Содержание общие вопросы метрологического обеспечения измерительных систем 9 Брюханов В. А. 9

Вид материалаДоклад

Содержание


Метрологический анализдифференциальных волоконно-оптическихдатчиков давления аттенюаторного типа
Костоусов М.В.
Подобный материал:
1   ...   26   27   28   29   30   31   32   33   34

Метрологический анализ
дифференциальных волоконно-оптических
датчиков давления аттенюаторного типа


На основании обобщенного подхода к метрологическому анализу волоконно-оптических датчиков (ВОД) можно провести анализ любого типа ВОД [1]. Как показано в [2], дифференциальное управление световым потоком позволяет значительно снизить влияние на точность измерений неинформативных параметров внешней среды и изгибов волоконно-оптического кабеля (ВОК). Достаточно просто реализовать дифференциальную схему преобразования сигналов можно в ВОДД аттенюаторного типа. C учетом вышесказанного проведен метрологический анализ разработанного автором дифференциального ВОДД аттенюаторного типа.

На рис. 1 приведены конструктивная, структурная и функциональная схема такого датчика, включающего два измерительных канала.

Световой поток Ф0 источника излучения (ИИ) по подводящему оптическому волокну (ПОВ) направляется в сторону шторки с отверстием, закрепленной жестко на мембране (см. рис. 1, а). Мембрана под действием измеряемого давления Р прогибается, шторка при этом смещается относительно приемных торцов отводящих оптических волокон (ООВ) первого и второго измерительных каналов (ИК). Световые потоки Ф1(X) и Ф2(X) на выходе ООВ 1 и ООВ 2 первого и второго ИК при этом изменяются. Причем если сигнал в первом канале увеличивается на какое-то значение, то во втором канале уменьшается на такое же значение. На приемниках излучения (ПИ) оптические сигналы преобразуются в электрические и далее поступают на схему вторичной обработки, например на делитель (см. рис. 1, б).

На функциональной схеме приняты следующие обозначения: SМ – чувствительность мембраны; КШТ1, КШТ2 – коэффициенты преобразования первого и второго отверстий в шторке соответственно; SИИ – чувствительность ИИ; КПОВ – коэффициент передачи оптического канала “ИИ – подводящее оптическое волокно”; КООВ1, КООВ2 – коэффициенты передачи первого и второго оптических каналов “шторка – отводящее оптическое волокно” соответственно; SПИ1, SПИ2 – чувствительности первого и второго приемников излучения; КД – коэффициент преобразования делителя.

Функция преобразования такого датчика будет иметь вид:

Y= РИИSМ КПОВШТ1КООВ1SПИ1ШТ2КООВ2SПИ2) КД Р,

где Y – выходная величина, P – измеряемое давление.



Рис. 1. Дифференциальный ВОДД аттенюаторного (шторочного) типа
а – конструктивная схема; б – структурная схема; в – функциональная схема

Метрологическая модель дифференциального ВОДД аттенюаторного типа представлена на рис. 2.

Приняты следующие обозначения:

1 – погрешность юстировки ИИ относительно ПОВ; 2, 34, 5 – погрешности из-за неточности начальной установки шторки относительно ПОВ и ООВ; 6, 7 – погрешности из-за неточности юстировки ПОВ и ООВ друг относительно друга в зоне измерения; М1, М2 – погрешности из-за неточности изготовления мембраны, вносимые в первый и второй измерительный каналы; ШТ1, ШТ2 – погрешности из-за неточности изготовления шторки, вносимые в первый и второй измерительный каналы; 8, 9 – погрешности юстировки ООВ1 и ООВ2 относительно ПИ1 и ПИ2; 10, 11 – погрешности спектрального согласования ИИ и ПИ1 и ПИ2; лш1, лщ2 – погрешности линейности функ-







ций преобразования оптического сигнала на отверстии шторки первого и второго ИК; лм1, лм2 – погрешности линейности функций преобразования мембраны первого и второго измерительных каналов; Sм – погрешность чувствительности мембраны, обусловленная изменением ее параметров при изменении температуры окружающей среды, механических воздействий и т.п.; КШТ1, КШТ2 – погрешности, вносимые в первый и второй измерительный каналы, от прогиба шторки при воздействии на нее поперечных возмущающих сил и изменения длины шторки под действием температуры; КПОВ, КООВ1, КООВ2 – погрешности, обусловленные изменением светопропускания ПОВ и ООВ, при изгибах ВОК, механических воздействий и т.п.; SИИ – погрешность, обусловленная изменением мощности и диаграммы излучения ИИ при изменении температуры окружающей среды, напряжения питания и т.п.; SПИ1, SПИ2 – погрешность от изменения интегральной токовой чувствительности первого и второго ПИ при изменении температуры окружающей cреды, напряжения питания и т.п.; 1(), 2() – погрешность спектрального согласования ИИ и ПИ1 и ПИ2 соответственно при изменении температуры окружающей среды; КД – погрешность коэффициента преобразования делительного устройства при изменении температуры окружающей среды и напряжения питания.

Номинальные функции преобразования:

– первого измерительного канала

IН1=SМРИИКШТ1КПОВКООВ1SПИP, (1)

– второго измерительного канала

IН2=SМРИИКШТ2КПОВКООВ2SПИP, (2)

В соответствии с метрологической моделью датчика реальные функции преобразования будут иметь вид:

– первого измерительного канала:

IР1=SМ(1+SМ)SИИ(1+SИИ)[(1ПОВ)(1+КПОВ)]

[(ЛМ1+2+М1ШТ1)(1+КШТ1)][(4+6+ЛШ1+ШТ1+КООВ1)

(1+КООВ1)][(1+1()][(8+10+SПИ1)(1+SПИ1)]P, (3)

– второго измерительного канала:

IР2=SМ(1+SМ)SИИ(1+SИИ)[(1ПОВ)(1+КПОВ)]

[(ЛМ2+3+М2ШТ2)(1+КШТ2)][(5+7+ЛШ2+ШТ2+КООВ2)

(1+КООВ2)][(1+2()][(9+11+SПИ2)(1+SПИ2)]P. (4)

Погрешность преобразования каждого из каналов определится следующим образом:

I1 = IР1IН1, I2 = IР2 – IН2,

или с учетом выражений (1) – (4):

I1 = КПОВ1ШТ1(ЛМ1+2+М1)ООВ1(4+6+ЛШ1+ШТ1)+

+SПИ1(8+10)+(SИИ)SИИ+(КПОВ)КПОВ+[1()]1()+

+[SМ+КШТ1+КООВ1 +SПИ1]P,

I2 = КПОВ1+КШТ2(ЛМ2+3+М3)+КООВ2(5+7+ЛШ2+ШТ2)+

+SПИ2(9+12)+(SИИ)SИИ+(КПОВ)КПОВ+[2()]2()+

+[SМ+КШТ2+КООВ2 +SПИ2]P.

Мультипликативная составляющая погрешности равна:

– первого измерительного канала

,

– второго измерительного канала

,

аддитивная составляющая погрешности:

– первого измерительного канала

J1 = КПОВ1 + КШТ1(ЛМ1 + 2 + М1) +

+КООВ1(4 + 6 + ЛШ1 + ШТ1) + SПИ1(8 + 10),

– второго измерительного канала

J1 = КПОВ1 + КШТ2(ЛМ2 + 3 + М3) +

+КООВ2(5 + 7 + ЛШ2 + ШТ2) + SПИ2(9 + 12),

нелинейная составляющая:

– первого измерительного канала

JЛ1 = КШТ1(ЛМ1+М1) + КООВ1ЛШ1,

– второго измерительного канала

JЛ2 = КШТ2(ЛМ2+М2) + КООВ2ЛШ2.

Аддитивная и нелинейная составляющие погрешности не влияют на результат измерений, если в нормативно-техническую документацию вносится градуировочная характеристика датчика, смещенная вдоль оси ординат относительно номинальной функции преобразования на аддитивную погрешность. Если в документацию внесена номинальная функция преобразования в виде аналитической зависимости, то необходимо учитывать данные погрешности, например при обработке результатов измерений, с целью их исключения.

Причины возникновения погрешности 1 подробно рассмотрены в работе [3]. Самую большую погрешность (до 10 %) могут внести радиальные рассогласования ИИ и ПОВ. Продольные и угловые рассогласования вносят незначительную погрешность (не более 1 %), если не превышают 10 % от диаметра жгута.

Погрешность 5 практически равна нулю, так как площадь торца жгута ООВ значительно меньше площади приемной светочувствительной площадки ПИ.

Погрешности 1 – 5 могут быть существенно снижены в процессе сборки датчиков точной юстировкой элементов конструкции.

Погрешности 6 и 7 из-за неточности юстировки ПОВ и ООВ друг относительно друга в зоне измерения несущественны, если ООВ1 и ООВ2 смещены относительно ПОВ в противоположные стороны, в противном случае они могут достигнуть 10 %.

Погрешности 8, 9 юстировки ООВ первого и второго ИК относительно ПИ первого и второго ИК соответственно практически равны нулю, так как площадь торца жгута ООВ значительно меньше площади приемной светочувствительной площадки ПИ.

Погрешности 10 и 11 спектрального согласования ИИ и ПИ несущественны, если правильно подобраны пары “источник излучения – приемник излучения (первого и второго измерительных каналов соответственно)”, если диапазон длины волны излучения ИИ соответствует диапазону спектральной чувствительности ПИ. Например, анализ спектральных характеристик инфракрасного светодиода 3Л107Б и фотодиодов КФДМ, ФД-19КК, ФД-32К, показал, что спектральная характеристика интегральной чувствительности фотодиода ФД-32К не соответствует спектральной характеристике светодиода 3Л107Б, то есть коэффициент спектрального согласования () практически равен нулю. Спектральный диапазон фотодиода ФД-19КК частично совпадает со спектром светодиода 3Л107Б, и коэффициент спектрального согласования составляет ()0,5. Лучшей парой светодиоду 3Л107Б по коэффициенту спектрального согласования можно считать фотодиод КФДМ, спектральный диапазон чувствительности которого полностью перекрывает диапазон излучения светодиода 3Л107Б. В этом случае ()1.

Мультипликативная погрешность () спектрального согласования источника и приемников излучения при изменении температуры окружающей среды в диапазоне  50 С может достигать 25–30 % (например, для пары светодиод 3Л107Б – фотодиод ФД-19КК). Но она может быть существенно снижена, если использовать двухплощадочные фотодиоды, каждая из светочувствительных площадок которых включена в один из измерительных каналов дифференциальной схемы, к которой подведены ООВ соответствующих измерительных каналов.

Погрешности из-за неточности изготовления шторки ШТ1 и ШТ2 сравнимы с вышеперечисленными погрешностями по значимости. Уменьшить данные погрешности можно конструктивным путем, применяя совершенную технологию изготовления (например, травление каналов для крепления ОВ относительно друг друга и шторки в единой несущей детали), а при изготовлении шторки, прибегнув к дорогим технологическим приспособлениям, обеспечивающим точное формирование отверстий в шторке. В то же время данные погрешности можно существенно снизить в процессе настройки датчика юстировкой ПОВ относительно отверстий в шторке и ООВ. Пожалуй, самым сложным в процессе сборки ВОП будет точная юстировка ОВ относительно отверстий в шторке, так как сама шторка тем или иным образом должна быть закреплена на мембране, к габаритно-посадочным размерам которой, в свою очередь, предъявляются достаточно жесткие требования. С этой точки зрения целесообразно формировать мембрану и шторку как единое целое путем травления, например, используя кремниевые заготовки.

Тем же способом могут быть существенно снижены погрешности из-за неточности изготовления мембраны М1 и М2. Кроме того, данные погрешности могут быть исключены в процессе настройки путем точной юстировки ОВ относительно шторки.

Погрешность чувствительности мембраны , обусловленная изменением ее параметров при изменении температуры окружающей среды, воздействии ударов, вибраций, линейных ускорений и т.п., в первую очередь, обусловлена тем, что увеличивается неинформативный прогиб мембраны и, соответственно, происходит смещение отверстий шторки относительно ОВ в направлении Z. Чтобы снизить влияние данной причины на результат измерения предпочтительной следует считать шторку, когда ООВ расположены на одной оси Y относительно ПОВ, тогда дифференциальное исполнение ВОП приведет к равнопропорциональным изменениям оптического сигнала в двух каналах. Такое расположении ООВ также позволяет снизить погрешности КШТ1, КШТ2, которые проявляются при воздействии на шторку поперечных механических воздействий, при этом последняя испытывает прогиб, и, соответственно, изменяются расстояния от шторки до ПОВ и ООВ.

Мультипликативные погрешности КПОВ, КООВ1, КООВ2, обусловленные изменением светопропускания ПОВ и ООВ при неинформативных изгибах ВОК, воздействии ударов, вибрации, линейного ускорения и т.д. в дифференциальной схеме практически исключены, если все волокна расположены в одном жгуте и испытывают одинаковые внешние воздействия: климатические и механические. Здесь необходимо сделать оговорку, что вышесказанное справедливо, если изгибы волокна незначительны (не менее 10-и диаметров волокна). Большие изгибы ВОК вызывают существенное снижение интенсивности светового потока, поступающего в зону измерений, сравнимому с минимальным уровнем информативного сигнала. Поэтому при изготовлении и эксплуатации ВОД необходимо принять все возможные конструктивно-технологические меры для исключения неинформативных изгибов ВОК [3].

Мультипликативные погрешности SИИ, SПИ1, SПИ2 при изменении параметров окружающей среды могут достигать 30, а в отдельных случаях 50 % от результата измерений, если не принять соответствующих мер. Но так как они носят систематический характер, поэтому могут быть исключены тем или иным способом. В литературе [например, 1-3] достаточно подробно освещены вопросы снижения этих погрешностей с помощью различных схемотехнических решений: дифференциальное исполнение измерительной схемы датчика, введение дополнительных схем коррекции и т.п. Погрешности 1 и SИИ в дифференциальной схеме, если используется одно ПОВ, практически равны нулю, так как на выходе ПОВ диаграмма излучения симметричная круговая, а изменение интенсивности светового потока ведет к пропорциональному изменению сигналов первого и второго измерительных каналов. Если используются фотодиоды дифференциального типа, когда к одной светочувствительной площадке подведено первое ООВ, а ко второй – второе ООВ, то погрешности SПИ1, SПИ2 также несущественны.

Погрешности преобразований каждого из каналов без учета погрешностей, которыми можно пренебречь, будут определяться следующими выражениями:

I1 = КШТ1(ЛМ1+2+М1)+КООВ1(4+6+ЛШ1+ШТ1)+SМP,

I2 = КШТ2(ЛМ2+3+М3)+КООВ2(5+7+ЛШ2+ШТ2)+SМP,

а реальная функция преобразования запишется

YР = SМ(1+SМ) SИИКПОВКД(1+КД)UПР(КШТ1+ЛМ1+2+М1)SПИ1

 (КООВ1+ +4+6+ЛШ1+ШТ1)/(КШТ2+ЛМ2+3+М3) SПИ2

 (КООВ2+5+7+ЛШ2+ШТ2).

Очевидно, что в дифференциальной схеме ЛМ1 ЛМ2, 2 3,
М1М2, 4 5, 6 7, ЛШ1  ЛШ2, тогда

YР = SМ(1+SМ)SИИКПОВ

КШТ1SПИ1(КООВ1+ШТ1)/КШТ2SПИ2(КООВ2+ШТ2)КВУ(1+КВУ)UПР. (5)

По литературным источникам погрешность КВУ составляет 0,25% [3].

Погрешность SМ может быть снижена, если использовать для изготовления мембраны высокостабильные металлы с малым коэффициентом температурного расширения, например сплав 36НХТЮ.

Таким образом, остаются неисключенными погрешности ШТ1, ШТ2, обусловленные неточностью изготовления шторки, которые, как говорилось выше, можно снизить конструктивно-технологическим путем, что ведет к некоторому удорожанию подобного датчика.

Таким образом, метрологический анализ дифференциальных ВОДД аттенюаторного типа показал, что дифференциальная схема позволяет существенно снизить большинство погрешностей таких ВОДД.

Литература

1. Пивкин А.Г. Обобщенный подход к метрологическому анализу волоконно-оптических датчиков / Е.А. Бадеева, А.В. Гориш, А.Г. Пивкин // Информационно-измерительная техника, экология и мониторинг: Науч. тр. – Вып. 6 (2003). – М.: МГУЛ, 2003. – С. 255-257.

2. Пивкин А.Г. Математическая модель волоконно-оптического преобразователя аттенюаторного типа // Информационно-измеритель-ная техника, экология и мониторинг: Науч. тр. – Вып. 6 (2003). – М.: МГУЛ, 2003. – С. 268-274.

3. Мурашкина Т.И., Волчихин В.И. Амплитудные волоконно-опти-ческие датчики автономных систем управления: Монография. – Пенза: Изд-во Пенз. гос. ун-та, 1999. – 173 с.

Автор

Пивкин Александр Григорьевич – генеральный директор ОАО “НИИ Вычислительной техники”, ООО “НИИВТ-РУСИЧИ-ФАРМА”, к.т.н.

Россия, 440026, Пенза, ул. Лермонтова, 3.

Тел. (841-2) 55-20-47, факс (841-2) 55-19-03.

Костоусов М.В.