Подготовка оптического производства для изготовления круговых шкал (лимбов)
Курсовой проект - Разное
Другие курсовые по предмету Разное
?аблон и указать дату его изготовления. Маркировка и указание даты изготовления необходимы для идентификации фотошаблонов в процессе аттестации и работы с ними. Маркировка представляет собой шифр фотошаблона, который присваивает конструктор-проектировщик фотошаблонов, состоящий из собственно самого шифра фотошаблона и шифра лимба;
.В чертежах лимбов обязательно имеются требования к характеристикам хромового маскирующего покрытия. Это требования к отражению покрытия и пропусканию или плотности покрытия. Требование к отражению хромового покрытия лимба обеспечивается нанесением на поверхность лимба после изготовления шкалы антиотражающего покрытия и, следовательно, в эскизе и технических требованиях не указывается. Пропускание хромового покрытия 5 % при плотности 1,5. Требование к пропусканию хромового покрытия должно быть указано в эскизе и технических требованиях лимба, так как пропускание обеспечивается его толщиной, которая влияет на технологические свойства покрытия и точность изготовления шкалы. Требование к пропусканию хромового маскирующего покрытия фотошаблонов определяется только технологиями фотолитографии. Это требование является одинаковым для рабочих фотошаблонов и фотошаблонов-оригиналов: пропускание хромового покрытия t 1 % для длин волн от 0,4 до 0,7 мкм.
.Неровность края элементов топологии лимба и рабочего фотошаблона 0.2 мкм, а фотошаблона-оригинала - 0.1 мкм. Данные определяются по техническим характеристикам процесса фотолитографии и процесса термохимической записи на пленках хрома. Неровность края указывается в соответствии со значением генератора изображений CLWS-300 из таблицы 2 и составляет 0,1 мкм.
8. Технические задания на проектирование фотошаблонов-оригиналов
1.Фотошаблон-оригинал имеет прямое и позитивное изображение элементов топологии;
.Для фотошаблона-оригинала и рабочего фотошаблона, и равную 1 угл. сек., а рабочие фотошаблоны с требуемой угловой погрешностью следует получать методом отбора из нескольких фотошаблонов;
.Допуск для фотошаблона-оригинала составит 0,6 мкм;
.Для фотошаблона-оригинала дефекты элементов топологии не допускаются;
.Для изготовления фотошаблонов-оригиналов используются пластины прецизионные хромированные ППХ127х127А;
.Способы изготовления лимбов, а также других оптических шкал, регламентируются отраслевым стандартом ОСТ3-3312-76. Способ изготовления лимба - способ обратной фотолитографии Ф9И;
.Маркировать фотошаблон и указать дату его изготовления;
.Пропускание хромового покрытия ??1 % для длин волн от 0,4 до 0,7 мкм;
.Неровность края указывается в соответствии со значением генератора изображений CLWS-300 из таблицы 2 и составляет 0,1 мкм.
9. Дополнительная информация
В чертежах лимбов, как правило, имеется требование паспортизации наиболее важных параметров. Одним из таких параметров обычно является угловая погрешность расположения штрихов. Паспортизация заключается в фиксировании конкретного значения параметра в сопроводительном документе (паспорте). Также в паспорте указывается номер лимба и дата изготовления. В технических заданиях на изготовление фотошаблонов требование паспортизации не указывается, так как фотошаблоны проверяются по всем требованиям чертежа в центральной измерительной лаборатории, по результатам измерений заполняется паспорт фотошаблона.
Часть технических требований чертежей лимбов заканчиваются фразой: обеспечивается инструментом. Инструментом для лимба является рабочий фотошаблон, а инструментом для рабочего фотошаблона является фотошаблон-оригинал. Смысл фразы обеспечивается инструментом состоит в том, что указанный параметр можно не проверять у лимбов, а проверять в процессе аттестации фотошаблонов.
Заключение
В данной работе произведен выбор технологического процесса (метод обратной фотолитографии) для изготовления круговой шкалы лимба 2Т2-1-79 и приведены аргументы в пользу оптимальности данного метода. В соответствии с техническими требованиями составлено техническое задание на проектирование фотошаблона. Чертеж с эскизом детали и технологическими требованиями прилагается.
Библиографический список
1.Кручинин Д.Ю. Подготовка оптического производства для изготовления круговых шкал (лимбов) / Д.Ю. Кручинин. Екатеринбург. : ГОУ ВПО УГТУ?УПИ, 2008. 24 с.