1. Химическое осаждение из паровой фазы (CVD)
|
суперсплавы
|
алюминиды на поверхности внутренних каналов
|
|
керамика (19) и стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14)
|
силициды,
карбиды, диэлектрические слои (15),
алмаз,
алмазоподобный углерод (17)
|
|
углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей
|
силициды,
карбиды,
тугоплавкие металлы, смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15),
алюминиды,
сплавы на основе алюминидов (2),
нитрид бора
|
|
металлокерамический карбид вольфрама (16), карбид кремния (18)
|
карбиды,
вольфрам,
смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15)
|
|
молибден и его сплавы
|
диэлектрические слои (15)
|
|
бериллий и его сплавы
|
диэлектрические слои (15),
алмаз,
алмазоподобный углерод (17)
|
|
материалы окон датчиков (9)
|
диэлектрические слои (15),
алмаз,
алмазоподобный углерод (17)
|
2. Физическое осаждение из паровой фазы, получаемой нагревом
|
|
|
2.1. Физическое осаждение из паровой фазы, полученной нагревом электронным пучком
|
суперсплавы
|
сплавы на основе силицидов,
сплавы на основе алюминидов (2), MCrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), силициды,
алюминиды,
смеси перечисленных выше материалов (4)
|
|
керамика (19) и стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14)
|
диэлектрические слои (15)
|
|
коррозионно-стойкие стали (7)
|
MCrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), смеси перечисленных выше материалов (4)
|
|
углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей
|
силициды,
карбиды,
тугоплавкие металлы, смеси перечисленных выше материалов (4),
диэлектрические слои (15),
нитрид бора
|
|
металлокерамический карбид вольфрама (16), карбид кремния (18)
|
карбиды,
вольфрам,
смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15)
|
|
молибден и его сплавы
|
диэлектрические слои (15)
|
|
бериллий и его сплавы
|
диэлектрические слои (15),
бориды,
бериллий
|
|
материалы окон датчиков (9)
|
диэлектрические слои (15)
|
|
титановые сплавы (13)
|
бориды,
нитриды
|
2.2. Ионно-ассистированное физическое осаждение из паровой фазы, полученной резистивным нагревом (ионное осаждение)
|
керамика (19) и стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14)
|
диэлектрические слои (15),
алмазоподобный углерод
|
углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей
|
диэлектрические слои (15)
|
|
металлокерамический карбид вольфрама (16), карбид кремния (18)
|
диэлектрические слои (15)
|
|
молибден и его сплавы
|
диэлектрические слои (15)
|
|
бериллий и его сплавы
|
диэлектрические слои (15)
|
|
материалы окон датчиков (9)
|
диэлектрические слои (15),
алмазоподобный углерод (17)
|
2.3. Физическое осаждение из паровой фазы, полученной лазерным нагревом
|
керамика (19) и стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14)
|
силициды, диэлектрические слои (15),
алмазоподобный углерод (17)
|
углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей
|
диэлектрические слои (15)
|
|
металлокерамический карбид вольфрама (16), карбид кремния (18)
|
диэлектрические слои (15)
|
|
молибден и его сплавы
|
диэлектрические слои (15)
|
|
бериллий и его сплавы
|
диэлектрические слои (15)
|
|
материалы окон датчиков (9)
|
диэлектрические слои (15),
алмазоподобный углерод (17)
|
2.4. Физическое осаждение из паровой фазы, полученной катодно-дуговым разрядом
|
суперсплавы
|
сплавы на основе силицидов,
сплавы на основе алюминидов (2), MCrAlX (5)
|
полимеры (11) и композиционные материалы с органической матрицей
|
бориды,
карбиды,
нитриды,
алмазоподобный углерод (17)
|
3. Твердофазное диффузионное насыщение (10)
|
углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей
|
силициды,
карбиды,
смеси перечисленных выше материалов (4)
|
|
титановые сплавы (13)
|
силициды,
алюминиды,
сплавы на основе алюминидов (2)
|
|
тугоплавкие металлы и сплавы (8)
|
силициды,
оксиды
|
4. Плазменное напыление
|
суперсплавы
|
MCrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), смеси перечисленных выше материалов (4), истираемый никель-графитовый материал, истираемый никель-хром-алюминиевый сплав,
истираемый алюминиево-кремниевый сплав, содержащий полиэфир, сплавы на основе алюминидов (2)
|
|
алюминиевые сплавы (6)
|
MCrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), силициды,
смеси перечисленных выше материалов (4)
|
|
тугоплавкие металлы и сплавы (8)
|
алюминиды,
силициды,
карбиды
|
|
коррозионно-стойкие стали (7)
|
MCrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), смеси перечисленных выше материалов (4)
|
|
титановые сплавы (13)
|
карбиды,
алюминиды,
силициды,
сплавы на основе алюминидов (2), истираемый никель-графитовый материал, истираемый никель-хром-алюминиевый сплав, истираемый алюминиево-кремниевый сплав, содержащий полиэфир
|
5. Нанесение шликера
|
тугоплавкие металлы и сплавы (8)
|
оплавленные силициды, оплавленные алюминиды (кроме резистивных нагревательных элементов)
|
|
углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей
|
силициды,
карбиды,
смеси перечисленных выше материалов (4)
|
6. Осаждение распылением
|
суперсплавы
|
сплавы на основе силицидов,
сплавы на основе алюминидов (2), алюминиды, модифицированные благородным металлом (3),
MCrAlX (5), модифицированный диоксид циркония (12), платина,
смеси перечисленных выше материалов (4)
|
|
керамика (19) и стекла с малым коэффициентом линейного расширения (14)
|
силициды,
платина,
смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15),
алмазоподобный углерод (17)
|
|
титановые сплавы (13)
|
бориды,
нитриды,
оксиды,
силициды,
алюминиды,
сплавы на основе алюминидов (2),
карбиды
|
|
углерод-углерод, композиционные материалы с керамической или металлической матрицей
|
силициды,
карбиды,
тугоплавкие металлы, смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15),
нитрид бора
|
|
металлокерамический карбид вольфрама (16), карбид кремния (18)
|
карбиды,
вольфрам,
смеси перечисленных выше материалов (4), диэлектрические слои (15),
нитрид бора
|
|
молибден и его сплавы
|
диэлектрические слои (15)
|
|
бериллий и его сплавы
|
бориды,
диэлектрические слои (15),
бериллий
|
|
материалы окон датчиков (9)
|
диэлектрические слои (15),
алмазоподобный углерод (17)
|
|
тугоплавкие металлы и сплавы (8)
|
алюминиды,
силициды,
оксиды,
карбиды
|
7. Ионная имплантация
|
высокотемпературные подшипниковые стали
|
присадки хрома, тантала или ниобия
|
|
титановые сплавы (13)
|
бориды,
нитриды
|
|
бериллий и его сплавы
|
бориды
|
|
металлокерамический карбид вольфрама (16)
|
карбиды,
нитриды
|
