Конкурсная документация
| Вид материала | Конкурс |
- Приказ №236-н от 30 июня 2011 года конкурсная документация по государственным закупкам, 852.08kb.
- Конкурсная документация по Vоткрытому конкурсу научно-практических работ студентов, 273.12kb.
- Конкурсная документация от 19 сентября, 169.87kb.
- Конкурсная документация по конкурсу на размещение муниципального заказа на поставку, 1246.14kb.
- Конкурсная документация, 4666.04kb.
- Конкурсная документация, 927.87kb.
- Конкурсная документация, 1096.3kb.
- Конкурсная документация, 821.24kb.
- Конкурсная документация, 2011.47kb.
- Конкурсная документация, 1870.93kb.
Подпрограмма "Развитие электронной компонентной базы" на 2007-2011 годы федеральной целевой программы «Национальная технологическая база» на 2007 – 2011 годы (утверждена Постановлением Правительства РФ от 29 января 2007 г. № 54).
Объект исследования.
Объектами исследований являются экспериментальные и серийные СБИС и тестовые структуры с проектными нормами 0,35-0,25-0,18-0,13 мкм, изготовленные на иностранных и отечественных производствах.
Цели и задачи проекта.
Целью выполнения проекта является исследование влияния непрерывных и импульсных видов радиационных воздействий на элементы СБИС и СБИС отечественного и зарубежного производства, определение предельных показателей радиационной стойкости этих изделий и исследование взаимосвязи степени интеграции СБИС с уровнем их радиационной стойкости, а так же разработка рекомендаций по повышению стойкости.
Задачами проекта являются разработка методик, подготовка и проведение сравнительных теоретических и экспериментальных исследований базовых радиационных эффектов (дозы, мощности дозы, структурных повреждений и воздействия отдельных ядерных частиц) в элементах и СБИС с проектными нормами 0,35-0,25-0,18-0,13 мкм, изготовленных на иностранных и отечественных производствах.
Исходные данные для проведения работы
Планы освоения отечественной промышленностью технологий уровня 0,25 – 0,18 мкм с последующим переходом на уровень 0,13 мкм. Технические требования по радиационной стойкости СБИС для электронных систем космического назначения и объектов ядерной энергетики.
Содержание работы.
Анализ и моделирование радиационных эффектов в элементах СБИС, изготовленных по технологии с проектными нормами 0,25 – 0,18 – 0,13 мкм. Определение особенностей их исследования. Разработка моделей радиационной деградации параметров элементов СБИС. Исследование возможностей моделирования СБИС с проектными нормами 0,25 – 0,18 – 0,13 мкм с учетом воздействия радиационных эффектов.
Разработка методик, подготовка и проведение исследований воздействия базовых радиационных эффектов (дозы, мощности дозы, воздействия отдельных высокоэнергетичных частиц) на основные элементы и оценочные СБИС с проектными нормами 0,25 мкм.
Разработка методик, подготовка и проведение исследований воздействия базовых радиационных эффектов (дозы, мощности дозы, воздействия отдельных высокоэнергетичных частиц) на основные элементы и оценочные СБИС с проектными нормами 0,18-0,13 мкм.
Основные требования к выполнению работы
В ходе работы должны быть исследованы:
- зависимости изменения основных электрофизических параметров элементов СБИС и СБИС с проектными нормами 0,25 – 0,18 – 0,13 мкм, от воздействия импульсных и непрерывных видов ионизирующих излучений;
- радиационные эффекты и доминирующие механизмы отказов в элементах СБИС с проектными нормами в диапазоне 0,25-0,18-0,13 мкм;
- типовые и предельные возможности радиационной стойкости исследуемых изделий;
- возможности по обеспечению заданных уровней радиационной стойкости СБИС на каждом из уровней проектных норм, в частности, конструктивно-технологическими методами.
В ходе работы должны быть разработаны:
- рекомендации по методикам радиационных исследований элементной базы и СБИС, изготовленных по технологии с проектными нормами 0,25 – 0,18 – 0,13 мкм;
- рекомендации по методам повышения радиационной стойкости этих изделий.
Перечень этапов, сроки выполнения этапов
| № этапа | Наименование и содержание работ этапа | Сроки выполнения | Результат |
| 1 | 2 | | 5 |
| 1. | Анализ характера радиационного поведения элементов СБИС и СБИС, изготовленных по технологии с проектными нормами 0,25 – 0,18 – 0,13 мкм (по зарубежным и отечественным литературным данным). Анализ и моделирование радиационных эффектов в элементах СБИС с проектными нормами в диапазоне 0.35-0.25-0.18-0.13 мкм, выявление доминирующих механизмов радиационных отказов и особенностей их исследования. Разработка моделей радиационной деградации параметров элементов СБИС с учётом технологии изготовления. | с момента заключения государственного контракта – декабрь 2007 г. | Аналитический обзор по материалам радиационной стойкости СБИС. Модели деградации параметров. Результаты моделиования. |
| 2 | 2. Разработка методик, подготовка и проведение сравнительных экспериментальных исследований базовых радиационных эффектов в элементах и тестовых СБИС с проектными нормами 0.25 мкм. Оценка уровней стойкости СБИС, планируемых к освоению на перспективных отечественных субмикронных производствах. | декабрь 2008 г. | Программа-методика исследований. Протоколы предварительных исследований. |
| 3 | 3. Разработка методик, подготовка и проведение экспериментальных исследований базовых радиационных эффектов в элементах и тестовых СБИС с проектными нормами 0.18-0.13 мкм Оценка уровней стойкости СБИС, планируемых к освоению на перспективных отечественных субмикронных производствах. | декабрь 2009 г. | Программа-методика исследований. Протоколы исследований. Научно-технический отчёт |
Основные (ожидаемые) результаты работы в целом:
В результате выполнения работы будут получены:
Результаты анализа и моделирования радиационных эффектов в элементах СБИС с проектными нормами в диапазоне 0.25-0.18-0.13 мкм, выявление доминирующих механизмов радиационных отказов и особенностей их исследования.
Разработка методик, подготовка и проведение сравнительных экспериментальных исследований базовых радиационных эффектов (дозы, мощности дозы, структурных повреждений и воздействия отдельных ядерных частиц) в элементах и оценочных СБИС с проектными нормами 0.25-0.18-0.13 мкм.
Прогнозирование уровней стойкости СБИС, планируемых к освоению на перспективных отечественных субмикронных производствах.
–– литературный обзор по исследованиям радиационной стойкости элементов СБИС и СБИС, изготовленных по технологии с проектными нормами 0,25 – 0,18 – 0,13 мкм; модели деградации параметров;
–– программы–методики исследований;
–– протоколы исследований экспериментальных образцов на воздействие импульсных и непрерывных видов радиации;
–– научно-технический отчёт по теме.
Перечень продукции, представляемой по окончанию работы.
В результате выполнения работы Заказчику должны быть предъявлены следующие документы:
Техническое задание на НИР.
Программы–методики исследований.
Протоколы исследований.
Итоговый научно-технический отчет по НИР.
Предложения по программе дальнейших исследований.
Рекомендации по внедрению (краткая характеристика области применения)
Выполнение НИР позволит обоснованно задавать и обеспечивать выполнение технических требований по уровню радиационной стойкости СБИС с проектными нормами в диапазоне 0.25-0.18-0.13 мкм, прогнозировать тенденции изменения типовых и предельных уровней стойкости СБИС при снижении проектных норм, прогнозировать уровни стойкости СБИС, планируемых к освоению на перспективных отечественных субмикронных производствах.
10.8. ЛОТ № 8. Техническое задание на выполнение работы «Исследование и разработка методов электронно-микроскопического неразрушающего контроля пластин с МОП структурами уровней технологии 0,25 – 018 мкм в процессе производства»
Шифр работы: ОПК-8-045
Основание для выполнения работы.