1 основные понятия

Вид материалаДокументы
5 Методы и средства исследования нанообъектов
Подобный материал:
1   2   3   4   5   6   7

5 МЕТОДЫ И СРЕДСТВА ИССЛЕДОВАНИЯ НАНООБЪЕКТОВ


Сканирующий зондовый микроскоп

(СЗМ)

scanning probe microscopy, SPM

Микроскоп, формирующий изображе­ние объекта в результате регистрации информативного сигнала, возникающе­го при развертке (сканировании) спе­циального диагностического зонда в контактном или бесконтактном режиме (моде) по поверхности исследуемого объекта.

Сканирующий оптический микроскоп ближнего поля (растровый оптический микроскоп ближнего поля)

(scanning) near-field light microscope

Сканирующий зондовый микроскоп, в котором в качестве измерительного зонда используют оптический световод уменьшающегося диаметра. Этот диа­метр может быть существенно меньше длины волны света, при этом на рас­стояниях, порядка длины волны света вблизи конца световода возникает ста­ционарное световое поле, которое мо­жет модулироваться поверхнростными свойствами объекта.

Сканирующий туннельный микроскоп (СТМ)

scanning tunnel microscope, STM

Сканирующий зндовый микроскоп, ин­формативный сигнал которого пропор­ционален расстоянию между проводя­щим зондом и поверхностью объекта.

FIB

Технология препарирования объекта, основанная на ионном и (или) ионно-химическом травлении поверхности объекта сфокусированным пучком ио­нов. Данная технология используется, в частности для приготовления объектов к исследованию в просвечивающем электронном микроскопе. Аббр. от англ Fast ion beam — пучок быстрых ионов.

TOF SIMS

Масс-спектрометрия вторичных ионов с время-пролетной масс-сепарацией. Метод локального анализа, основанный на регистрации спектра масс ионов, возникающих в результате ионного травления исследуемого образца. Англ. аббр. от 'Time of flight secondary ion mass-spectrometry ".

Атомно-силовой микроскоп, ACM

atomic force microscope, ASM

Сканирующий зондовый микроскоп, информативный сигнал которого про­порционален силе взаимодействия ме­жду проводящим зондом и поверхно­стью объекта.

Видеосигнал

videosignal

Графическая зависимость значения ин­формативного сигнала, поступающего с детектора микроскопа от номера пик­селя в данной строке видеоизображе­ния.

Гранулометрия

grain size analysis, granulometry

Общее название для различных по фи­зическим принципам методов опреде­ления распределения частиц по разме­рам.

Дифрактометр

difractometer

Прибор для регистрации дифракто-грамм - зависимостей интенсивности рассеянного веществом излучения от угла между направлением падающего и рассеянного излучения (угла дифрак­ции)

Дифрактометрия

difractometery

Метод измерения параметров структу­ры вещества, основанный на явлении дифракции электромагнитного излуче­ния.

Дифракция медленных электронов,

дмэ

low-energy electron diffraction, LEED

Метод исследования структуры по­верхности, основанный на дифракции медленных (10...300 эВ) электронов на поверхностных слоях конденсирован­ного вещества.

Дифракция отраженных быстрых электронов, ДОБЭ

reflected fast electron diffraction, RFED

Метод исследования структуры по­верхностных слоев и нанопленок (в том числе, в процессе их роста), основан­ный на дифракции быстрых (1...100 кэВ) электронов в геометрии падения и рассеяния электронов под малыми углами.

Интеферометр

interferometer

Средство измерение, в котором реали­зован эффект интерференции.

Интеферометрия

interferometry

Метод исследования, основанный на явлении интерференции.

Комбинационное рассеяние

combination(al) scattering, Raman scattering

Рассеяние электромагнитного излуче­ния газами, жидкостями и твердыми телами, сопровождающееся заметным изменением частоты падающего излу­чения.

Магнитно-силовой микроскоп (скани­рующий), MCM

(scanning) magnetic force microscope

Сканирующий зондовып микроскоп, по­лучение изображения в котором осно­вано на магнитном взаимодействии острия кантилевера и магнитных кла­стеров на поверхности твердого тела.

Малоугловое рентгеновское рассеяние

small angle X-ray scattering

Метод исследования вещества, в част­ности метод измерения размеров нано-частщ, основанный на регистрации дифрактограмм излучения, рассеянных исследуемым объектом под малыми углами (от нескольких угловых секунд до долей градуса)

Масс-спектр

mass-spectrum

Зависимость ионного тока в масс-спектрометре от отношения массы частицы к ее электрическому заряду.

Масс-спектрометрия

mass-spectrometry

Метод исследования вещества, осно­ванный на получении спектра масс -зависимости ионного тока от отноше­ния массы ионов исследуемого вещест­ва к заряду этих ионов.

Метод EXAFS (EXAFS - спектроско­пия)

EXAFS, EXAFS spectroscopy

Метод, основанный на анализе зависи­мости значения величины коэффициен­та поглощения вблизи края поглощения химического элемента, входящего в состав исследуемого вещества в облас­ти энергий до 100-150 эВ выше края поглощения. Для получения EXAFS спектров обычно используют синхро-тронное излучение. От англ. Extended X-ray Absorption Fine Structure - до­словно: протяженная структура края рентгеновского поглощения.

Метод XANES (XANES - спектроско­пия)

XANES

Метод, основанный на анализе зависи­мости величины коэффициента погло­щения вблизи края поглощения хими­ческого элемента, входящего в состав исследуемого вещества, в области энергий не более 50 эВ выше края по­глощения. Для получения XANES спектров обычно используют синхро-тронное излучение. От англ. X-ray Ab­sorption Near-Edge Structure - дословно: структура [спектра] рентгеновского по­глощения вблизи края поглощения.

Микроскоп электронный просвечивающий, ПЭМ

transmission electron microscope, ТЕМ

Электронный микроскоп, формирующий изображение объекта электрон­ными пучками, проходящими сквозь этот объект.

Микроскоп электронный растровый (сканирующий), РЭМ

scanning electron microscope, SEM

Электронный микроскоп, формирую­щий изображение объекта при скани­ровании его поверхности электронным зондом

Микроскопия зондовая

probe microscopy

Совокупность методов исследования, основанная на использовании увели­ченных изображений объекта, возни­кающих при регистрации сигнала, обу­словленного взаимодействием механи­ческого зонда с поверхностью конден­сированного вещества.

Микроскопия ионная

ion microscopy

Совокупность методов исследования, основанных на использовании увели­ченных изображений объекта ионными пучками средствами ионной оптики.

Микроскопия оптическая

light microscopy, optical microscopy

Совокупность методов исследования, основанных на использовании увели­ченных изображений объектов средст­вами световой оптики.

Микроскопия электронная

electron microscopy

Совокупность методов исследования, основанных на использовании увели­ченных изображений объекта элек­тронными пучками средствами элек­тронной оптики.

Наноанализ

nanoanalysis

Область химического анализа, ориен­тированная на определение химическо­го состава индивидуальных нанообъ-ектов.

Нанодифракция (в просвечивающем электронном микроскопе)

nanodifraction (in ТЕМ)

Специальный режим работы просвечи­вающего электронного микроскопа, при котором регистрируется картина дифракции электронов с выбранного участка образца нанометрового разме­ра

Наноскопия

nanoscopy

Совокупность методов, средств изме­рений и наблюдения, позволяющих по­лучать изображение нанообъекта, ис­следовать и измерять его свойства.

Оже-микроскоп

Auger microscope

Электронный микроскоп, использую­щий для формирования изображения Оже-электроны, возникающие при взаимодействии пучка электронов с объектом.

Оже-спектроскопия

Auger spectroscopy

Метод исследования, основанный на регистрации энергетического спектра Оже-электронов, возникающих при взаимодействии электронного пучка с веществом.

Оже-эффект

Auger effect

Эмиссия электрона из атома, происхо­дящая в результате безызлучательного перехода при наличии в атоме вакан­сии на внутренней электронной обо­лочке.

Рентгеновская спектроскопия погло­щения

absorption X-ray spectroscopy

Группа методов исследования вещест­ва, основанная на зависимости коэф­фициента поглощения рентгеновских лучей от энергии (длины волны) па­дающего излучения.

Синхротрон

synchrotron

Кольцевой резонансный ускоритель заряженных частиц, как легких {элек­тронов, позитронов), так и тяжелых (протонов, антипротонов, ионов). В на-нотехнологии чаще всего используют электронный синхротрон - кольцевой резонансный ускоритель электронов или позитронов до энергии от несколь­ких МэВ до десятков ГэВ. Главные применения синхротрона связаны с об­разованием в нем синхротронного из­лучения.

Фурье-спектрометр

Fourier(-transform) spectrometer, interfer­ence spectrometer

Спектральный прибор, в котором ис­комый спектр получают в два приема: сначала регистрируется интерферо-грамма исследуемого излучения, а за­тем через ее Фурье-преобразование по­лучают искомый спектр.

Фурье-спектроскопия

Fourier(-transform) spectroscopy

Совокупность спектральных методов, в которых для получения спектров ис­пользуют Фурье-спектрометры.

Электронография

electronography

Метод измерения параметров структу­ры вещества в конденсированном со­стоянии, основанный на дифракции электронов с энергией более несколь­ких кэВ.

ЭПР - спектроскопия (спектроскопия электронного парамагнитного резо­нанса)

EPR - spectroscopy

Метод исследования вещества, основанный на явлении электронного па­рамагнитного резонанса

ЭСХА (электронная спектроскопия для химического анализа), рентгено-фотоэлектронная спектроскопия, РФЭС

ESCA (electron spectroscopyfor chemical analysys), X-ray photoelectron spectroscopy

Метод анализа поверхности, основан­ный на регистрации энергетических спектров электронов, возникающих в следствие внешнего фотоэффекта при облучении исследуемого объекта элек­тромагнитным излучением рентгенов­ского диапазона спектра. Аббр. от «электронная спектроскопия для хи­мического анализа», используется так­же термин рентгено-фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС).

ЯМР - спектроскопия (спектроскопия ядерного магнитного резонанса)

NMR-spectroscopy

Метод исследования вещества, осно­ванный на явлении ядерного магнитно­го резонанса