая и экспериментальная разработка и комплексное исследование новых долговечных функциональных пленочных материалов с уникальными физическими свойствами для применения в качестве ответственных элементов приборов и устройств новейшей техники. Заключительный отчет. / Харьковский политехнический институт (ХПИ); Руковод. Л.С. Палатник. - 1.3.3. №ГР 90083033; Инв. № Б89618. - Харьков, 1994. -131 с.

Навчально-методичні матеріали

Палатник Л.С. Изучение основ технологии сплавов и пленочных материалов: Учебн. пособие.- Харьков: ХПИ, 1987.
Палатник Л.С. Физика и химия фазовых превращений: Конспект лекций для студентов специальностей 11.05, 11.07, 16.03, 18.02. - Харьков: ХПИ, 1992.
Маринчева В.Е. Физические методы неразрушающего контроля металлов и изделий: Текст лекций.-Харьков: ХПИ, 1980.

Стандарти та інші нормативно-технічні документи

ДСТУ-2755-94 “Фізична оптика”.
ГОСТ 12.1.012-90.ССБТ. Вибрационная безопасность. Общие требования.
НРБУ-97 Норми радіаційної безпеки.

Дипломні та випускні роботи

Волобуєв В.В. Структурні та фазові перетворення в багатошарових плівкових композиціях на основі скандію та кремнію : Звіт про дипломну роботу/ Керівник - О.Ю. Сипатов, кафедра ФМНП.- Харків: ХДПУ, 1998. -68 с.
Блудов О.М. Дослідження непружного розсіяння рентгенівських променів багатокомпонентними матеріалами : Звіт про випускну роботу бакалавра/ Керівник - І.Ф. Михайлов, кафедра ФМНП.- Харків : НТУ "ХПІ", 2002. –39 с.

Навчальне видання

Методичні вказівки до виконання та оформлення дипломних робіт для одержання кваліфікації "інженер-фізик" для студентів спеціальності 7. 090102 - “Фізичне матеріалознавство”

Укладачі РАВЛІК Анатолій Георгійович,

РЕШЕТНЯК Максим Вячеславович.

Відповідальний за випуск А.Т. Пугачов

Роботу до друку рекомендувала А.В. Ісакова

В авторській редакції

План 2002, поз 250/01-02

Підп. до друку 18.12.2002 р. Формат 60х84 1/16. Папір офсетн.

Друк – ризографія. Гарнітура Таймс. Ум. друк. арк. 1,8.

Обл.-вид. арк. 2,3. Наклад 100 Прим. Зам.№ . Ціна договірна.

Видавничий центр НТУ “ХПІ”. Свідоцтво ДК № 116 від 10.07.2000 р.

Друкарня НТУ “ХПІ”, 61002, Харків, вул. Фрунзе, 21

Blog

Міністерство освіти та науки україни національний технічний університет

Содержание

УДК 539.2:548.75