Подготовка оптического производства для изготовления круговых шкал (лимбов)
Курсовой проект - Разное
Другие курсовые по предмету Разное
расположения диаметров осей штрихов (для диаметра шкалы 90 мм), угл. сек.31,53Неравномерность ширины штрихов, мкм1,00,34Неровность края элементов топологии, мкм0,50,25Отклонение ширины элементов топологии шкалы от ширины соответствующего элемента топологии фотошаблона, мкмОт 0 до 2 для светлых элементов топологии0,36Класс чистоты, ГОСТ 11141II0-10
Характеристики получены при использовании фотошаблонов, имеющих характеристики, указанные в табл. 2.
. Технологические процессы изготовления фотошаблонов круговых оптических шкал
Фотошаблоны можно разделить на два типа:
) Рабочие фотошаблоны - это фотошаблоны, используемые непосредственно в технологических процессах фотолитографии при изготовлении лимбов в операции экспонирование. Они могут быть изготовлены фотолитографическими способами или с помощью генератора изображений.
) Фотошаблоны-оригиналы - это фотошаблоны, используемые для изготовления рабочих фотошаблонов лимбов способами фотолитографии. Они могут быть изготовлены только с помощью генератора изображений.
Фотолитографические способы позволяют изготавливать рабочие фотошаблоны круговых оптических шкал, имеющие характеристики, указанные в табл. 1.
Для изготовления фотошаблонов, как оригиналов, так и рабочих используется генератор изображений модели CLWS-300, в котором для синтеза топологии применяется термохимическая технология записи на пленках хрома. Основное отличие генератора изображений модели CLWS-300 от генераторов изображений, применяемых в микроэлектронной промышленности, заключается в том, что запись топологии производится в полярной системе координат. Это позволяет получать фотошаблоны лимбов, имеющие высокие технические характеристики. В процессе термохимической записи происходит окисление хромового маскирующего покрытия под действием лазерного луча. В результате этого происходит изменение свойств покрытия: скорость травления окисленного покрытия по отношению к специальному травителю уменьшается, что позволяет формировать требуемую топологию.
Основные операции технологического процесса термохимической записи на пленках хрома: подготовка чертежа фотошаблона в Autocad, запись топологии на генераторе изображений на хромированных стеклянных заготовках, травление хромового покрытия в специальном травителе, контроль топологии, контроль линейных и угловых параметров, контроль дефектности. оптический шкала фотошаблон технический
Таблица 2
Технические характеристики термохимической технологии записи на пленках хрома, используемой на генераторе изображений CLWS-300
№ п/пХарактеристикаЗначение1Минимальная ширина элементов топологии, мкм12Угловая погрешность расположения диаметров осей штрихов (для диаметра шкалы 90 мм), угл. сек.13Неравномерность ширины штрихов, мкм0,24Неровность края элементов топологии, мкм0,15Дефектность хромового покрытияОбеспечивает получение копий, имеющих класс чистоты 0-10
4. Эскиз и технические требования круговой оптической шкалы
Таблица 3
NN зонГраницы зонКоличество точек и допускаемые размерыНа любом ограниченном участкеНа всей зонеВсего точекДиаметром до, ммДиаметром до, мм0.0020.0040.008Всего0.0020.0040.008I87.9 - 88.9 91.15 - 92.111--55--II92.1 - 93.3 86.7 - 87.922119632III90.6 - 89.4
Требования:
.Разность в ширине штрихов у одной детали не более 0,001 мм.
.Цифры в зеркальном изображении. Направление оцифровки - против часовой стрелки. Цифры - шрифт А по ОСТ - 3-3183-83.
.Ширина линии обводки цифр (0,0080,002).
.Разность расстояний от штрихов до цифры у одной детали не более 0,015 мм.
.Полная погрешность диаметра круга не более 1. Допускается увеличение погрешности до 1,2.
6.Штрихи наносятся по ОСТ - 3-5220-82.
7.Цифры наносят по ОСТ - 3-2317-71.
.Зоны рассматриваются под увеличением 45х
9.Штрихи и цифры должны удовлетворять требованиям ТУ на деление сеток по ОСТ - 3-6813-93.
.Границы рабочих зон и допускаемые в них дефекты определены в таблице 3.
.Угол между направлением царапин и ближайшим штрихом не должен быть менее 10.
12.Зоны, не указанные в таблице по чистоте стекла и порокам стекла не нормируются.
13.Дефекты штрихов на указанной длине не нормируются.
.Овальность отверстия В не более 0,05мм.
15.По краю отверстия В допускается до 4 выколок размером до 0,8мм.
16.Тангенциальный клин и радиальный клин не более 2.
17.Место маркировки номера детали должно быть на стороне со штрихами в зоне, ограниченной окружностями диаметром 97 и Г.
.Запуск черный. Состав запуска: олифа натур. ГОСТ 7931-76 60%, сиккатив ГОСТ 1003-73 30%, газовая сажа ГОСТ 7885-77 10%.
19.Технические требования к запуску по ОСТ 3-842-72.
.Смещение средней линии цифровой надписи относительно средней линии нумеруемого штриха не должно превышать 0,03 мм.
5. Выбор и обоснование выбора технологических процессов изготовления круговой шкалы
Для выбора необходимо проанализировать основные технические требования чертежа лимба и соотнести их с техническими характеристиками технологических процессов. Основные технические требования чертежа лимба:
.минимальная ширина элементов топологии;
.угловая погрешность расположения фронтов, осей, диаметров осей штрихов или др.;
.неравномерность ширины штрихов;
.Класс чистоты.
Технические требования лимба: ширина штриха 8 мкм, неравномерность ширины штрихов 2 мкм, угловая погрешность расположения диаметров осей штрихов 1,2 угл. сек., класс чистоты I