Курс «Экспериментальные методы исследований» Направления: «Техническая физика», «Электроника и наноэлектроника» Цели и задачи изучения  дисциплины

Вид материала

Документы

Содержание В результате изучения дисциплины студенты должны Содержание разделов дисциплины

Подобный материал:

• Курс «Квантовая электроника» Направления: «Техническая физика», «Электроника и наноэлектроника», 27.76kb.
• Курс «Специальные вопросы микро- и нанотехнологий» Направления: «Техническая физика»,, 25.19kb.
• Курс «Физика электронных и ионных процессов» Направления: «Электроника и наноэлектроника»,, 24.62kb.
• Курс «Физические основы свч-электроники» Направления: «Техническая физика», «Электроника, 15.06kb.
• Курс «Обратные и некорректные задачи технической физики» Направления: «Техническая, 27.18kb.
• Аннотация рабочей программы дисциплины методы экологических исследований наименование, 27.1kb.
• Аннотация рабочей программы дисциплины агрохимические методы исследований для направления, 22.71kb.
• Аннотация рабочей программы дисциплины методы рыбохозяйственных исследований для направления, 23.93kb.
• Направление ­- электроника и наноэлектроника профиль – Микроэлетроника и твердотельная, 23.05kb.
• Примерная программа наименование дисциплины методы почвенных исследований, 90.73kb.

Кафедра «Физическая электроника»

Курс «Экспериментальные методы исследований»

Направления: «Техническая физика», «Электроника и наноэлектроника»

Цели и задачи изучения  дисциплины

Знание и понимание:

• истории, роли и функций исследовательского эксперимента в научном познании, в формировании современной физики;
  
• сущности экспериментальных методов исследования физических процессов;
  
• организации, обоснования и построения, методического и аппаратного оснащения исследовательского эксперимента, принципов получения, обработки и использования результатов.
  

Умение использовать на практике полученные знания по организации, методическому и аппаратному оснащению, обоснованию и построению физического эксперимента, обработке результатов.


В результате изучения дисциплины студенты должны:

• иметь знание и понимание предмета в соответствии с целями и программой курса по комплексу современных методов и аппаратуры электронно-физического эксперимента;
  
• достичь умения определить объект, методику и план исследования, выполнить теоретический анализ результатов.
  

Содержание разделов дисциплины

Роль эксперимента в исторической и современной физике, структура, функция и классификация экспериментальных методов исследований.

Метрологическое обеспечение эксперимента, системы единиц измеряемых величин.

Аппаратура для экспериментальных исследований. Информационно-измерительные комплексы. Сведения об основных типах стандартных измерительных приборов и устройств.

Диагностика и контроль качества материалов, изделий и их компонентов. Поверхность твердого тела в вакууме как основной объект микро- и наноэлектронных технологий. Принципы исследования поверхности и тонких пленок.

Эмиссионные методы анализа. Дифракция электронов.

Методы электронной спектроскопии. Электронная Оже-спектроскопия. Электронная спектроскопия для химического анализа.

Ионные методы. Метод поверхностной ионизации. Автоионая микроскопия и масс-спектрометрия. Вторично-ионная и вторично-нейтральная масс-спектрометрия. Спектроскопия ионного рассеяния. Резерфордовское обратное рассеяние.

Основы применения различных методов и их сравнительная характеристика.

Перспективы развития экспериментальных методов исследований.


Виды учебной работы: лекции, лабораторные занятия.


Изучение дисциплины заканчивается зачетом по лабораторным работам, экзаменом по курсу лекций.