Физика полупроводниковых приборов
Вид материала | Документы |
- Рабочая программа дисциплины "Физические основы полупроводниковой микро- и оптоэлектроники, 119.56kb.
- Министерство образования и науки РФ московский энергетический институт (технический, 83.36kb.
- Учебно-методический комплекс для специальности, 359.2kb.
- Реферат по дисциплине " Технологические процессы микроэлектроники " на тему: Технологические, 1398.5kb.
- Программа курса лекций, 30.09kb.
- Разработка фоточувствительных полупроводниковых приборов с отрицательной дифференциальной, 398.26kb.
- Полупроводниковые приборы, 355.8kb.
- Методика анализа, прогнозирования и повышения надежности изделий микроэлектроники,, 21.62kb.
- Материалы микроэлектроники, 673.1kb.
- Годовой отчет ОАО «ниипп» за 2010 год, 374.58kb.
Раздел 2. ЗОННАЯ ТЕОРИЯ ТВЕРДЫХ ТЕЛ
Тема 2.1. ОСНОВНЫЕ СВЕДЕНИЯ О СТРОЕНИИ ТВЕРДЫХ
ТЕЛ: ИДЕАЛЬНЫЕ КРИСТАЛЛЫ
Положение элементов, обладающих полупроводниковыми свойствами, в периодической таблице элементов; неорганические и органические полупроводниковые соединения. Кристаллы, их симметрия. Решетка Бравэ; обратная решетка; индексы Миллера.
Тема 2.2. ЭЛЕКТРОНЫ В ПЕРИОДИЧЕСКОМ
^ ПОТЕНЦИАЛЬНОМ ПОЛЕ
Свободный электрон. Скорость, импульс, волновой вектор, длина волны и энергия электрона. Выражения, определяющие групповую скорость и массу электрона.
Движение электрона в кристалле. Волновые функции Блоха. Зоны Бриллюэна для различных кристаллов. Модельные представления периодического потенциального поля для расчета энергетического спектра и характеристик движения электрона в кристалле.
Тема 2.3. СВОЙСТВА ВАЛЕНТНЫХ ЭЛЕКТРОНОВ В
^ ТВЕРДЫХ ТЕЛАХ
Модель Кронига-Пенни. Энергетический спектр электронов в периодическом потенциальном поле. Физический смысл понятия эффективной массы. Эффективная масса и скорость электрона. Зависимость величины эффективной массы и групповой скорости электрона от его волнового вектора. Квазиимпульс. Изоэнергетические поверхности. Различия эффективных масс дырок и электронов. Определение эффективных масс носителей заряда методом циклонного резонанса.
^ Тема 2.4. зонная структура конкретных твердых тел
Металлы, полупроводники и диэлектрики в зонной теории. Зонная структура основных полупроводниковых материалов. Зависимость ширины запрещенной зоны полупроводниковых материалов от температуры и давления.
Раздел 3. ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ УРОВНИ В ЗАПРЕЩЕННОЙ ЗОНЕ
Тема 3.1. СТРОЕНИЕ ТВЕРДЫХ ТЕЛ: РЕАЛЬНЫЕ КРИСТАЛЛЫ
Дефекты кристаллической решетки и их влияние на энергетический спектр электронов. Микроскопические и макроскопические дефекты. Границы зерен. Дефекты типа Френкеля и типа Шоттки. Отклонение от стехиометрического состава. Примеси.
Тема 3.2. ЛОКАЛЬНЫЕ ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ УРОВНИ
^ В ЗАПРЕЩЕННОЙ ЗОНЕ
Донорные и акцепторные примеси. Образование примесной зоны. Многозарядные примесные центры. Экситоны Френкеля и Мотта. Поляроны. Поверхностные уровни Тамма.
Тема 3.3. МЕТОДЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ
^ ЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО СПЕКТРА ЭЛЕКТРОНОВ
В ТВЕРДЫХ ТЕЛАХ
Гальваномагнитные и магнитоакустические методы; метод циклотронного резонанса; методы оптического и термического возбуждения локальных энергетических уровней.
Раздел 4. СТАТИСТИКА РАВНОВЕСНЫХ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА
Тема 4.1. ОБЩИЕ ПРИНЦИПЫ РАСЧЕТА КОНЦЕНТРАЦИИ
^ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА
Распределение носителей заряда по зонам в диэлектриках, полупроводниках и металлах. Плотность разрешенных состояний. Уровень Ферми.
^ Тема 4.2. КОНЦЕНТРАЦИЯ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА В СОБСТВЕННЫХ И ПРИМЕСНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКАХ
Концентрация электронов и дырок в полупроводниках и их температурные зависимости в случаях собственной и примесной электропроводности. Закон действующих масс для носителей заряда в полупроводниках. Влияние температурной зависимости ширины запрещенной зоны на концентрацию носителей заряда. Температурная зависимость положения уровня Ферми в невырожденных полупроводниках. Компенсированные полупроводники.
Тема 4.3. КОНЦЕНТРАЦИЯ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА В
^ ВЫРОЖДЕННЫХ ПОЛУПРОВОДНИКАХ
Вырожденные полупроводники. Низко- и высокотемпературное вырождение. Концентрация электронов и дырок в сильновырожденных полупроводниках. Концентрации электронов и дырок в слабовырожденных полупроводниках.
Раздел 5. НЕРАВНОВЕСНЫЕ ПРОЦЕССЫ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ
Тема 5.1. ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА НЕРАВНОВЕСНЫХ ПРОЦЕССОВ
Характеристики неравновесного состояния электронов и дырок в полупроводниках. Квазиуровни Ферми. Функция распределения неравновесных носителей заряда.
^ Тема 5.2. КИНЕТИКА УСТАНОВЛЕНИЯ КВАЗИСТАЦИОНАРНЫХ СОСТОЯНИЙ
Сечение рекомбинации. Уравнение непрерывности. Время жизни не- равновесных носителей заряда. Линейная и квадратичная рекомбинации. Максвелловское время релаксации.
Тема 5.3. МеханизмЫ РЕКОМБИНАЦИИ ИЗБЫТОЧНЫХ
^ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА
Межзонная рекомбинация. Время жизни носителей заряда при излучательной рекомбинации. Безызлучательная рекомбинация.
Рекомбинация через рекомбинационные уровни. Модель Холла –Шокли - Рида. Методы управления временем жизни носителей заряда и его зависимость от положения уровня Ферми. Температурная зависимость времени жизни при рекомбинации через локальные уровни. Определение энергетического положения рекомбинационных уровней. Методы контролируемого введения рекомбинационных уровней в микроэлектронике.
^ Тема 5.4. ДИФФУЗИОННЫЕ И ДРЕЙФОВЫЕ ТОКИ
Диффузионные и дрейфовые токи в полупроводниках. Соотношение Эйнштейна. Диффузия и дрейф избыточных носителей в полупроводниках. Диффузионная длина. Длина экранирования Дебая.
Раздел 6. МЕХАНИЗМЫ РАССЕЯНИЯ И ПОДВИЖНОСТЬ
^ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА В ПОЛУПРОВОДНИКАХ
Тема 6.1. ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ О МЕХАНИЗМАХ РАССЕЯНИЯ
И ПОДВИЖНОСТИ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА
Движение электрона в кристалле в отсутствие рассеяния. Энергетический спектр полупроводника, помещенного в электрическое поле. Движение электронов и дырок в случае рассеяния. Среднее время и средняя длина свободного пробега и подвижности носителей заряда.
Тема 6.2. ОПРЕДЕЛЕНИЕ ВЕЛИЧИНЫ ПОДВИЖНОСТИ ПРИ
^ ОДНОВРЕМЕННОЙ РЕАЛИЗАЦИИ НЕСКОЛЬКИХ
МЕХАНИЗМОВ РАССЕЯНИЯ
Механизмы рассеяния носителей заряда в полупроводниках. Рассеяние электронов на ионизованных примесях. Тепловые колебания кристаллической решетки. Энергетический спектр колебания решетки. Рассеяние носителей заряда на колебаниях решетки. Междолинное рассеяние. Рассеяние электронов на свободных носителях заряда, неионизованных примесях и дислокациях.
Температурная зависимость подвижности в случае одновременного действия нескольких механизмов рассеяния.
^ Тема 6.3. ПРОВОДИМОСТЬ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Влияние сильных электрических полей на подвижность носителей заряда. Эффект Ганна. Проводимость полупроводников. Зависимость проводимости от концентрации примесей и температуры.
Раздел 7. ФИЗИКА ДИЭЛЕКТРИКОВ
Тема 7.1. МГНОВЕННЫЕ И РЕЛАКСАЦИОННЫЕ МЕХАНИЗМЫ ПОЛЯРИЗАЦИИ
ДИЭЛЕКТРИКОВ
Поляризованность диэлектриков. Мгновенная и релаксационная поляризации диэлектриков. Расчет диэлектрической проницаемости и температурного коэффициента диэлектрической проницаемости; частотная дисперсия.
^ Тема 7.2. МЕХАНИЗМЫ ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКОВ
Электронная и ионная проводимости диэлектриков. Зависимость концентрации и подвижности носителей заряда от температуры. Прыжковая электропроводность диэлектриков. Токи, ограниченные объемным зарядом. Пробой диэлектриков.
^ Тема 7.3. ОБЩАЯ ТЕОРИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОТЕРЬ
Макроскопическое описание диэлектрических потерь. Комплексная диэлектрическая проницаемость. Тангенс угла диэлектрических потерь. Ток смещения. Активная составляющая тока смещения и определяемая ею мощность диэлектрических потерь.
Диэлектрические потери при релаксационной поляризации. Ионная поляризация в области резонанса; особенности спектра диэлектрической проницаемости. Область частот полного отражения. Инфракрасное поглощение.
^ Тема 7.4. Сегнето- И ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСТВО
Сегнетоэлектрики и пьезоэлектрики. Фазовые переходы и спонтанная поляризация. Симметрия кристаллов и пьезоэлектрические модули. Пьезоэффект в кварце. Электрострикция. Электрооптические свойства в кристаллах. Электреты.
Раздел 8. ОСНОВЫ ФИЗИКИ КОНТАКТНЫХ ЯВЛЕНИЙ
Тема 8.1. ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ДИАГРАММЫ ТВЕРДЫХ ТЕЛ,
^ НАХОДЯЩИХСЯ В ВАКУУМЕ
Энергетические диаграммы полупроводников, металлов и диэлектриков. Работа выхода, энергия сродства, уровень Ферми. Внешняя и внутренняя работа выхода.
Тема 8.2. ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ДИАГРАММЫ ТВЕРДЫХ ТЕЛ,
^ НАХОДЯЩИХСЯ ВНЕ ВАКУУМА: СОСТОЯНИЕ
РАВНОВЕСИЯ
Причина возникновения области пространственного заряда (ОПЗ) в приповерхностных слоях твердых тел. Оценка толщины ОПЗ. Обогащенная, обедненная и инверсная ОПЗ.
Общие принципы построения энергетических диаграмм контактирующих твердых тел. Изотипные и анизотипные контакты. Гетеропереходы. Влияние температуры на вид энергетических диаграмм контактирующих тел.
Тема 8.3. ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ДИАГРАММЫ ТВЕРДЫХ ТЕЛ,
^ НАХОДЯЩИХСЯ ВНЕ ВАКУУМА: СОСТОЯНИЕ
НАРУШЕННОГО РАВНОВЕСИЯ
Энергетические диаграммы контактирующих тел в состоянии нарушенного термодинамического равновесия. Квазиуровни Ферми в пределах ОПЗ. Прямое и обратное включение контакта. Токи через границу раздела. Инжекция и экстракция основных и неосновных носителей заряда. Барьерная и диффузионная емкости контакта.
Раздел 9. ПЕРСПЕКТИВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ РАЗВИТИЯ ФИЗИКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА
Тема 9.1. АКУСТОЭЛЕКТРОННЫЕ ЯВЛЕНИЯ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ
Упругие волны в пьезоэлектрических полупроводниках. Объемные и поверхностные волны. Взаимодействие упругих волн с носителями заряда в полупроводниках: усиление и поглощение упругих волн. Усиление поверхностных упругих волн при взаимодействии с электронами. Акусто-электрический эффект. Физические основы практического использования поверхностных акустических волн.
Тема 9.2. АМОРФНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ
Аморфные полупроводники. Электропроводность неупорядоченных структур и локализация электронных состояний.
Тема 9.3. РАЗМЕРНЫЕ ЭФФЕКТЫ В ТВЕРДЫХ ТЕЛАХ
Сверхтонкие материалы; размерные эффекты в твердых телах. Диэлектрическая проницаемость металлов. Металлооптика.
Раздел 10. ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТВЕРДЫХ ТЕЛ
Тема 10.1. ЗОННАЯ СТРУКТУРА ТВЕРДЫХ ТЕЛ В К-ПРОСТРАНСТВЕ
Прямозонные и непрямозонные твердые тела. Прямые и непрямые оптические переходы. Внутризонное и межзонное поглощение; частотная дисперсия.
Тема 10.2. ОСНОВЫ ТЕОРИИ ФОТОПРОВОДИМОСТИ
Собственная и примесная фотопроводимость. Эффекты очувствления, суперлинейности, температурного и ИК-гашения фотопроводимости.
Раздел 11. ФИЗИКА ТОНКИХ ПЛЕНОК
Тема 11.1. ОСОБЕННОСТИ МИКРОСТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК
Методы получения тонких пленок (общие сведения). Методы контроля и изучения строения тонких пленок. Эффекты электромиграции и массопереноса.
Тема 11.2. РАЗМЕРНЫЕ ЭФФЕКТЫ В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛЕНКАХ
Основные понятия. Размерные эффекты на длине остывания, на длине Дебая, на длине свободного пробега по импульсу. Размерные эффекты в многодолинных полупроводниках и квантовые размерные эффекты.
^ Тема 11.3. ОСОБЕННОСТИ ПОВЕДЕНИЯ ОСНОВНЫХ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК ПРИ УМЕНЬШЕНИИ ИХ ТОЛЩИНЫ
Влияние поверхностных состояний на основные электрофизические характеристики полупроводников и диэлектриков. Спектр разрешенных и запрещенных энергий в приповерхностных слоях. Электрическая прочность и механизмы электропроводности тонких диэлектрических пленок.
Раздел 12. МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ТВЕРДЫХ ТЕЛ
Тема 12.1. ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
Тема 12.2. ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
Тема 12.3. МЕТОДЫ ХИМИЧЕСКОГО И МИКРОХИМИЧЕСКОГО АНАЛИЗА
Тема 12.4. МЕТОДЫ, ИСПОЛЬЗУЮЩИЕ ПОТОКИ ВЫСОКОЭНЕРГЕТИЧНЫХ (ЭЛЕКТРОННЫХ, ИОННЫХ, ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ) ЧАСТИЦ
Раздел 13. ТЕОРИЯ МАГНЕТИЗМА
Тема 13.1. КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА И МАГНИТНЫЕ СВОЙСТВА ТВЕРДЫХ ТЕЛ
Энергия магнитного дипольного взаимодействия. Взаимодействие электронов и магнитная структура. Теория Кондо. Магнитное упорядочение.
Тема 13.2. ОСНОВЫ ТЕОРИИ ФЕРРОМАГНЕТИЗМА
Ферромагнетизм. Доменная структура. Физика полосковых и цилиндрических магнитных доменов.
Раздел 14. РАДИАЦИОННАЯ ФИЗИКА ТВЕРДЫХ ТЕЛ
Тема 14.1. МЕХАНИЗМЫ ОБРАЗОВАНИЯ ПЕРВИЧНЫХ
^ РАДИАЦИОННЫХ ПОВРЕЖДЕНИЙ ТВЕРДЫХ ТЕЛ
Взаимодействие электронных, нейтронных, протонных, ионных и
γ-потоков с твердыми телами; механизмы образования первичных радиационных дефектов.
^ Тема 14.2. МЕХАНИЗМЫ ОБРАЗОВАНИЯ И ПРИРОДА ВТОРИЧНЫХ РАДИАЦИОННЫХ ДЕФЕКТОВ
Подвижность и температурная устойчивость первичных и вторичных радиационных дефектов. Радиационное повреждение зонной структуры твердых тел.
^ Тема 14.3. РАДИАЦИОННАЯ ДЕГРАДАЦИЯ ОСНОВНЫХ СВОЙСТВ ПОЛУПРОВОДНИКОВ И ДИЭЛЕКТРИКОВ
Радиационная деградация времени жизни носителей заряда, их концентрации и подвижности в полупроводниках; инверсия типа проводимости полупроводников. Накопление объемного заряда в диэлектриках под действием радиационных облучений.
^ ПЕРЕЧЕНЬ ТЕМ ЛАБОРАТОРНЫХ РАБОТ (34 ЧАСА)
- Изучение свойств металлов методами статической электропроводности.
- Изучение релаксационных механизмов поляризации диэлектриков.
- Изучение прямого и обратного пьезоэффекта.
- Изучение физических свойств полупроводников и диэлектриков в слабых электрических полях методом электрических контактных измерений.
- Определение ширины запрещенной зоны полупроводников методом измерения дифференциального сопротивления контакта «полупроводник - полупроводник», методом измерения обратного тока контакта «металл - полупроводник».
- Изучение высокотемпературной сверхпроводимости.
- Изучение температурной зависимости подвижности носителей заряда при рассеянии на ионизованных примесях.
- Изучение глубоких уровней в кремнии методом температурной зависимости эффекта Холла.
- Изучение зонной структуры полупроводников методом оптической спектроскопии.
- Изучение эффекта поля в полупроводниках методом С-У-характеристик.
- Изучение диффузионной и дрейфовой скорости движения носителей заряда в полупроводниках.
- Изучение типа проводимости твердых тел методом термозондирования.
^ ПРАКТИЧЕСКИЕ ЗАНЯТИЯ
Для обеспечения самостоятельной работы в течение всего семестра, темы практических занятий в основном развивают те вопросы, которые уже рассматривались на лекциях. При этом характер рассматриваемых вопросов требует от студента не только регулярного изучения конспекта лекций, но и самостоятельных усилий, синтеза новых положений на базе уже накопленных знаний, но не обобщенных в лекционном материале.
Предусматривается задание задач на дом, а также обязательная отчетность каждого студента по вопросам, изучаемым на практических занятиях.
Постоянный контроль, поэтапная сдача экзамена в течение семестра, десятибалльная система оценки знаний и система «штрафов» исключают недобросовестную работу каждого студента.
^ КУРСОВАЯ РАБОТА ПО ПРЕДМЕТУ ФТТ
Целью курсового проектирования является обучение навыкам самостоятельной разработки одного из вопросов теории твердого тела, включая самостоятельный поиск учебной и (или) научной литературы, а также изложение сути физических явлений в «пояснительной записке» и иллюстративном материале на плакатах. Одна из главных задач – это умение изложить изученный вопрос перед группой студентов в виде устного доклада и обсуждение доклада с участием всей группы под контролем и с помощью преподавателя.
Предусмотрена также фактическая исследовательская работа студентов в учебных и научных лабораториях кафедры микроэлектроники БГУИР под руководством преподавателя или научного сотрудника кафедры.
^ ПРИМЕРНЫЙ ПЕРЕЧЕНЬ ТЕМ КУРСОВЫХ РАБОТ
1. Пробой диэлектриков, обратимость и необратимость пробоя.
- Макро- и микроскопическая теория диэлектриков; локальное поле и поле Лоренца в твердых телах.
- Полная шкала электромагнитных волн. Комплексная диэлектрическая проницаемость, проводимость и магнитная проницаемость твердых тел.
- Метод Коул-Коула при анализе механизмов поляризации твердых тел.
- Радиационные эффекты в диэлектриках.
- ИК-спектроскопический анализ твердых тел;
- Пьезоэффект в кварце и титанате бария.
- Комплексная проводимость металлов. Диэлектрическая проницаемость металлов.
- Сопоставительный анализ моделей Друде и Зоммерфельда.
- Ферми-поверхность в металлах.
- Эффективная масса носителей заряда в полупроводниках: квантово-механическое обоснование.
- Эффект Холла в металлах и полупроводниках.
- Примесное поглощение света в полупроводниках.
- Емкостная спектроскопия полупроводников.
- Фотопроводимость полупроводников.
- Эффекты очувствления и суперлинейности, инфракрасного и температурного гашения проводимости диэлектриков и полупроводников.
- Отрицательный фотоэффект в полупроводниках, тушение проводимости полупроводников.
- Эффект Ганна в полупроводниках.
- Экситоны в полупроводниках.
- Поляронные состояния в полупроводниках и диэлектриках.
- Диэлектрическая проницаемость анизотропных диэлектриков.
- Анализ релаксационных механизмов поляризации методом Коул-Коула.
- Методы экспериментального анализа свойств поверхности твердых тел.
- Эллипсометрический метод анализа свойств поверхности твердых тел.
- Электрические методы анализа свойств твердых тел.
- Радиационные эффекты в полупроводниках.
- Радиационные эффекты в двуокиси кремния и алюминия.
- Инфракрасная спектрометрия твердых тел.
- Радиационная деградация основных электрофизических параметров полупроводников: времени жизни, подвижности, удельного сопротивления.
- Общефизические явления на границах раздела двух полупроводников. Специфические свойства гетеропереходов.
- Контакт «металл-полупроводник». Барьеры Мотта и Шоттки.
- Собственное поглощение света в полупроводниках и диэлектриках, форма края собственного поглощения и определение ширины запрещенной зоны.
- Релаксационная поляризация диэлектриков; релаксационная диэлектрическая проницаемость (расчет); проводимость диэлектриков, содержащих релаксационные механизмы поляризации.
- Модели и теоретическое описание свойств аморфных полупроводников.
- Низкочастотные и высокочастотные вольт–фарадные характеристики полупроводников.
- Явления электромиграции в тонких пленках.
- Электроны и дырки в металлах.
- Экспериментальное исследование релаксационных механизмов поляризации в органических диэлектриках.
ЛИТЕРАТУРА
- Ашкрофт Б.Н., Мермин Н. Физика твердого тела. – Ч. 1,2 - М.: Мир, 1979.
- Павлов П.В., Хохлов А.Ф. Физика твердого тела. – М.: Высш. шк., 1985.
- Уэрт Ч., Томсон Р. Физика твердого тела. – М.: Мир, 1969.
- Шалимова К.В. Физика полупроводников. – М.: Энергоатомиздат, 1985.
- Бонч-Бруевич В.Л., Калашников С.Г. Физика полупроводников. – М.: Наука, 1977.
- Горбачев В.В., Спицина Л.Г. Физика полупроводников и металлов. - М.: Металлургия, 1982.
- Киреев П.С. Физика полупроводников. – М.: Высш. шк., 1975.
- Смит Р.А. Полупроводники. – М.: Мир, 1982.
- Фистуль В.И. Введение в физику полупроводников. – М.: Высш. шк., 1984.
- Киттель Ч. Введение в физику твердого тела . – М.: Наука, 1978.
- Слэтэр Дж. Диэлектрики, полупроводники, металлы. – М.: Мир, 1969.
- Тареев Б.М. Физика диэлектрических материалов. – М.: Энергоиздат, 1982.
- Хиппель А. Диэлектрики и волны. – М.: ИЛ. 1960.
- Павлов П.В., Хохлов А.Ф. Физика твердого тела. – Нижний Новгород: НГУ, 1993.
- Петрович В.А. Методические указания к лабораторным работам по курсу «Физика твердого тела» для студ. спец. «Автоматика и электроника». Ч. 1: Релаксационные механизмы поляризации диэлектриков. – Мн: МРТИ, 1988.
- Петрович В.А. и др. Методические указания и лабораторные работы по курсу «Физика твердого тела» для студ. спец. «Электронные приборы и устройства». Ч. 2: Физика полупроводников. - Мн: МРТИ, 1989.
- Петрович В.А. Методические указания и лабораторная работа по курсу «Физика твердого тела» для студ. спец. «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы». Ч. 3: Физика металлов (модель Друде). – Мн: МРТИ, 1991.
- Петрович В.А. Учебно-методическое пособие к лабораторной работе «Классическая модель металлов Друде» по курсу «Физика твердого тела» для студ. спец. «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы». – Ч. 4 – Мн.: БГУИР, 1995.
- Петрович В.А. Методическое пособие к лабораторным работам по курсу «Физика твердого тела» для студ. спец. «Микроэлектроника». – Мн.: БГУИР, 1997.
- Петрович В.А. Методическое пособие к лабораторным работам по курсу «Физика твердого тела» для студ. спец. «Микроэлектроника». – Мн.: БГУИР, 2000.
- Петрович В.А. Методическое пособие по курсу «Физика твердого тела» для студ. спец. «Микроэлектроника». – Мн: БГУИР, 2001.
- Петрович В.А., Волчек С.А. Физика диэлектриков: Метод. пособие по курсу «Физика твердого тела» для студ. спец. «Микроэлектроника» всех форм обуч. - Мн.: БГУИР, 2003.