Разное

8141. Основы делопроизводства в органах внутренних дел
Информация пополнение в коллекции 09.12.2008
1. Федеральный закон РФ «Об информации, информатизации и защите информации» от 20.02.95 № 24-ФЗ // По системе «Консультант +».
2. Федеральный закон РФ «О товарных знаках, знаках обслуживания и наименованиях мест происхождения товаров» от 23.09.92 № 3520-1 // По системе «Консультант +».
3. Федеральный закон РФ «Об участии в международном информационном обмене» от 4.-7.96 № 85-ФЗ // По системе «Консультант +».
4. Постановление Правительства Российской Федерации «Об утверждении Положения о Национальном центральном бюро Интерпола» от 14.10.96 № 1190.
5. Приказ МВД РФ от 1.03.99 № 150 «Об организации делопроизводства и порядке работы с обращениями граждан в центральном аппарате и подчиненных подразделениях МВД России».
6. Приказ МВД России от 23.09.92 №340 "О мерах по совершенствованию правовой работы в системе МВД России".
7. ГОСТ Р 51141-98 «Делопроизводство и архивное дело. Термины и определения». М.: Изд-во стандартов, 1998.
8. ГОСТ Р 6.30-97 «Унифицированные системы документации. Унифицированная система организационно-распорядительной документации. Требования к оформлению документов». М.: Изд-во стандартов, 1997.
9. Типовая инструкция по делопроизводству в министерствах и ведомствах Российской Федерации. М., 1992.
10. Оформление документов. Методические рекомендации на основе ГОСТ Р 6.30-97.
11. А.Н.Кузнецова. Машинопись и делопроизводство. - М.,1987.
12. В.И.Андреева. Делопроизводство: Практическое пособие с образцами документов на основе ГОСТов РФ по состоянию на 01.09.99. М.: Бизнес школа «Интел-Синтез», 1999.
13. П.В.Веселов. Современное деловое письмо в промышленности. - М.: Изд-во стандартов, 1990.
14. Учебно-методические материалы по предмету «Основы машинописи». Орел, 1995.
8142. Основы законодательства о нотариате
Информация пополнение в коллекции 12.01.2009
8143. Основы здорового образа жизни студента
Информация пополнение в коллекции 09.12.2008

В современном обществе, особенно в условиях городской жизни, человек практически избавлен от физических нагрузок (к студентам это относится в силу времени, проводимого в учебных аудиториях в сидячем положении). В результате мышечная система организма функционирует не в полную силу. Это вредно отражается и на других системах. Изучение воздействия гипокинезии на человека началось сравнительно недавно. Интересным оказался такой эксперимент. Несколько молодых мужчин согласились находиться длительное время в условиях строгого постельного режима с полноценным питанием. Уже на 812-е сутки мышечная сила у испытуемых снизилась на 3043 %, обнаружились застойные явления в венозных сосудах, нарушение биоритмов и водно-электролитного баланса, неустойчивость тонуса сосудов головного мозга (плохо регулируемые сужения и расширения их).
8144. Основы и правила макияжа
Информация пополнение в коллекции 01.06.2010

Промокните лицо бумажной салфеткой, чтобы устранить излишки дневного крема. Затем возьмите небольшую порцию тонального средства тремя пальцами правой руки (указательным, средним и безымянным). Сложите руки так, чтобы крем отпечатался на тех же пальцах левой руки, и точечными похлопываниями нанесите крем на лицо. Растушуйте кругообразными движениями от центра к периферии по массажным линиям. От тепла пальцев тональный крем распределяется более равномерно. Можно воспользоваться специальной губкой - спонжем. Правда, это не очень экономно - часть крема впитывается в губку. К тому же губка каждый раз должна быть свежей. Тут нет единого мнения, одни косметологи предпочитают пользоваться спонжем, другие - нет. Слой тонального крема должен быть таким тонким, чтобы лицо не имело вида маски.
8145. Основы и принципы роботизации промышленного производства
Контрольная работа пополнение в коллекции 09.12.2008

Автоматизированное проектирование единичных технологических процессов должно стать основным направлением технологического проектирования в комплексных автоматизированных системах технологической подготовки производства. Это направление является универсальным. Оно применимо для любого типа производства и любых деталей: определенного класса, стандартных, нормализованных и оригинальных, с различной степенью унификации обрабатываемых поверхностей. Единичные технологические процессы являются источником создания и пополнения архивов типовых технологических процессов, т.е. источником еще одного направления автоматизации технологического проектирования. В наибольшей степени САПР единичных процессов приемлемы в условиях мелкосерийного и единичного производства, где типовые и групповые технологические процессы оказываются неэффективными вследствие больших затрат времени на выполнение подготовительных работ (разработку классификаторов, типовых и групповых процессов и их элементов).
8146. Основы конституционного строя Польши
Информация пополнение в коллекции 15.04.2008

Законодательный сейм был переименован в Сейм, который определялся как верховный орган государственной власти и как "верховный выразитель воли трудящихся города и деревни" должен был осуществлять суверенные права нации. Поскольку Сейм собирался на сессии редко и сессии были кратковременны, большинство его полномочий осуществлялось Государственным советом, который избирался Сеймом из своего состава. Институт Президента был ликвидирован, а полномочия главы государства возложены на Государственный совет. Правительство назначалось и отзывалось Сеймом, а в период между его сессиями, которые на практике, как и в СССР, занимали несколько дней в году, члены Правительства назначались и отзывались по представлению его Председателя Государственным советом. Правительство было формально ответственно перед Сеймом, а в межсессионные периоды - перед Государственным советом. Вся эта модель, как и в других социалистических государствах, была формальной: реальная власть в стране принадлежала узкой олигархии, именовавшейся политбюро центрального комитета ПОРП во главе с первым секретарем. В политбюро же обычно избирались первые руководители Государственного совета, Правительства, наиболее значимых министерств, а также наиболее влиятельные партийные чиновники. Верховная палата контроля и Государственный трибунал Конституцией 1952 г. не предусматривались, а местные органы власти, суд и прокуратура были построены в основном по советскому образцу.[]
8147. Основы конституционного строя Российской Федерации
Информация пополнение в коллекции 18.07.2008

В 2001 г. принят Земельный кодекс РФ, который устанавливает правовой режим нескольких категорий земель (земли поселений, лесного фонда, земли специального назначения обороны, транспорта и др.), разрешает их свободный оборот (куплю-продажу земель населённых пунктов, земель под строениями, дачных, садовых участков и др.). Из оборота исключаются земли лесного фонда, водоохранные земли, особо охраняемых территорий и др. Оборот земель сельскохозяйственного назначения регулируется федеральным законом. Сельскохозяйственные земли могут находиться только в российской собственности (государства, муниципальных образований, граждан РФ, юридических лиц РФ). Иностранные граждане, лица без гражданства, иностранные юридические лица, а также юридические лица, где доля неграждан РФ в уставном (складочном) капитале составляет более 50%, могут обладать участками земель сельскохозяйственного назначения только на правах аренды. Максимальные и минимальные размеры земельных участков устанавливаются субъектами Федерации. Так, в соответствии с п.2 ст.9 Закона «Об особенностях оборота земель сельскохозяйственного назначения в Белгородской области» от 31 декабря 2003г. минимальный размер земельного участка не может быть менее 50гектаров.2 В случае ненадлежащего использования сельскохозяйственных земель участок может быть принудительно изъят через суд. Участок земли может быть реквизирован (за плату) в случае стихийных бедствий и других ситуаций, изъят по суду (за плату) или национализирован для государственных или муниципальных нужд (переход частной собственности в публичную), но только на возмездных началах и при справедливой оплате, которая не может устанавливаться принудительно государственными или муниципальными органами.
8148. Основы конструирования
Информация пополнение в коллекции 09.12.2008
Снижение массы и материалоёмкости объекта обеспечивается рациональной конструкцией элементов объекта, которая основана на следующих принципах,
1. рациональная форма сечения для каждого вида нагрузки принцип равного напряжения сечения ;
2. уменьшение концентрации нагрузки : обеспечение равномерного распределения напряжений в поперечных сечениях принцип равнопрочности ;
3. обеспечение рационального баланса жесткости принцип относительной жесткости (т.к. равнопрочные детали при прочих равных условиях имеют меньшую жесткость) ;
4. устранение СНС : 23 вида нагружения ; поперечный изгиб чистый изгиб кручение срез растяжение (сжатие) принцип рационального нагружения. (Силовая схема) . А.Н.Т. : “Силу надо “ловить” там где она возникает”
5. уменьшение неравномерности напряжений путём удаления материала из малонапряженных участков принцип обсечения (снижаются инерционные нагрузки) ;
6. применение рациональных конструктивных схем : минимальное число звеньев, компактность, многопоточные схемы ;
7. уточнение расчетных напряжений (повышение за счет, например, экспериментального измерения и натуральных испытаний) ;
8. выбор соответствующего материала (замена металлов ПКМ) , применение технологических методов упрочнения материалов.
8149. Основы конструирования элементов приборов
Информация пополнение в коллекции 12.01.2009
1. Анурьев В.И. Справочник конструктора-машиностроителя. Т.2.- М.: Машиностроение, 1979.
2. Заплетохин В.А. Конструирование деталей механических устройств: Справочник.-Л.: Машиностроение, 1990.
3. Милосердин Ю.В. и др. Расчет и конструирование механизмов приборов и установок.-М.: Машиностроение, 1985.
4. Мягков В.Д. Допуски и посадки: Справочник.
5. Писаренко Г.С. Сопротивление материалов.-К.:“Вища школа”,1986.
6. Рощин . . Курсовое проектирование механизмов РЭС.
7. Справочник конструктора точного приборостроения. Под ред. К.Н. Явленского и др.- Л.: Машиностроение, 1989.
8. Справочник металиста. Под ред. С.А. Чернавского и В.Ф. Рещикова. М.:“Машиностроение”, 1976.
9. Тищенко О.Ф. Элементы приборных устройств.-М.: Высш. школа,1978.
8150. Основы конструирования: Проектирование привода общего назначения содержащего цепную передачу
Информация пополнение в коллекции 12.01.2009
1. Расчетная мощность P10 кВт
2. Минимальная угловая скорость6 рад/сек
3. Знаменатель ряда угловых скоростей1.19
4. Структурная формула P1 x P22 x 3
5. Расположение блоков на валах-
8151. Основы логистики
Контрольная работа пополнение в коллекции 09.12.2008
8152. Основы маркировки металлов и металлопродукции
Контрольная работа пополнение в коллекции 05.03.2012

Классификационные признакиСталь 20Сталь 45Р18К5Ф2Ст 3пс/сп20ХН3А1.По химическому составуСодержание углерода - 0,20% Низкоугле родистаяСодержание углерода -0,45% Среднеугле родистаяСодержание углерода - 1%, вольфрама -18%, кобальта - 5%, ванадия - 2%, хрома - 4% Содержание углерода - 0,14-0,22% Низкоугле родистаяСодержание углерода -0,2%, никеля - 3%, хрома - 1,5% Низкоугле родистая, низколегиро ванная2.По степени раскисленияСпокойная стальНе указаноНе указаноПолуспокой ная стальПолностью раскислены3.По способу производстваМартенов ские печи и электро печиМартенов ские печи и электро печиЭлектро печиКислородно-конвертерный способ и электропечиЭлектро печи и мартенов ские печи4.По структуреДоэвтек тоиднаяДоэвтек тоиднаяЗаэвтек тоиднаяДоэвтек тоиднаяДоэвтек тоидная5.По качествуСталь обыкно венного кач-ваСталь обыкно венного кач-ваКачест венная стальСталь обыкно венного кач-ваВысококач ественная сталь6.По назначениюКонструк ционнаяКонструк ционнаяИнструментальнаяКонструк ционнаяКонструк ционнаяРасшифровка марки, состава
8153. Основы материаловедения
Контрольная работа пополнение в коллекции 17.10.2011

Углеродистая сталь в исходном состоянии имеет структуру зернистого перлита, низкую твердость и хорошо обрабатывается резанием. Зенкер из стали У11 подвергается закалке при температуре 790 - 810 0С. Закалку выполняют так, чтобы мартенситное превращение происходило только частично, т.е. сохранилось мелкое зерно и нерастворенные частицы вторичного цементита. Зенкер охлаждают в 5 - 10%-ном водном растворе NaCl или NaOH с температурой 18 - 30 0С для образования мартенсита из непревратившегося ранее аустенита.
8154. Основы машиностроения
Дипломная работа пополнение в коллекции 09.10.2011

Значение элементов соединенияОбозначение заданного соединения?130 Номинальный размер, мм.?130Зазор натяга мм.Зазор0,013Натяг 0,052Допуск посадки мм.0,065Группа посадкиПереходСистема допусковСВЗначение элементов деталейотверстиеУсловное обозначение?130N7Допуск ТDмм.0,040Значение основного отклонения мм.-0,012Предельное отклонение мкм.ВерхнееЕS-12Нижнее EJ-52Предельные размерыDmaxмм.129,988Dminмм.129,948ВалУсловное обозначение?130h6Допуск Тd мм.0,025Значение основного отклонения, мм0Предельное отклонение мкм.Верхнее es0Нижнее,ei-25Предельные размеры мм.dmax130,0dmin129,975
8155. Основы машиностроения
Контрольная работа пополнение в коллекции 07.05.2012

Наименование параметраОбозначениеРазмерностьШифры задачАБВОбозначение посадки--Система--валавалаотверстияВид посадки--с зазоромпереходнаяс натягомПредельные отклонения отверстияESмкм+ 87+ 15-58EIмкм00-93Предельные отклонения валаesмкм-72+230eiмкм- 126+33-22Обозначение отверстия-ммОбозначение вала-ммПред. Размеры отверстияD maxмм90,08790,01589,042D minмм909089,007Пред. Размеры валаd maxмм89,02890,0,2390d minмм89,087490,03389,078Допуски размеров отверстияT Dмкм871535Допуски размеров валаT dмкм591022Предельные зазорыS maxмкм99918-36S minмкм972-223-93Предельные натягиN maxмкм---N minмкм---ДопускипосадкиТ посмкм---Допуски формы отверстияТ фDмкм---Допуски формы валаТ фdмкм---Шероховатость поверхности отверстияRzDмкм212,52валаRzdмкм1,250,92
8156. Основы металлургичесуого производства
Информация пополнение в коллекции 12.01.2009
Сущность раскисления заключается в восстановлении оксида железа, растворенного в жидком металле. Раскисление можно проводить двумя способами:
1. Осаждающим. Осуществляется введением в жидкую сталь растворимых раскислителей (ферромарганца, ферросилиция, алюминия). В результате раскисления восстанавливается железо, и образуются оксиды марганца, алюминия и кремния, обладающие меньшей плотностью, нежели сталь, удаляющиеся в шлак. Однако часть их может остаться в стали, что понижает её свойства.
2. Диффузионным. Осуществляется раскислением шлака. Ферромарганец, ферросилиций, ферроалюминий мелкоизмельченными загружают на поверхность шлака. Раскислители, восстанавливая оксид железа, уменьшают его содержание в шлаке. В соответствии с законом распределения оксид железа, растворенный в стали, начнет переходить в шлак. Оксиды остаются в шлаке, а восстановленное железо переходит в сталь, что уменьшает содержание в ней неметаллических примесей и тем самым повышая её свойства.
3. Стали, получаемые в процессе раскисления.
8157. Основы метрологии
Вопросы пополнение в коллекции 15.11.2008
Государственный метрологический контроль и надзор (ГМК и Н), осуществляемые с целью проверки соблюдения метрологических правил и норм, распространяются на следующие сферы:
1. çäðàâîîõðàíåíèå, âåòåðèíàðèþ, îõðàíó îêðóæàþùåé ñðåäû, îáåñïå÷åíèå áåçîïàñíîñòè òðóäà;
2. òîðãîâûå îïåðàöèè è âçàèìíûå ðàñ÷åòû ìåæäó ïîêóïàòåëåì è ïðîäàâöîì, â òîì ÷èñëå íà îïåðàöèè ñ ïðèìåíåíèåì èãðîâûõ àâòîìàòîâ è óñòðîéñòâ;
3. ãîñóäàðñòâåííûå ó÷åòíûå îïåðàöèè;
4. îáåñïå÷åíèå îáîðîíû ãîñóäàðñòâà;
5. ãåîäåçè÷åñêèå è ãèäðîìåòåîðîëîãè÷åñêèå ðàáîòû;
6. áàíêîâñêèå, íàëîãîâûå, òàìîæåííûå è ïî÷òîâûå îïåðàöèè;
7. ïðîèçâîäñòâî ïðîäóêöèè, ïîñòàâëÿåìîé ïî êîíòðàêòàì äëÿ ãîñóäàðñòâåííûõ íóæä â ñîîòâåòñòâèè ñ çàêîíîäàòåëüñòâîì Ðîññèéñêîé Ôåäåðàöèè;
8. èñïûòàíèÿ è êîíòðîëü êà÷åñòâà ïðîäóêöèè â öåëÿõ îïðåäåëåíèÿ ñîîòâåòñòâèÿ îáÿçàòåëüíûì òðåáîâàíèÿì ãîñóäàðñòâåííûõ ñòàíäàðòîâ Ðîññèéñêîé Ôåäåðàöèè;
9. îáÿçàòåëüíàÿ ñåðòèôèêàöèÿ ïðîäóêöèè è óñëóã;
10. èçìåðåíèÿ, ïðîâîäèìûå ïî ïîðó÷åíèþ îðãàíîâ ñóäà, ïðîêóðàòóðû, àðáèòðàæíîãî ñóäà, ãîñóäàðñòâåííûõ îðãàíîâ óïðàâëåíèÿ Ðîññèéñêîé Ôåäåðàöèè;
11. ðåãèñòðàöèÿ íàöèîíàëüíûõ è ìåæäóíàðîäíûõ ñïîðòèâíûõ ðåêîðäîâ.
8158. Основы микроэкономики
Контрольная работа пополнение в коллекции 15.11.2001

Государство на рынке труда не только регулирует уровень заработной платы. В рамках политики занятости государство воздействует на предложение и спрос рабочей силы, с тем, чтобы создать новые рабочие места или сохранить уровень занятости на предприятиях. Государство субсидирует географическую мобильность рабочей силы (компенсация расходов на переезд, субсидии на обустройство на новом месте, суточные пособия); финансирует переподготовку рабочей силы с учетом индивидуальных потребностей, организацию работ для инвалидов (общественные работы или льготы для предпринимателей, создающих рабочие места для инвалидов). Оно активно воздействует на условия использования труда. В частности, государство вводит ограничительные меры, касающиеся применения некоторых категорий рабочей силы в связи с характером работы или качеством лиц (подростки, беременные и т.д.). В любой стране государство устанавливает максимальную продолжительность рабочего времени, минимальную продолжительность отпуска. Строгие правила существуют относительно условий труда и безопасности на рабочем месте. Важное значение придается контролю со стороны государства за заключением и реализацией коллективных договоров.
8159. Основы муниципальной службы. Аттестация муниципальных служащих
Информация пополнение в коллекции 13.07.2007

Особой проблемой является создание объемного дисциплинарного законодательства для муниципальных служащих и принятия дисциплинарного кодекса, который бы регулировал отношения в сфере дисциплинарного правонарушения, принуждения, ответственности и производства. Дисциплинарное законодательство активно изменяется уже с 1991 года. Но во всех принятых положениях о дисциплине речь идет, о сходных категориях: о дисциплинарных проступках, видах дисциплинарного взыскания и процедуре наложения этих взысканий на служащих. Поэтому и целесообразно урегулировать данные вопросы однозначно и в новом едином нормативном акте Дисциплинарном законе, который ляжет в основу дисциплинарного законодательства, а последнее, в свою очередь, станет частью служебного права, частью законодательства о муниципальной службе. В Дисциплинарном кодексе можно было бы установить правило, в соответствии с которым служащие привлекались бы к дисциплинарной ответственности за нарушение принципов муниципальной службы, то есть нарушение норм, ограничивающих политические права и свободы служащих. Правовое положение муниципальных служащих может быть изменено только при наличии условий или правовых форм, которые определены в законе о правовом положении муниципальных служащих. В случае нарушения права муниципальной службы служащие имеют право подготовить и направить жалобу вышестоящему руководителю для соответствующего рассмотрения. При этом муниципальный служащий обязан соблюдать служебный порядок рассмотрения жалобы. В данном случае его жалоба может быть рассмотрена вышестоящим руководителем вплоть до самого высшего начальника. Жалоба может быть направлена и против действий лица, являющегося непосредственным руководителем этого служащего. Целесообразно в законодательстве установить порядок рассмотрения жалоб муниципальных служащих. Кроме административного порядка рассмотрения жалобы возможен и судебный порядок обжалования действий руководителей муниципального служащего.
8160. Основы нанометрии
Информация пополнение в коллекции 21.05.2012
Указанные проблемы нанометрии предполагают решение следующих важнейших задач:
- разработки концепции метрологического обеспечения измерений длины в диапазоне 1-3000 нм;
- создания прецизионной технологии изготовления специальных «тест-объектов» и стандартных образцов с различными вариантами топографии поверхности и размерами структурных элементов 10-3000 нм и разработки методов и средств их калибровки;
- разработки методов лазерной наноинтерферометрии и фазометрии для создания высокоточных быстродействующих средств измерений линейных перемещений систем микропозиционирования тест-объектов с разрешением 0,1 нм в реальном масштабе времени;
- создания эталонов нового поколения для воспроизведения и передачи размера единицы длины в нанометровом диапазоне на основе сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) и лазерной интерферометрии;
- разработки физических моделей взаимодействия измерительных микроскопов (РЭМ, СТМ, АСМ) с создаваемыми тест-объектами и интерпретации измерений с учетом различных влияющих на них факторов, позволяющих решить проблему, связанную с локализацией края измеряемого элемента.
- Следует отметить, что ведущие страны мира, занимающие ключевые позиции в нанотехнологии (Япония, США, Германия, Англия и другие), вопросам внедрения метрологии в практику линейных измерений в нанометровом диапазоне придают первостепенное значение. В Национальном институте стандартов и технологий (НИСТ, США) создана и успешно реализуется национальная программа метрологического обеспечения микроэлектроники.
- 2. Методы и средства нанометрии
- В настоящее время в промышленности для измерения малых длин используется значительный парк приборов, основанных на методах физической оптики, электронной и сканирующей зондовой микроскопии.
- Оптическая микроскопия. Измерение линейных размеров элементов интегральных схем на шаблонах и полупроводниковых пластинах в основном осуществляется при помощи оптических, телевизионных, фотоэлектрических микроскопов, в которых регистрируется профиль распределения интенсивности света в изображении элемента. Принцип измерения заключается в выборе относительного уровня интенсивности света на краю изображения элемента (оптического порога), соответствующего физическому краю изображения, измерении ширины изображения по выбранному уровню и вычислении размера элемента через увеличение микроскопа. Инструментальная погрешность лучших измерительных микроскопов в диапазоне 0,7-20 мкм достигает 0,03-0,05 мкм. Точное значение оптического порога требует использования высококачественной оптики, создания системы автофокусировки, термо- и вибростабилизации при высоком уровне автоматизации приборов.
- К недостаткам оптических измерительных микроскопов (независимо от их модификации) следует, прежде всего, отнести ограничения, связанные с достижением дифракционного предела разрешающей способности, что не позволяет измерить ширину линии элементов объектов ? 1 мкм.
- Лазерная дифрактометрия. В настоящее время для измерение микро- и субмикрометровых размеров разработаны лазерные дифрактометры, в которых ширина (период) элемента определяется по параметрам дифракционного спектра, возникающего при освещении пучком когерентного света одного или группы элементов. Основная задача в дифракционном методе измерений - восстановление геометрической структуры элементов тест-объектов по распределению интенсивности в дифракционной картине. Это требует проведения теоретических исследований по восстановлению профиля периодической структуры по значениям интенсивности главных дифракционных максимумов (ГДМ) с использованием математических моделей (путем решения обратной задачи). Достоинствами дифракционного метода являются простота измерений, возможность определения статистических параметров величин без проведения отдельных наблюдений и замеров. Аттестация лазерная дифрактометрия, реализующих косвенный метод измерений, может быть проведена без использования мер сравнения по значениям интенсивности (углового положения ГДМ) дифрагированного света с применением аттестованных средств измерений угла и энергетической фотометрии с абсолютной привязкой к длине волны. Следует отметить, что для восстановления геометрической структуры измеряемых элементов необходимо знание общего вида и формы элементов, которые априори неизвестны, что, в свою очередь, при водит к некорректности однозначного восстановления топологии поверхности и затрудняет вычисление размеров тест-структур из анализа дифракционной картины.
- Растровая электронная микроскопия. Перспектива развития измерений длины волны в субмикрометровом диапазоне связана с применением растрового электронного микроскопа (РЭМ).
- Высокая разрешающая способность (5-10 нм), большой диапазон увеличений (до 100000 и выше), большая глубина фокусировки (~100 мкм), многообразие режимов работы и возможность получения информации об объекте в виде электрического сигнала дают возможность разработать высокочувствительное средство измерений линейных размеров на основе РЭМ.
- В практике мирового приборостроения уже освоен выпуск моделей РЭМ-компараторов, пригодных для проведения линейных измерений элементов субмикронных размеров по регистрируемым видеосигналам. При этом имеются приборы, позволяющие фиксировать сигнал отклика, как во вторичных медленных электронах, так и в отраженных. Наряду с моделями РЭМ, предназначенными для решения широкой класса исследовательских задач, созданы специальные электронно-оптические средства измерений линейных размеров, которые можно использовал для аттестации эталонов мер длины в микронном и субмикронном диапазонах.
- Однако РЭМ-метод характеризуется рядом ограничений, к числу которых следует отнести: недостаточно высокое пространственное разрешение; сложность получения трехмерных изображений поверхности; необходимость нанесения дополнительного токосъемного слоя на плохо проводящие поверхности для предотвращения эффектов, связанных с накоплением заряда; проведение измерений только в условиях вакуума; наконец, возможность повреждения изучаемой поверхности высокоэнергетичным сфокусированным пучком электронов.
- Сканирующая зондовая микроскопия. Предельные значения при измерении длины в нано- и субнанометровом диапазонах достигаются при использовании методов сканирующей туннельной и атомно-силовой микроскопии (СТМ/АСМ). Высокое разрешение СТМ (< 0,01 нм вдоль нормали к поверхности и ~ 0,1 нм в горизонтальном направлении, которое реализуется как в вакууме, так и в диэлектрической среде) открывает широкие перспективы для измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне.
- Отмету следующие достоинства метода измерений линейных размеров с помощью СТМ:
- а) неразрушающий характер измерений, обусловленный отсутствием механического контакта и низкой энергией туннелирующих электронов;
- б) возможность проводить измерения, как в вакууме, так и в атмосфере, а также в диэлектрических жидкостях;
- в) возможность работы в широком диапазоне температур;
- г) относительно высокая скорость формирования изображения измеряемого объекта с атомным разрешением.
- СТМ хотя и обладает значительно более высоким разрешением, чем РЭМ, однако также не позволяет напрямую получать изображение поверхности непроводящих материалов. Кроме того, на точность отображения рельефа поверхности в СТМ заметно влияют плотность электронных состояний вблизи поверхности и работа выхода, наличие природных и индуцированных током иглы адсорбатов.
- Сканирующая атомно-силовая микроскопия реализует принцип измерения силы, действующей на острие иглы (зонда) со стороны исследуемой поверхности. В отличие от туннельного микроскопа, где измеряемой величиной является туннельный ток, здесь определяется сила, что позволяет использовать АСМ для контроля топографии поверхностей как проводящих, так и диэлектрических сред. Игла АСМ, расположенная над сканируемой поверхностью, закреплена на кронштейне, образуя с ним единое целое - кантилевер. Силы, действующие на острие иглы, вызывают изгиб кантилевера, что фиксируется датчиком, преобразующим смещение в электрический сигнал. С помощью обратной связи положение образца меняется таким образом, чтобы сила, действующая между острием кантилевера и объектом, оставалась постоянной в процессе сканирования. При этом регистрируют все три координаты положения острия кантилевера, что позволяет получать трехмерное изображение поверхности. Атомное разрешение достигается в режиме, когда расстояние между иглой и поверхностью не превышает нескольких ангстрем.
- Необходимо отметить, что зондом СТМ и АСМ является острие иглы, размеры которой накладывают ограничения на получение информации об истинном рельефе поверхности исследуемого образца. В последние годы появились конструкции микрозондов в виде тонких нитевидных волокон с радиусом около 100 нм и еще более тонких нанотрубок. Форма и размеры острия кантилевера АСМ вносят искажения в регистрируемое АСМ-изображение. Поэтому для АСМ-измерений требуется эталонная структура с известным профилем и аттестованными размерами рельефа поверхности.
- В табл. 1 приведены основные метрологические характеристики рассмотренных средств измерений малой длины.
- Таблица 1. Метрологические характеристики средств измерений малой длины

Blog

Разное