1 основные понятия
| Вид материала | Документы |
| 3 Материалы, объекты и изделия нанотехнологии 4 Основные процессы нанотехнологии |
- Программа по дисциплине «прикладные протоколы интернет и www» по направлениям: «Математика., 234.28kb.
- Тема: Основные понятия и определения, 121.92kb.
- Тема: Основные понятия и определения, 164.71kb.
- Федеральный закон, 255.42kb.
- Основные математические понятия и факты Арифметика, 70.46kb.
- Федеральный закон, 690.72kb.
- План урока: Орг момент. Повторение изученного. Объявление темы. Изучение нового материала., 66.27kb.
- Статья Основные понятия Внастоящем модельном Кодексе используются следующие основные, 698.08kb.
- Лекция: Основные понятия информационной безопасности, 182.39kb.
- 1. Водное занятие. Основные понятия и термины музееведения, 171.51kb.
3 МАТЕРИАЛЫ, ОБЪЕКТЫ И ИЗДЕЛИЯ НАНОТЕХНОЛОГИИ
| OLED-технология OLED-tecnology | Технология построения дисплейных панелей с использованием светодиодов на основе светоизлучающих органических материалов. От aHni.Organic Light Emitting Diode. |
| Y-транзистор Y-transistor | Полевой транзистор, созданный на основе разветвленной (в форме латинской буквы "Y") нанотрубки. |
| моэмс MOEMS | Микрооптоэлектромеханическиая система |
| мэмс MEMS | Микроэлектромеханических система |
| Нановолокно nanofibre | Нанобъект, один из размеров которого является макроскопическим. |
| Нанодисперсный материал nanodispersed material | Дисперсный материал, основная гранулометрическая фракция которого имеет размер не более 100 нм. |
| Нанодоставка | Термин, используемый в медицине, применительно к препаратам, капсули-рованным в оболочки с нанопорами. |
| Нанокристаллический материал nanocrystalline material | Компактный материал, состоящий из кристаллитов, размер которых не более 100 нм. |
| Нанопора nanopore | Пора в твердом объекте, эффективный диаметр которой не превосходит 10 нм. |
| Нанопровод nanowire | Нанобъект, в котором реализуется размерность локализации 2. |
| Нанослой nanolayer | Слой вещества, толщина которого не более 100 нм |
| Наностержень nanorod | См. нанопровод. |
| Наноткань nanofabric | Ткань макроскопических размеров, в которой вместо нитей использованы нанотрубки. |
| Наноточка nanodot | Нанобьект, размеры которого в каждом из трех измерений не превышают 100 нм. |
| Нанотрубка nanotube | Нанообъект цилиндрической формы, диаметр цилиндра лежит в нанодиапа-зоне, а высота может иметь макроскопический размер. |
| Углеродная нанотрубка carbon nanotube | Углеродная каркасная структура цилиндрической формы диаметром приблизительно от 0,2 до 2 нм и длиной несколько микрометров. |
| Фотонные нанокристаллы Photon crystals | Кристаллы, образованные из нанокла-стеров, размер которых сопоставим с длиной волны фотонов. |
| Фуллерен fullerene | Аллотропная молекулярная форма углерода, в которой атомы расположены в вершинах правильных шести- и пятиугольников, покрывающих поверхность сферы или сфероида. Такие молекулы могут содержать 28, 32, 50, 60, 70, 76 и т.д. атомов углерода. Молекула с 60 атомами углерода обладает наиболее высокой среди фуллеренов симметрией и, следовательно, наибольшей стабильностью. |
4 ОСНОВНЫЕ ПРОЦЕССЫ НАНОТЕХНОЛОГИИ
| CVD-технология С VD-technology | Технология химического осаждения слоев материала из паровой фазы. Широко применяется в электронной промышленности и при производстве углеродных нанотрубок. Англ. Chemical Vapor Deposition. |
| Ионно-лучевая технология ion beam technology | Группа технологических процессов, основанных на взаимодействии конденсированного вещества с потоком ионов (например, ионная имплантация, FIB и др.). |
| Литография lithography | Многоступенчатый процесс формирования структур с элементами любого размера путем переноса узора (топологического рисунка) с шаблона (маски) на формируемый рабочий слой, покрытый вспомогательным слоем — рези-стом, чувствительным к используемому излучению. Затем скрытое изображение проявляют и через образовавшуюся резистивную маску проводят химическое (или плазмо-химическое) травление рабочего слоя, после которого резистивная маска удаляется. При этом возможны как негативный, так и позитивный процессы. |
| Литография ионная ion lithography | Литография, в которой процесс передачи рисунка от шаблона к рабочему слою осуществляется широким пучком ионов или прорисовывается остросфо-кусированным пучком ионов. |
| Литография рентгеновская X-ray lithography | Литография, в которой процесс передачи рисунка от шаблона к рабочему слою осуществляется с помощью рентгеновского излучения. |
| Литография электронная electron lithography | Литография, в которой процесс передачи заданного рисунка осуществляется путем прорисовки его остросфоку-сированным электронным пучком. |
| Маска (шаблон) mask (projection mask) | Твердотельная плоская пластина с непрозрачным изображением топологического рисунка, имеющая прозрачные для облучения области вне рисунка (позитивный процесс). Для негативного процесса прозрачными являются области топологического рисунка. |
| Метод (технология) молекулярного наслаивания molecular layering tecnology | Заключается в организации поверхностных химических реакций с пространственным и временным разделением. Этим способом можно создавать нано-пленки любой толщины - от монослоя атомов до десятка слоев на поверхности. |
| Механохимический синтез mechano-chemical synthesis | Способ получения нанокластеров и наноструктур путем механического воздействия на вещество. |
| Молекулярно-лучевая эпитаксия molecular beam epitaxy | Технологический процесс выращивания тонких кристаллических слоев (пленок) на кристаллической подложке с помощью молекулярных пучков. |
| Нанодиспергатор nanodispenser | Техническое устройство, позволяющее из массивного материала получать на-нодисперсный материал {технология сверху-вниз) |
| Нанолитография nanolithography | Создание структур, элементы которых имеют по крайней мере по одному из измерений размер от 1 до 100 нм с использованием процессов литографии. |
| Наноманипулятор nanomanipulator | Техническое устройство, позволяющее контролируемым образом перемещать в пространстве нанообъекты и отдельные атомы. В наноманипуляторе имеется устройство нанопозиционирования и контактная часть, взаимодействующая с нанообъектом. |
| Наносинтез nanosynthesis | Синтез, целью которого является получение наночастиц та наноматериалов. |
| Нанохимия nanochemistry | Область химии, изучающая методы синтеза, химического анализа, физико-химические и термодинамические характеристики, химические свойства на-нообъектов. |
| Наноэлектроника nanoelectronics | Изготовление электронных устройств, элементы которых имеют линейные размеры в нанодиапазоне. |
| Оптическая литография optical lithography | Литография, в которой процесс передачи рисунка от шаблона к рабочему слою осуществляется с помощью оптического коротковолнового излучения (ультрафиолетовый диапазон). |
| Резист (резистивный слой) resist | Вспомогательный слой из чувствительного к облучению материала. Различают следующие виды резистов: фоторезист (для оптического излучения), электронный резист (для электронного облучения), ионный резист (для ионного облучения) и рентгеновский резист (для рентгеновского облучения). |
| Самоорганизация self-organization | Самопроизвольное образование в неравновесных системах устойчивых регулярных структур. |
| Самосборка self-assembly | Получение нанообьектов путем объединения отдельных атомов в результате их взаимодействия (технология снизу-вверх). |
| Технология «сверху-вниз» top-bottom technology | Технология, основанная на дроблении, разрушении массивного материала до уровня наночастиц. |
| Технология «снизу-вверх» bottom-up tecnology | Технология, основанная на объединении атомов и молекул до получения наночастиц. |
| Технология Ленгмюра-Блоджет Langmuir-Blodgett technology | Способ получения нанопленок, основанный на формировании на поверхности жидкости (чаще всего - воды) монослоя поверхностно-активного вещества, в который могут входить ионы и их комплексы. Затем эта пленка переносится с поверхности жидкости на твердую подложку. |
| Ударно-волновой синтез shock wave synthesis | Способ получения наночастиц и нано-материалов с помощью действия ударной волны, возникающей при взрыве. |