Безкорпусная герметизация полупроводниковых приборов
Информация - Разное
Другие материалы по предмету Разное
одниковые пластины погружают в ванну и промывают. Пластины погруженные во фреон выдерживают 7 минут и частота ультразвуковых колебаний 400 кГц, температура раствора 60 С.
Сушка1. Сушка производиться в сушильном шкафу №3 завода Электродело при температуре 115 10 С в течение 2535 минут. Поддерживается заданная температура терморегулятором, имеющимся в сушильном шкафу, а контролируется ртутным термометром. В процессе сушки в шкаф подается ошушенный и очищенный воздух с точкой россы не выше 50 0С
Контроль чистоты поверхности. Контроль производиться микроскопом, наблюдая в тёмном поле микроскопа светящихся точек (твёрдые загрязнения). Если светящихся точек более 3-х, то передаём изделия на дополнительную потмывку.
Покрытие1 . Покрытие производиться лаком МК 4У методом окунания. Предварительно наполняется ванна лаком МК4У. Берётся изделие и погружается в ванну на 7 секунд. После чего в течение 1 минуты необходимо дать стечь излишкам лака. После чего изделие передается на операцию сушки.
Сушка2. Сушка производиться в сушильном шкафу №3 завода Электродело при температуре 180 С в течение 2 часов. Поддерживается заданная температура терморегулятором, имеющимся в сушильном шкафу, а контролируется ртутным термометром. В процессе сушки в шкаф подается осушенный и очищенный воздух с точкой россы не выше 50 0С
Покрытие2 . Покрытие производиться компаундом КЛ4 поверх лака МК 4У методом окунания. Изделие погружают в ванную с компаундом. Выдерживают в ванноц 10 секунд. После чего в течение 1 минуты даёт стечь излишкам компаунда и передаёт на последующую операцию.
Сушка3. Сушка производиться на стилажах в течение 24 часов. Под действием влаги воздуха происходит самовулканизация с образованием резиноподобного материала , длительно сохраняющего эластичные свойства в интервале температур от 60 до 200 С.
Покрытие3 . Окончательное покрытие производиться эпоксидной смолой ЭД5. Предварительно Эпоксидную смолу смешивают с гексаметилендиамином. Наносят эпоксидную смолу также методом окунания. Предварительно разводиться эпоксидная смола с с гексаметилендиамином и заполняется ванна. Иизделие и погружается в ванну на 10 секунд. После чего в течение 1 минуты необходимо дать стечь эпоксидной смолы. После чего изделие передается на операцию сушки.
Сушка4. Сушка производиться в сушильном шкафу №3 завода Электродело при температуре 180 С в течение 15 минут. Поддерживается заданная температура терморегулятором, имеющимся в сушильном шкафу, а контролируется ртутным термометром. В процессе сушки в шкаф подается осушенный и очищенный воздух с точкой россы не выше 50 0С
Испытание герметичности корпуса. Для проверки герметизации прибора используют установку ЖК75.14. В колбы (в каждую колбу заливают 80 см3 уайтспирита) стеклянные сосуды заливают жидкость и опускают контролируемый прибор, закрепляемые на зажимах. Освещаются колбы на рабочей позиции при вакуумировании жидкости и наблюдении за истечением пузырьков газа.
Список используемой литературы.
- А.А. Маслов Технология и конструкции полупроводниковых приборов.
- А.И. Курносов Основы полупроводниковой микроэлектроники
- А.И. Курносов Матералы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
- В.А. Брук Производство полупроводниковых приборов
- Парфёнов Технология микросхем
- В.А. Антонов Технология производства электровакуумных и полупроводниковых приборов
- С.З. Нейштадт Технология и оборудование производства радиодеталей и компонентов
- Й. Коутный Технология серийного производства транзисторов и полупроводниковых диодов
- О.К. Мокеев Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем