Отчет по интеграционному междисциплинарному проекту со ран №24 " Метаматериалы на основе прецизионных микро- и нанооболочек для терагерцового и инфракрасного диапазонов" (2009-2011)
| Вид материала | Отчет |
- В. П. Дмитриев Россия, Москва, Московский государственный институт электроники и математики, 83.43kb.
- Отчет по проекту №3703 «Античная демократия, ее сторонники и критики», 109.49kb.
- Аннотация отчет, 50.53kb.
- Четырнадцатая научная молодёжная школа "Физика и технология микро- и наносистем", 49.42kb.
- Контрольные вопросы и тесты по дисциплинам кафедры прецизионных технологий и сертификации, 1388.52kb.
- Тезисы докладов, 1383.15kb.
- Отчет по целевой программе Президиума ран «Поддержка молодых ученых» за 2009 год, 763.41kb.
- Программа курса для специальности «Экономическая кибернетика», 55.38kb.
- Первая всероссийская конференция проблемы механики и акустики сред с микро- и наноструктурой:, 60.58kb.
- Физика и технология, 4176.95kb.
Отчет по интеграционному междисциплинарному проекту СО РАН №24
“Метаматериалы на основе прецизионных микро- и нанооболочек
для терагерцового и инфракрасного диапазонов” (2009-2011)
за 2009 г.
Научный координатор проекта:
Зав. лаб., д.ф.-м.н., проф.Принц В.Я. (ИФП СО РАН)
Ответственные исполнители блоков проекта.
Зав.лаб., д.ф.-м.н., проф.Принц В.Я. (блок работ ИФП СО РАН)
С.н.с., к.ф.-м.н., Кубарев В.В. (блок работ ИЯФ СО РАН)
Зав.лаб., д.ф.-м.н., проф. Игуменов И.К. (блок работ ИНХ СО РАН)
^ Цель проекта: разработка, формирование и исследование принципиально новых метаматериалов для терагерцового (ТГц) и инфракрасного (ИК) диапазонов в виде двумерных и трехмерных массивов трехмерных оболочек-резонаторов со следующими функциональными свойствами: отрицательный показатель преломления, оптическая активность и круговой дихроизм, в том числе планируется создать нелинейные метаматериалы и метаматериалы с динамически-управляемыми электромагнитными свойствами.
^ Основные результаты за 2009 г:
Этап 2009 года был направлен на разработку и формирование метаматериалов ТГц диапазона (ИФП), исследование их свойств (ИЯФ), а также на совмещение технологии осаждения металлических слоев (ИНХ) с технологией сворачивания 3D оболочек (ИФП), что необходимо для формирования ИК метаматериалов на последующих этапах проекта.
-Созданы метаматериалы для ТГц диапазона в виде двумерных и трехмерных массивов резонансных спиральных элементов из металл-полупроводниковых нанопленок. Для формирования трехмерных метаматериалов был разработан метод бездеформационного запечатывания двумерных массивов оболочек в полимерную пленку и наслаивания таких композитных пленок. Были сформированы образцы, содержащие три слоя композитных пленок с запечатанными в них двумерными массивами спиралей.
-Исследованы электромагнитные свойства созданных метаматериалов в ТГц диапазоне на лазере на свободных электронах и фурье-спектрометре (пропускание, оптическая активность и круговой дихроизм, показатели преломления для волн различной круговой поляризации). Максимальный угол вращения плоскости поляризации проходящего излучения достигал 17 градусов, показатель преломления достигал отрицательного значения (-0.11) для волн правой круговой поляризации и был равен 1 для волн левой круговой поляризации для излучения λ=149 мкм и массивов левовинтовых спиралей (для массивов правовинтовых спиралей показатель преломления достигал отрицательных значений (-0.11) для левой и единицы для правой круговой поляризации).
-На основе анализа термических свойств большого числа палладиевых прекурсоров по совокупности параметров был выбран Pd(hfa)2. Проведена глубокая модернизация MOCVD-реактора с ВУФ-стимуляцией, позволившая более точно контролировать параметры процесса роста Pd. На модернизированной установке отработаны режимы для воспроизводимого нанесения на планарные и трехмерные структуры нанослоев Pd, резистивных к реагентам, используемым в процессах формирования 3D оболочек из напряженных нанопленок.
Введение
В настоящее время в науке и технике формируется принципиально новое глобальное направление – создание и применение метаматериалов. Метаматериал представляет собой массив искусственных элементов- резонаторов с размерами, малыми по сравнению с длиной волны электромагнитного излучения. Такой массив воспринимается излучением как сплошная электромагнитная среда. От традиционных электромагнитных материалов метаматериалы отличаются беспрецедентной гибкостью формирования электромагнитных свойств.
Для метаматериалов ТГц и ИК диапазонов искусственные элементы-резонаторы должны иметь характерные размеры от десятков микрометров до десятков нанометров, чтобы оставаться существенно меньшими длины волны электромагнитного излучения, причем все резонаторы массива должны быть точно настроены. Из традиционных технологий требуемые размеры и точность обеспечивает только традиционная планарная технология, которая позволяет формировать только плоские элементы и их слои. Свойства такого метаматериала из плоских элементов принципиально невозможно задавать во всех трех измерениях. В то же время, практически все востребованные применения метаматериалов – от линз с фокусировкой выше дифракционного предела до экранов “невидимости” требуют объемных метаматериалов с трехмерными строго контролируемыми электромагнитными свойствами. К настоящему времени продемонстрированы только модельные образцы таких материалов в радиодиапазоне , где резонаторы имеют размеры несколько сантиметров.
Проект направлен на создание и исследование метаматериалов терагерцового и инфракрасного диапазонов на основе 3D микро- и нанооболочек, формируемых из напряженных нанопленок по методу, разработанному в ИФП [V.Ya. Prinz et al, Physica E, 6 (1-4), 828 (2000)]. Метод уже нашел применение для создания целого ряда новых уникальных приборов, включая трубчатые лазеры, сверхбыстродействующие сенсоры, наномоторы и резонаторы, и инструменты для работы с клетками.
Разработка и формирование метаматериалов осуществляется коллективом из ИФП, коллектив из ИЯФ проводит исследования их электромагнитных свойств. Коллектив из ИНХ разрабатывает процессы формирования прецизионных металлических слоев нанопленок методами MOCVD, что необходимо для создания ИК метаматериалов (из-за миниатюризации резонаторов в ИК –диапазоне напыление металлических слоев становится не применимо).
^ 1. Формирование метаматериалов
В ИФП были спроектированы и сформированы метаматериалы на основе металл-полупроводниковых микроспиралей в виде двумерных массивов микроспиралей, закрепленных на подложке, и трехмерных массивов спиралей, запечатанных в полимерной пленке.
Массивы представляют собой квадратные решетки спиралей одинаковой направленности. Благодаря оси симметрии 4 порядка такие структуры обладают изотропными электромагнитными свойствами по отношению к нормально падающему излучению. Для экспериментального исследования показателя преломления протяженные массивы левовинтовых спиралей и массивы правовинтовых спиралей были сформированы рядом со свободными от спиралей полями, на одной подложке. Были сформированы структуры с непрерывными массивами микроспиралей площадью до 6 см2.
В ходе выполнения проекта был развит метод формирования нанокомпозитных плёнок, представляющих собой полимерную матрицу с периодично расположенными в ней двумерными массивами нанооболочек. Такие отсоединенные от полупроводниковой подложки пленки можно наслаивать друг на друга, формируя таким образом “многослойные” композитные пленки. Данным методом были сформированы трехмерные массивы SiGe/Si/Cr элементов-оболочек в полимерной матрице (рис. 2, 3). При запечатывании в полимерную матрицу спирали сохраняют свою форму, размеры и положение друг относительно друга. В основе создания больших двумерных и трехмерных массивов элементов-резонаторов лежат хорошо развитые групповые планарные технологии, что обеспечивает возможность перехода к массовому и дешевому производства метаматериалов.
^ 2. Исследования электромагнитных свойств структур на фурье-спектрометре.
Пропускание, оптическая активность и круговой дихроизм структур, сформированных в ИФП, были исследованы в ИЯФ в широком спектральном диапазоне на вакуумном фурье-спектрометре IFS-66 v/s фирмы “Брукер” (от 25 до 400 мкм): На рис.4 приведены спектры пропускания излучения различной поляризации, спектр кругового дихроизма (эллиптичность проходящего излучения, приобретаемая за счет селективного поглощения волн определенной круговой поляризации), спектр оптической активности (вращение плоскости поляризации проходящего излучения за счет различия скоростей распространения волн левой и правой круговой поляризации) для массива микроспиралей, закрепленных на подложке (структура изображена на рис.1), на рис 5 приведены спектры пропускания и оптической активности для однослойной композитной пленки с двумерным массивом микроспиралей той же конфигурации, запечатанным в полимере .
Поляризацию задавали с помощью поляризатора и четвертьволновой пластины из кристаллического кварца. Для измерения спектров оптической активности использовался второй поляризатор-анализатор и дифференциальный метод, в котором исходный сигнал получался в результате деления двух сигналов при углах скрещивания поляризаторов ±45. При этом полезный сигнал приблизительно удваивается, а все паразитные сигналы, включая сильный эффект Фабри-Перо подложки, значительно подавляются. Разработанные экспериментальные схемы измерения поляризационно-селективных свойств метаматериалов будут использованы для изготовления специального модуля для фурье- спектрометра (модуль для измерения поляризационно-селективных свойств метаматериалов в ИК диапазоне (λ= 2-25 мкм) будет изготовлен на следующем этапе проекта).
На резонансной частоте, соответствующей полуволновому резонансу вдоль микроспирали, пропускание минимально, и максимальна эллиптичность проходящего излучения, угол поворота плоскости поляризации изменяет знак. Массивы левых и правых микроспиралей вращают плоскость поляризации излучения в противоположных направлениях. Для массивов левых спиралей меньше пропускание излучения правой круговой поляризации, для массивов правых спиралей – наоборот. Эксперименты показали наличие сильно выраженной тонкой структуры на частоте Фабри-Перо эффекта для образцов с GaAs подложкой. Максимальные величины углов вращения поляризации составляли ± 17(рис.4). Использование резких пиков в спектре оптической активности в сочетании с достаточно низким поглощением по нашему мнению будет перспективно для практических применений, например для управления поляризацией и другими характеристикам излучения, однако требует дальнейшего изучения.
По сравнению с массивами микроспиралей, закрепленными на подложке, полуволновой резонанс микроспиралей в полимерной пленке сдвигается в длинноволновую область в соответствии с показателем преломления полимера, и исчезает тонкая структура, связанная с отражениями от микроспиралей и от подложки (рис.4 и рис.5).
^ 3. Исследования э/м свойств структур на лазере на свободных электронах (ЛСЭ)
Для измерения показателя преломления на ЛСЭ (ИЯФ) в ИФП специально были сформированы структуры в виде протяженных масссивов левовинтовых микроспиралей (рис.1) и массивов правовинтовых микроспиралей (зеркально симметричных левовинтовым), граничащих с полями без спиралей на одной подложке. Для массива правых спиралей показатель преломления для излучения левой круговой поляризации достигал отрицательных значений nл= - 0.11, для излучения правой круговой поляризации nпр=1 (т.е. смещения полос не происходит) - см рис.6. Отрицательный показатель преломления и близкий к единице показатель преломления для волн различной круговой поляризации достигаются за счет аномальной дисперсии справа от резонанса (согласно классической аналогии и принципу Крамерса-Кронига) и киральности сформированных структур. Метаматериалы с отрицательным коэффициентом преломления востребованы для формирования новых возможностей в управлении излучением (экраны невидимости, линзы с субволновым разрешением, высокоэффективное преобразования излучения в высшие гармоники). Планируется дальнейшая оптимизация структур и продолжение работ в этом направлении.
^ 4. Формирование металлических слоев для нанооболочек методами MOCVD.
В представленных выше метаматериалах на основе нанопленочных спиралей напряженные полупроводниковые слои выполняют роль каркаса, а эффективное взаимодействие с электромагнитным полем обеспечивают металлические слои, напыленные в вакууме. При напылении металла минимальная толщина слоя, однородность и точность контроля толщины в процессе напыления существенно ограничены, что препятствует миниатюризации металл-полупроводникоовых нанопленочных оболочек и созданию метаматериалов ИК диапазона.
Блок работ ИНХ связан с разработкой процессов формирования прецизионных металлических слоев путем MO CVD-процессов (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) для создания ИК метаматериалов на последующих этапах проекта. На первом этапе проекта основной целью совместных работ ИФП и ИНХ было совмещение технологии нанесения нанослоев благородных металлов и технологии формирования 3D оболочек из напряженных пленок. Формирование 3D оболочек является многостадийным процессом, и под совмещением технологий в первую очередь подразумевается поиск режимов нанесения металла, при которых адгезия металлической пленки, её однородность и химическая инертность позволяют реализовать все стадии процесса формирования прецизионной трехмерной металл-полупроводниковой оболочки. В качестве металла для отработки процессов нанесения металлических нанослоев был выбран Pd.
Были поставлены задачи нанесения нанослоев Pd на планарные полупроводниковые структуры, планарные полупроводниковые структуры с маской резиста (для “взрывной” литографии) и трехмерные нанопленочные оболочки.
На основе анализа совокупности физико-химических параметров для более чем 20 различных палладиевых прекурсоров, таких как: летучесть, термическая стабильность в конденсированном и газообразном состояниях и чувствительность к дополнительной стимуляции, в качестве базового соединения был выбран бис-гексафторацетилацетонат палладия (Pd(hfa)2).
В ИФП изготавливали планарные полупроводниковые структуры, в ИНХ на них наносили слои Pd в определенных режимах, и далее в ИФП испытывали полученные металл-полупроводниковые структуры на всех остальных стадиях технологического процесса формирования 3D оболочек. На основании этих результатов в ИНХ оптимизировали процессы нанесения металлических слоев.
В первой серии экспериментов наблюдались подтравливание и частичное снятие пленки Pd при воздействии химикатов, используемых в процессе сворачивания 3D оболочек из напряженных пленок. Это можно объяснить рыхлой структурой слоев Pd и значительным загрязнением поверхности пленки углеродсодержащими фрагментами. Для решения этой проблемы была проведена глубокая модернизация MO CVD реактора с ВУФ стимуляцией (были изменены геометрия откачки, конструкция держателя ламп, точка ввода газа-реактанта в реакционный объем, угол подачи паров прекурсора в реакционную зону; в пространство между источником ВУФ-излучения и образцом введен сетчатый электрод с возможностью подачи на него потенциалов различной полярности; внесены изменения в конструкцию испарителя, позволяющие выводить ампулу с прекурсором из зоны нагрева в холодную зону).
Внесенные изменения в конструкцию реактора позволили:
- резко уменьшить концентрацию вторичных органических загрязнений;
- более точно контролировать параметры процесса роста покрытия;
- оптимизировать зону роста покрытия.
На модернизированной установке было проведено несколько серий экспериментов по оптимизации режимов нанесения металлических слоев, в которых варьировались температура подложки (Тп=80 ÷ 120 оС); температура испарителя прекурсора (Тис=40 ÷ 65 оС); скорость газа-носителя; расход газа-реактанта ( водород); общее давление в реакторе; ток эксимерной лампы (I=1 ÷ 3 А): потенциал на сетчатом электроде (V=±50 ÷ 100 В). Основное направление оптимизации - увеличение плотности мощности излучения ВУФ –источника и повышение концентрации прекурсора в зоне реакции.
Был найден режим (Тп=85÷2оС, Тис=49оС, I=2,06 A) нанесения Pd, при котором сформированная пленка хорошо выдерживает воздействие ацетона, водных растворов ортофосфорной кислоты с перекисью водорода, растворов плавиковой кислоты, которые используются на различных этапах формирования оболочек из напряженных пленок InGaAs/GaAs. Целостность пленки проверялась путем травления полупроводниковой структуры под пленкой.
Предварительные эксперименты с подачей потенциала на сетчатый электрод между источником ВУФ-излучения и образцом показали, что в зависимости от знака и величины потенциала, а также расстояния до образца наблюдается «сглаживание» поверхности растущей пленки, что важно для формирования плазмонных резонансных оболочек субмикронных размеров. Эти результаты являются хорошим заделом для формирования метаматериалов ИК диапазона, эксперименты с электрическим полем будут продолжены в следующем году.
При нанесении Pd на полупроводниковые структуры с литографическим рисунком из резиста толщина палладия на фоторезисте и на полупроводниковой структуре примерно одинаковы (рис.7).
Были отработаны также процессы осаждения палладия на массивы трехмерных нанопленочных оболочек различной конфигурации, при этом форма нанопленочных оболочек не изменяется. На рис.8 (a) представлен сформированный в ИФП массив полупроводниковых оболочек в виде кольцевых резонаторов, закрепленных на подложке (кольцевые резонаторы - традиционные элементы метаматериалов, обеспечивающие магнитный отклик). На рис. 8 (b) представлены изображения того же массива после нанесения металла в ИНХ. Толщина слоя Pd на оболочке оценивалась по спутниковым плоским образцам. Соотношение интенсивностей сигнала палладия через все кольцо (Рис.8(c) и на поверхности подложки (участок без колец – Рис.8 (d) равно приблизительно 5, что указывает на наличие палладия на внутренней поверхности кольца.
Заключение
Были изготовлены и исследованы новые структуры в виде массивов резонансных элементов из металл-полупроводниковой нанопленки (In0.2Ga0.8As/GaAs/Ti/Au). Сформированные структуры обладают гигантской оптической активностью в ТГц диапазоне. Максимальный поворот плоскости поляризации монослоем микроспиралей достигает 17 градусов - структуры поворачивают плоскость поляризации излучения на угол в десятки –сотни раз больше, чем лучшие жидкие кристаллы в оптическом диапазоне (при соизмеримой в длинах волн толщине слоя). В терагерцовом диапазоне с помощью лазера на свободных электронах были проведены уникальные эксперименты по исследованию показателя преломления метаматериалов. Показано, что сформированные метаматериалы имеют отрицательный показатель преломления для волн одной круговой поляризации (-0.11) и близкий к единице показатель преломления для волн другой круговой поляризации на длине волны 149 микрон (для левовинтовых спиралей отрицательный показатель преломления проявляется для излучения правой круговой поляризации, для правовинтовых спиралей – для левой круговой поляризации).
Созданные из напряженных нанпленок конфигурации структур принципиально не могут быть воспроизведены с помощью какой–либо другой современной технологии, кроме разработанной в ИФП. Использованный подход к формированию обеспечивает прецизионность конфигураций спиральных резонаторов, высокую однородность структуры используемых материалов, точность расположения и ориентации микроспиралей в массиве друг относительно друга. Эффективные резонансные свойства новых киральных метаматериалов достигаются за счет оптимальной трехмерной конфигурации киральных резонансных элементов и высокой однородности их ансамбля. Развиты технологические приемы формирования трехмерных массивов трехмерных элементов, что является принципиально новым для метаматериалов ТГц диапазонов, впервые созданы терагерцовые метаматериалы из нескольких слоев трехмерных резонансных элементов.
Созданные ТГц метаматериалы с новыми функциональными свойствами перспективны для практических применений (приборы ТГц-видения, устройства ТГц-связи, ТГц-спектрометры и др.).
Совместные работы ИНХ и ИФП создали хороший задел для формирования метаматериалов ИК диапазона за счет совмещения технологии осаждения металлических слоев (ИНХ) с технологией сворачивания 3D оболочек (ИФП).
Все представленные в отчете результаты являются новыми и опережают мировой уровень в данной области.
^ Предложения к программе работ на 2010 г.
Задачами второго этапа 2010 года являются разработка конфигураций и процессов формирования ИК-метаматериалов и оптимизация свойств ТГц-метаматериалов.
Переход в ИК диапазон включает в себя комплекс новых задач, важнейшей из которых является миниатюризация размеров резонаторов до субмикронных размеров, чтобы размеры резонаторов оставались существенно меньше длины волны излучения. Для формирования массивов элементов субмикронных размеров как правило используется электронная литография и реже другие последовательные процессы (например, двухфотонная литография), в которых элементы рисуются последовательно один за другим, что приводит к чрезвычайно большой длительности формирования рисунка даже на малых площадях. Таким образом, возможно изготовление только лабораторных образцов метаматериалов очень малой площади, не применимых для практических устройств.
Для параллельного формирования массивов наноструктур в 2009 г СО РАН была приобретена для ИФП первая в России установка штамповой нанолитографии, обеспечивающая групповое формирование массивов наноструктур с разрешением <20 нм на площади более 170 см2. Необходимо отработать режимы штамповой нанолитографии на сверхтонких пленках, что требует поиска соответствующих резистов, режимов совмещения УФ и термической штамповки и. оптимизация всех остальных стадий этого нового высокотехнологического процесса.
Использование штамповой нанолитографии для формирования массивов плоских напряженных нанопленочных структур позволит создавать массивы субмикронных оболочек, резонасных в ИК диапазоне, на большой площади, что поднимет на качественно новый уровень работы, запланированные в проекте, и позволит впервые создать ИК-метаматериалы площади достаточно большой для практических применений.
^ Ожидаемые результаты в 2010 г.
ИФП: Будут разработаны технологические маршруты для изготовления массивов субмикронных нанооболочек из напряженных гибридных пленочных наноструктур, сформированных с использованием штамповой нанолитографии.
Будут оптимизированы конфигурации метаматериалов ТГц диапазона с целью увеличения углов поворота плоскости поляризации проходящего излучения и увеличения по модулю значений отрицательного показателя преломления. Будут сформированы первые образцы метаматериалов на основе оболочек с металлическими слоями, нанесенными методами MOCVD в ИНХ. Будут разработаны приемы оптического совмещения элементов при наслаивании композитных пленок. Будут сформированы трехмерные массивы оболочек различной конфигурации, в том числе с резонансными элементами точно позиционированными во всех трех измерениях.
Будут разработаны методы динамического управления свойствами метаматериалов с помощью внутреннего фотоэффекта.
Будет изготовлен модуль для измерения поляризационно-селективных свойств метаматериалов в ИК диапазоне (λ= 2-25 мкм).
ИЯФ: Будут исследованы в ТГц диапазоне электромагнитные свойства метаматериалов, изготовленных в ИФП и ИНХ.
Будут разработаны экспериментальные схемы для исследования динамического управления оптической активностью метаматериалов и проведены первые эксперименты по управлению поляризацией излучения ТГц диапазона в динамическом режиме. Будут разработаны экспериментальные схемы для исследования электромагнитных свойств метаматериалов в ИК диапазоне.
ИНХ: Будут отработаны режимы управляемого нанесения нанослоев золота на планарные и трехмерные структуры.
Будут исследованы возможности нанесения массивов наночастиц металлов, проявляющих плазмонный эффект.
Будет исследовано влияние электрического поля в зазоре подложка/эксимерная лампа на морфологию получающихся нанослоев.
Нанесение металлических слоев по методам MOCVD будет использовано для формирования металлических слоев оболочек в функциональных метаматериалах ТГц диапазона.
^ Объем запрашиваемого финансирования на 2010 год : 3 500 т. р.
(по работам ИФП: 2 000 т.р., по работам ИЯФ: 750 т.р., по работам ИНХ: 750 т.р.)
Список публикаций по проекту за 2009 г
1) E V Naumova, V Ya Prinz, S V Golod, V A Seleznev, R A Soots and V V Kubarev, Manufacturing chiral electromagnetic metamaterials by directional rolling of strained heterofilms, J. Opt. A: Pure Appl. Opt. 074010 (5pp) Volume 11, Number 7, July 2009
2) Е.В. Наумова, В.Я. Принц, С.В. Голод, В.А. Селезнев, В.А. Сейфи, А.Ф. Булдыгин, В.В. Кубарев, Киральные метаматериалы терагерцового диапазона на основе спиралей из металл-полупроводниковых нанопленок, Автометрия, т.45, №4, стр 12-22
3) B.M.Kuchumov, T.P.Koretskaya, Yu.V.Shevtsov, S.V.Trubin, G.I.Zharkova, V.S.Danilovich, I.K.Igumenov, V.N.Kruchinin
«Low-Temperature VUV-Stimulated MO CVD Process of Palladium Layer Deposition» // ECS Transaction of EuroCVD 17 / CVD 17. Vienna, Austria, 2009. Electrochemical Society, NJ, USA. /Editors: M.T.Swihart, D.Barreca, R.A.Adomaitis, K.Worhoff. ESC Transaction, Vol.25, N 8, Part 2. P.909-916.
4) Е.В.Наумова, В.Я, Принц, С.В,Голод, В.А. Селезнев, В.А. Сейфи, В.В,Кубарев, Киральные метаматериалы на основе прецизионных металл-полупроводниковых спиралей, Тезисы докладов конференции "Полупроводники 2009", Новосибирск-Томск, 28 сент - 3 окт. 2009г, cтр. 290
5) B.M.Kuchumov, T.P.Koretskaya, Yu.V.Shevtsov, S.V.Trubin, G.I.Zharkova, V.S.Danilovich, I.K.Igumenov, V.N.Kruchinin «Low-Temperature VUV-Stimulated MO CVD Process of Palladium Layer Deposition» // Abstracst at17th International European Conference on Chemical Vapor Deposition (EuroCVD 17 / CVD 17). Vienna, Austria. October, 4-9, 2009. P. 2604.
6) R.R. Akberdin, E. N. Chesnokov, M.A. Dem’yanenko, D.G. Esaev, T.N. Goryachevskaya, A.E. Klimov, B.A. Knyazev, E. I. Kolobanov, A. S. Kozlov, V.V.Kubarev, G. N. Kulipanov, S.A. Kuznetsov, A. N. Matveenko, L. E. Medvedev, E.V. Naumova, A.V. Okotrub, V. K. Ovchar, K.S. Palagin, N.S. Paschin, S.G. Peltek, A. K. Petrov, V.Ya. Prinz, V.M. Popik, T.V. Salikova, S.S. Serednyakov, A.N. Skrinsky, O.A. Shevchenko, M.A. Scheglov, N.A. Vinokurov, M.G. Vlasenko, V.V. Yakovlev, N.S. Zaigraeva, High Power THz Applications on the NovoFEL, 34 International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Wave (IRMMW-THz 2009), Busan, Korea, September 21-25, 2009, paper 09030525 (pp2).
7) V.V. Kubarev, V.Ya. Prinz, E.V. Naumova, S.V. Golod, Terahertz optical activity and metamaterial properties of 2D array of metal-semiconductor microhelices, 34 International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Wave (IRMMW-THz 2009), Busan, Korea, September 21-25, 2009, paper 09030521 (pp3) (пригл.докл.).