Системы, оборудование и компоненты

Вид материалаДокументы

Содержание


Таблица к пункту 2.5.3.6
Подобный материал:
1   2   3   4   5   6   7   8   9   10   ...   44

Таблица к пункту 2.5.3.6


Технические приемы нанесения покрытий


Процесс нанесения покрытия (1)

Подложки

Получаемое покрытие










1. Химическое осаждение из паровой фазы (CVD)

cуперсплавы

алюминиды на поверхности внутренних каналов




керамика (19) и

стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14)

силициды, карбиды, диэлектрические слои (15), алмаз, алмазоподобный углерод (17)





углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей

силициды, карбиды, тугоплавкие металлы,

смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15), алюминиды,

сплавы на основе алюминидов (2), нитрид бора





металлокерамический карбид вольфрама (16),

карбид кремния (18)

карбиды, вольфрам,

смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15)





молибден и его сплавы

диэлектрические слои (15)





Процесс нанесения покрытия (1)

Подложки

Получаемое покрытие













бериллий и его сплавы

диэлектрические слои (15), алмаз, алмазоподобный углерод (17)





материалы окон датчиков (9)

диэлектрические слои (15), алмаз, алмазоподобный углерод (17)


2. Физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом








2.1. Физическое осаждение из паровой фазы, полученной нагревом электронным пучком

суперсплавы

сплавы на основе силицидов, сплавы на основе алюминидов (2), MСrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), силициды, алюминиды, смеси перечисленных выше материалов (4)





керамика (19) и стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14)


диэлектрические слои (15)




коррозионно-стойкие стали (7)

MCrAlX (5),

модифицированный диоксид циркония (12), смеси перечисленных выше материалов (4)





углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей

силициды, карбиды, тугоплавкие металлы, смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15), нитрид бора





металлокерамический карбид вольфрама (16),

карбид кремния (18)

карбиды, вольфрам,

смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15)





молибден и его сплавы

диэлектрические слои (15)





бериллий и его сплавы

диэлектрические слои (15), бориды, бериллий





материалы окон датчиков (9)

диэлектрические слои (15)





титановые сплавы (13)

бориды, нитриды

2.2. Ионно-ассистирован-ное физическое осаждение из паровой фазы, полученной резистивным нагревом (ионное осаждение)

керамика (19) и стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14)


углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей


диэлектрические слои (15), алмазоподобный углерод (17)


диэлектрические слои (15)





металлокерамический карбид вольфрама (16),

карбид кремния (18)


диэлектрические слои (15)




молибден и его сплавы

диэлектрические слои (15)





бериллий и его сплавы

диэлектрические слои (15)





материалы окон датчиков (9)

диэлектрические слои (15), алмазоподобный углерод (17)


2.3. Физическое осаждение из паровой фазы, полученной лазерным нагревом

керамика (19) и стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14)


силициды, диэлектрические слои (15), алмазоподобный углерод (17)





углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей


диэлектрические слои (15)




металлокерамический карбид вольфрама (16), карбид кремния (18)


диэлектрические слои (15)




молибден и его сплавы

диэлектрические слои (15)





бериллий и его сплавы

диэлектрические слои (15)





материалы окон датчиков (9)

диэлектрические слои (15), алмазоподобный углерод (17)


2.4. Физическое осаждение из паровой фазы, полученной катодно-дуговым разрядом

суперсплавы

сплавы на основе силицидов,

сплавы на основе алюминидов (2), MCrAlX (5)




полимеры (11) и композиционные материалы с органической матрицей


бориды, карбиды, нитриды, алмазоподобный углерод (17)

3. Твердофазное диффузионное насыщение (10)

углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей


силициды, карбиды, смеси перечисленных выше материалов (4)




титановые сплавы (13)

силициды, алюминиды, сплавы на основе алюминидов (2)





тугоплавкие металлы и сплавы (8)


силициды, оксиды

4. Плазменное напыление

суперсплавы

MCrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), смеси перечисленных выше материалов (4), истираемый никель-графитовый материал, истираемый никель-хром-алюминиевый сплав, истираемый алюминиево-кремниевый сплав, содержащий полиэфир, сплавы на основе алюминидов (2)





алюминиевые сплавы (6)

MCrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), силициды,

смеси перечисленных выше материалов (4)





тугоплавкие металлы и сплавы (8)


алюминиды, силициды, карбиды





коррозионно-стойкие стали (7)

MCrAlX (5),

модифицированный диоксид циркония (12),

смеси перечисленных выше материалов (4)





титановые сплавы (13)

карбиды, алюминиды, силициды, сплавы на основе алюминидов (2), истираемый никель-графитовый материал, истираемый никель-хром-алюминиевый сплав, истираемый алюминиево-кремниевый сплав, содержащий полиэфир


5. Нанесение шликера

тугоплавкие металлы и сплавы (8)

оплавленные силициды,

оплавленные алюминиды (кроме резистивных нагревательных элементов)





углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей


силициды, карбиды, смеси перечисленных выше материалов (4)

6. Осаждение распылением

суперсплавы

сплавы на основе силицидов, сплавы на основе алюминидов (2), алюминиды, модифицированные благородным металлом (3), MCrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), платина, смеси перечисленных выше материалов (4)





керамика (19) и стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14)

силициды, платина,

смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15), алмазоподобный углерод (17)





титановые сплавы (13)

бориды, нитриды, оксиды, силициды, алюминиды, сплавы на основе алюминидов (2), карбиды





углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей

силициды, карбиды, тугоплавкие металлы, смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15), нитрид бора





металлокерамический карбид вольфрама (16),

карбид кремния (18)

карбиды, вольфрам,

смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15), нитрид бора





молибден и его сплавы

диэлектрические слои (15)





бериллий и его сплавы

бориды, диэлектрические слои (15), бериллий





материалы окон датчиков (9)

диэлектрические слои (15), алмазоподобный углерод (17)





тугоплавкие металлы и сплавы (8)

алюминиды, силициды, оксиды, карбиды


7. Ионная имплантация

высокотемпературные подшипниковые стали


присадки хрома, тантала или ниобия





титановые сплавы (13)


бориды, нитриды





бериллий и его сплавы


бориды





металлокерамический карбид вольфрама (16)

карбиды, нитриды