Подготовка оптического производства для изготовления круговых шкал (лимбов)
Курсовой проект - Разное
Другие курсовые по предмету Разное
ливаются способом обратной фотолитографии. В этом случае для рабочего фотошаблона неравномерность ширины должна составлять 0,3 мкм, а для фотошаблона-оригинала - 0,2 мкм. Если значение неравномерности ширины штрихов для лимба составляет 0,3 мкм, то для рабочего фотошаблона и фотошаблона-оригинала следует установить одинаковое значение равное 0,2 мкм, а рабочий фотошаблон с требуемым значением следует получать методом отбора из нескольких фотошаблонов. Ширина штриха лимба составляет 82 мкм, лимб и рабочий фотошаблон изготавливаются способом обратной фотолитографии. В этом случае допуск для рабочего фотошаблона 1,2 мкм;
4.Требования по дефектности геодезических лимбов можно разделить на два вида: дефекты элементов топологии и дефекты, обусловленные классом чистоты.
Дефекты элементов топологии определяются количеством допустимых разрывов и утолщений и их размеров, которые задаются в единицах толщин элементов топологии.
На штрихах допускается два разрыва длиной до 0,5 ширины штриха на ограниченном участке 230 и утолщения или утоньшение длиной до 1 ширины штриха и шириной до 0,5 ширины штриха на участке его длины со стороны цифр. Для рабочего фотошаблона эти требования ужесточаются: на весь фотошаблон можно допустить 1 разрыв штриха длиной в 1 ширину штриха и одно утолщение длиной до 0,5 ширины штриха и шириной до 0,25 ширины штриха. Для фотошаблона-оригинала можно также провести дальнейшее ужесточение требований, но технологический процесс термохимической записи на пленках хрома с использованием генератора изображений CLWS-300 в условиях чистых помещений позволяет получить практически бездефектное изображение. Поэтому для фотошаблона-оригинала указанное требование выглядит таким образом: дефекты элементов топологии не допускаются.
Требования по дефектам могут относиться к штрихам, цифрам, знакам, буквам и другим элементам топологии. Одним из элементов топологии геодезических лимбов является центрировочная окружность, дефектность которой, как правило, не нормируется, но для рабочих фотошаблонов требования по дефектности центрировочной окружности должны быть определены. Для рабочего фотошаблона на центрировочной окружности допускаются разрывы в количестве 4 шт. длиной не более 10 мкм и утолщения в количестве 4 шт. длиной 5 мкм и шириной до 3 мкм, а для фотошаблона-оригинала дефекты центрировочной окружности не допускаются.
Дефекты, обусловленные классом чистоты полированной поверхности в рабочей зоне шкалы, могут задаваться как в виде конкретного класса чистоты по ГОСТ 11141, так и в виде максимально допустимого количества и размера дефектов, при этом дефекты рассматриваются, как правило, независимо от их происхождения: дефекты стекла или дефекты маскирующего покрытия (темные точки). Из этого следует, что рабочий фотошаблон не должен быть источником дефектов (темных точек), так как полированная поверхность лимба очень часто имеет собственные дефекты и дополнительная дефектность, получаемая от рабочего фотошаблона, которую нельзя устранить, приведет к значительному увеличению количества бракованных деталей. В результате дефектность рабочего фотошаблона будет определяться не требованием по дефектности лимба, а особенностями технологического процесса обратной фотолитографии, а точнее одной из вспомогательных операций: устранение дефектов; которая заключается в удалении хромовых точек методом травления. При устранении темных хромовых точек они обводятся кисточкой специальным защитным составом, после чего производится локальное травление под микроскопом. Для того чтобы можно было обвести точку защитным составом необходимо, чтобы точка находилась от элементов топологии на расстоянии не ближе 30 мкм. Травлением можно устранить любое количество хромовых точек, но значительное их количество может привести к недопустимому увеличению трудоемкости изготовления лимба. Следует учитывать, что темные хромовые точки могут образовываться не только из-за дефектов фотошаблона. Конечно, на рабочем фотошаблоне могут быть дефекты, особенно в случае рабочего (темнопольного) фотошаблона геодезического лимба, изготовленного способом обратной фотолитографии, но их допустимое количество определяется технологом в зависимости от трудоемкости изготовления лимба и от других факторов. В техническом задании необходимо указать количество дефектов на рабочем фотошаблоне. В данном случае, это 4 прозрачных дефекта (прокола). Размеры дефектов на рабочем фотошаблоне имеют диаметры от 1,5 мкм до 5 мкм.
Для светлопольного фотошаблона-оригинала геодезического лимба, с помощью которого способом обратной фотолитографии будут изготавливаться рабочие фотошаблоны, темные точки не допускаются, так как если они образуются, то их можно устранить травлением, а если они находятся очень близко к элементам топологии, фотошаблон бракуется.;
5.Для изготовления рабочих фотошаблонов способом обратной фотолитографии используются заготовки ППХ127х127А после снятия хромового покрытия, если диаметр лимба не превышает 100 мм;
6.Способы изготовления лимбов, а также других оптических шкал, регламентируются отраслевым стандартом ОСТ3-3312-76. Способ изготовления лимба - способ обратной фотолитографии Ф9И;
7.В чертежах многих лимбов имеется требование указывать порядковый номер детали и дату изготовления. Это требование не распространяется на фотошаблоны. Для фотошаблонов в технических заданиях необходимо указать следующее требование: маркировать фото?/p>