Geum.ru

Міністерство освіти І науки, молоді та спорту україни кременчуцький національний університет імені михайла остроградського

Вид материалаДокументы

Содержание


Кирилюк, В.К.
Чернер, В.М.
Чернер, В.М.
Чернер, В.М.
Подобный материал:
1   2   3   4

Кирилюк, В.К.


Аппаратура для контроля структурных дефектов и геометрических параметров КСДИ
Электронная промышленность.-1986. - Вып.8. - С.36-39 Фахове видання
1986
0,16
Техн.
Прак.
укр



23
CТ

Чернер, В.М.
Новый метод контроля внутренних напряжений в кремниевых структурах с диэлектрической изоляцией
Микроэлектроника: Тезисы докладов. – Серия 3, Вып. 5. – 1986. – стр. 31
1986
0,041
Техн.
Прак.
укр



22
CТ

Чернер, В.М.
Внутренние напряжения и изменения некоторых свойств КСДИ
Микроэлектроника: Тезисы докладов. – Серия 3, Вып. 5. – 1986. – стр. 56
1986
0,041
Техн.
Прак.
укр



21
CТ

Чернер, В.М.
Оборудование для контроля качества КСДИ в процессе их производства
Микроэлектроника: Тезисы докладов. – Серия 3, Вып. 5. – 1986. – стр. 57
1986
0,041
Техн.
Прак.
укр



20
CТ
Галанов, Е. К.
Поляризационная установка для иссле­дования магнитооп­тического вращения и магнитного кругового дихроизма в полу­проводниках.
Оптико-механи­ческая промышлен­ность. – 1984. - № 16. - стр. 31-34 Фахове видання
1984
0,16
Техн.
Прак.
укр



19
CТ



Контроль толщины покрытий и его мет­рологическое обеспе­чение
Тезисы докладов 3-го Всесоюзного НТС, Рига, ФЭ и АИ Лат­вии



0,125
Техн.
Прак.
укр



18
CТ
Воронин, В. П.; Мовшиц, Б.Й.
Структурные дефек­ты кристаллической структуры в кремнии
Электронная техни­ка.- Сер. 6, вып. 3. – 1983.- стр.58-60 Фахове видання
1983
0,16
Техн.
Прак.
укр



17
CТ
Воронин, В. П.;
Установка контроля внутренних напряже­ний и геометрических параметров монокри­сталлических крем­ниевых пластин
Электронная техни­ка. - Сер. 6, вып. 4. – 1983. - стр. 78-79 Фахове видання
1983
0,083
Техн.
Прак.
укр



16
CТ
Воронин, В. П.; Мовшиц, Б.Й.

Структурные дефекты кристаллической структуры в кремнии

Электр. Техника. Сер. 6. Материалы. – 1983. - Вып. 3. - С.58-60. Фахове видання
1983
0,125
Техн.
Прак.
укр



15
CТ
Тузовский, А.М.; Воронин, В.П.

Установка контроля внутренних напряжений и геометрических параметров монокристаллических кремниевых пластин

Электронная техника. Сер. Материалы. – 1983. – Вып. 3 (176). – С. 78-79. Фахове видання
1983
0,083
Техн.
Прак.
укр



14
ТЗ



Структурные дефек­ты кристаллической структуры в кремнии
Тезисы 3-й Всесоюз­ной НТК "Технология получе­ния и материаловеде­ние монокристалов кремния", Москва. 1982
1982
0,083
Техн.
Прак.
укр



13
CТ
Концевой, Ю. А.
Анизотропия упругой деформации в крем­ниевых структурах с диэлектрической изо­ляцией.
Электронная техни­ка. - Сер. 6, вып. 3. - 1982. - стр. 47-49 Фахове видання
1982
0,125
Техн.
Прак.
укр



12
CТ



Исследование дефор­мации и внутренних напряжений в крем­ниевых пластинах.
«Заводская лаборато­рия».- 1982. - № 6. – стр. 52-55 Фахове видання
1982
0,16
Техн.
Прак.
укр



11
CТ
Макара, В. А.
Методы исследования неплоскостности и деформации крем­ниевых пластин в процессе производст­ва КС ДИ
Электронная техни­ка.- Сер. 6, вып. 3. - 1982. - стр. 42-45 Фахове видання
1982
0,16
Техн.
Прак.
укр



10
CТ
Анистратенко, А.Л.; Ковтонюк, А.М.
Аппаратура для контроля геометрических параметров полупроводниковых пластин

Полупроводниковые материалы. - 1982. - Вып. 5. - С. 159-165. Фахове видання
1982
0,291
Техн.
Прак.
укр



9
CТ
Воронин, В.П.
Аппаратура для контроля дефектов кристаллической структуры в полупроводниковых материалах
Полупроводниковые материалы. - 1982. - Вып. 6. - С. 159-165. Фахове видання
1982
0,208
Техн.
Прак.
укр



8
CТ
Макара, В.А.
Деформации и внутренние напряжения в кремниевых пластинах и структурах
Электронная техника. – Сер. 2, вып. 2. – 1981. – стр. 40-43 Фахове видання
1981
0,16
Техн.
Прак.
укр



7
CТ
Лукинский, Ю.Л.
О повышении точно­сти измерительных устройств контроля качества полупровод­никовых материалов и структур
Электронная техни­ка.- Серія 8. - 1979. – стр. 56-64 Фахове видання
1979
0,33
Техн.
Прак.
укр



6
НПР



Исследование дефор­маций, разработка методик и промыш­ленной аппаратуры для контроля геомет­рических параметров кремниевых структур с диэлектрической изоляцией 05. 12. 18 - Твердо­тельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, техноло­гию и спец. оборудо­вание.
Диссертация на соискание ученой степени кандидата техниче­ских наук, Москва, МИРЭА, 1979
1979
7,5
Техн.
Прак.
укр



5
CТ
Устименко, Д. А.
Устройство для изме­рения диэлектриче­ских потерь в КСДИ
Измерительная тех­ника.- 1979.- №1.- стр. 89-90 Фахове видання
1979
0,083
Техн.
Прак.
укр



4
CТ
Тузовский, А.М.; Концевой, Ю. А.
Разработка высоко­точного метода и уст­ройства измерения изгиба -кремниевых пластин
Электронная техни­ка.- Сер. 6, вып.8.- 1979.- стр. 124-128 Фахове видання
1979
0,208
Техн.
Прак.
рос.



3
CТ
Концевой, Ю.А.; Тузовский, А. М.
Полуавтоматический телевизионный мик­роинтерферометр «Монослой-2»
Электронная про­мышленность.- 1978.- №6.- стр.61-62 Фахове видання
1978
0,083
Техн.
Прак.
укр



2
CТ
Концевой, Ю. А.
Устройство контроля напряжений полупро­водниковых материа­лов
«Заводская лаборато­рия». - 1978. - № 12 Фахове видання
1978
0,208
Техн.
Прак.
укр



1
CТ
Бабаджанов, Л. С.
Применение мер кон­троля толщины по­крытий
Измерительная тех­ника.- 1978.- №8.- стр. 57-59 Фахове видання
1978
0,083
Техн.
Прак.
укр