Технический контроль качества кристаллических элементов из лангатата для устройств пьезотехники
Отчет по практике - Физика
Другие отчеты по практике по предмету Физика
деления 1мкм, закрепленной на измерительной стойке. Измерение толщины подложки производят однократно в центре подложки, лежащей на измерительной стойке. Контроль толщины с помощью измерительной головки МИГ-1 проводят на операциях резки и шлифовки подложек.
.2.2. Контроль толщины подложек на операции полировки выполняют с помощью вертикального оптиметра ИКВ-3. Перед началом полировки измеряют толщину склеенных в пары подложек. На поверхность пары подложек, лежащих на измерительном столике оптиметра, опускают измерительный наконечник сферической формы и снимают отсчет по шкале на экране оптиметра. После окончания полировки повторно измеряют толщину пары подложек. Разность отсчетов дает убыль толщины двух подложек при полировке.
. Контроль размеров базового среза и его расположения
Контроль размеров базового среза и вспомогательного среза осуществляют с помощью линейки Vogel тип В с ценой деления 0,5мм. Подложку кладут на поверхность рабочего стола лицевой стороной вверх. К базовому и вспомогательному срезу прикладывают линейку и определяют длину срезов.
Контроль расположения базового среза осуществляют визуально.
. Контроль направления +Х на базовом срезе пьезоэлектрической подложки
Контроль направления +Х осуществляют с помощью пьезотестера согласно инструкции по эксплуатации. Щуп пьезотестера опускают три раза на край подложки в центре среза (базового или вспомогательного в зависимости от типоразмера подложки). Индикация на пьезотестере красной лампочки под знаком "+" означает, что срез подложки (базовый или вспомогательный в зависимости от типоразмера подложки) имеет выход направлении +Х.
. Контроль шероховатости нерабочей поверхности подложки
Контроль шероховатости нерабочей поверхности пьезоэлектрической подложки осуществляют с помощью портативного измерителя шероховатости TR 200 согласно инструкции по эксплуатации. При измерении подложку кладут на рабочий стол шлифованной стороной вверх и на нее устанавливают иглу портативного измерителя шероховатости. Измерение проводят однократно в любом месте нерабочей поверхности подложки. Показания считывают с экрана измерителя.
. Контроль разброса толщины пьезоэлектрической подложки
.1. Контроль разброса толщины пьезоэлектрической подложки проводят с помощью измерительной головки МИГ-1 с ценой деления 1 мкм, закрепленной на измерительной стойке. Измерения выполняют на подложке, лежащей на измерительной стойке. Измеряют толщину подложки в центре и в четырех точках по периметру с отступом 6 мм от края подложки так, чтобы два измерения были произведены напротив базового и вспомогательного срезов. Разброс толщины определяют как максимальную разницу между пятью измеренными толщинами.
.2. Контроль общего разброса толщины подложки осуществляют с помощью интерферометра LI-10 согласно инструкции по эксплуатации. Перед проведением измерений пьезоэлектрическую подложку фиксируют на вакуумной присоске интерферометра. LI-10. По изображению подложки с интерференционными кольцами рассчитывают общий разброс толщины по формуле
?h = N?/2, (1)
где ?h - величина, общего разброса толщины подложки;
N - количество колец, наблюдаемых на подложке;
? - длина волны монохромного света (0,632 мкм ).
Контроль разброса толщины на длине 13,6 мм на пьезоэлектрической подложке
Контроль разброса толщины на длине 13,6 мм осуществляют с помощью интерферометра LI-10 согласно инструкции по эксплуатации. Локальное изменение толщины на подложке определяется как разница между максимальной и минимальной толщиной подложки внутри участков заданного размера на рабочей поверхности подложки. Перед измерением разброса толщины на длине 13,6 мм пьезоэлектрическую подложку фиксируют на вакуумной присоске интерферометра LI-10. На изображение подложки с интерференционными кольцами накладывают сетку с шагом 13,6 мм. Для каждого участка сетки рассчитывают разброс толщины по формуле (1).
. Контроль изгиба пьезоэлектрической подложки на длине 20мм
Контроль изгиба пьезоэлектрической подложки осуществляют с помощью интерферометра ФИЗО-100 согласно инструкции по эксплуатации. Изгиб подложки определяется как отклонение центра подложки от фокальной плоскости, проходящей через три точки опоры свободнолежащей подложки. Измерение изгиба подложки осуществляют на заданной длине с отступом от центра в обе стороны по 10мм в продольном направлении. Затем измерения повторяют в поперечном направлении. Выбирают направление с наибольшим количеством колец на длине 20 мм. Расчет изгиба подложки осуществляют по формуле (1).
. Контроль угла среза пьезоэлектрической подложки
Контроль угла среза пьезоэлектрической подложки выполняют на рентгеновском дифрактометре DSO-2Р согласно инструкции по эксплуатации. Перед измерением угла среза подложку располагают на столике дифрактометра полированной стороной вниз. После запуска программы выполняют измерение, результаты которого выводятся на экран монитора в окне редактора WordPad.
. Контроль параллельности рабочей плоскости подложки относительно оси Х
Контроль параллельности рабочей плоскости подложки выполняют на рентгеновском дифрактометре DSO-2Р согласно инструкции по эксплуатации. Перед измерением параллельности рабочей поверхности подложку располагают на столике дифрактометра полированной стороной вниз. После запуска программы выполняют измерение, результаты которого выводятся на экран монитора в окне реда