Программа конференции, доклады. 13. 10. 2011

Вид материалаПрограмма
Подобный материал:
2-Я МЕЖДУНАРОДНАЯ НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ

«ТЕХНОЛОГИИ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

В МИКРО- И НАНОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКЕ»

13-14 октября 2011 года


Программа конференции, доклады.

13.10.2011




Время

Тема доклада

Докладчик




9-00 – 10-00

Регистрация участников (Проходная МИЭТ)

Регистрация участников (Фойе 1 этаж 3 корпус)







10-00

Открытие конференции

Сауров А.Н. (д.т.н., проф., чл.-корр. РАН, директор НПК «Технологичечкий центр»)





Радиоэлектронные методы медицинской диагностики

Гуляев Ю.В. (д.ф.-м.н., проф., академик РАН, директор ИРЭ РАН)





Исследования и разработки МИЭТ в области нанотехнологий, нано- и микросистемной техники

Гаврилов С.А. (д.т.н., проректор по научной работе МИЭТ)





Организация конференции в рамках программы, публикации

Вернер В.Д. (д.ф.-м.н., проф., председатель НТС НПК «Технологический центр»)


11-30 - 12-00 Café-break





Перенос носителей заряда в углеродных нанотрубках

Булярский С. В. (профессор, д.ф.м.н., УлГУ)





Спиновые состояния нанокластеров силицидов переходных металлов

Сигов А. С., (д.ф-м.н., профессор, член-корр. РАН, МГТУ МИРЭА)





Энергетическая модель перспективной элементной базы наноэлектроники

Лосев В.В.(к.т.н, МИЭТ, доцент каф. ИЭМС)





Внутренняя квантовая эффективность светоизлучающих структур на основе

квантовых ям InGaN/GaN

Кульчицкий Н.А. ( д.т.н., профессор, МИРЭА)





Исследование электрофизических характеристик структур на основе топологических массивов углеродных нанотрубок

Павлов А.А. (к.т.н. НПК «Технологический центр»)





Перспективы применения химических наносенсоров для космической техники

Малиновская О.С. (к.ф.-м.н., ГНЦ ФГУП «Центр Келдыша»)





Осцилляции ширины запрещенной зоны одностенных углеродных нанотрубок в области сверхмалых диаметров

Ганин А.А. (Магистр физики, аспирант Воронежского государственного университета)





Измерение и моделирование температурных зависимостей диэлектрических параметров сегнетоэлектриков

Печерская Е.А. (д.т.н., Пензенский государственный университет)


14-00 – 15-00 Обед





От микро- к наноэлектронике

Лабунов В.А. (академик Национальной Академии Наук Белоруссии, главный научный сотрудник Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники)





МЭМС/НЭМС производственные линии и фаундри-услуги компании ULVAC

Atsushi Kira (ULVAC Inc / Research & Development Division)





Интегрированная наноэлектромеханическая система

параметров движения

Амеличев В.В (к.т.н., Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН)





Фотостимулированная десорбция ПАВ как метод формирования тонких плёнок наночастиц

Заседателев А.В. (научный сотрудник В/ч 35533)





Работка модулей для исследования

оптически стимулированной люминесценции

в наноструктурированных и пористых материалах

Вохминцев А.С. (к.ф.-м.н., Уральский Федеральный Университет имени первого Президента России Б.Н. Ельцина)





Определение степени пористости пленочных покрытий методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия

Егоров В.К. (к.ф.м.н., Институт Проблем Технологии Микроэлектроники РАН)





Диагностика пористых материалов на основе оксидов металлов методами фотолюминесценции и атомно-силовой микроскопии

Тарасов С.А. (к.ф.-м.н., доцент, СПбГЭТУ "ЛЭТИ")





Интегральные биохимические системы в концепции «лаборатория на чипе»

Кузнецов А.Е. (НПК «Технологический центр»)





Исследование кремниевых наноструктур в качестве PH-чувствительных элементов

Чуйко О.В. (НПК «Технологический центр»)





Изготовление МДМ – катодов с наноострийным нижним электродом

Троян П. Е. (д.т.н., профессор, зав. каф., Томский университет систем управления и радиэлектроники)


Окончание докладов - 17-30


14.10.2011




Время

Тема доклада

Докладчик


09-30

Итоги и перспективы развития отечественных технологий СБИС с проектными нормами 0,25 – 0,065 мкм

Шелепин Н.А. (д.т. н., профессор ОАО "НИИМЭ и завод "Микрон")





Возможности разработки и изготовления новейших МЭМС\НЭМС с использованием кластерного оборудования

Быков В.А. (д.ф-м.н., ЗАО «НТ-МДТ»)





Наномейкер-электронная литография предельного разрешения для проектирования, оптимизации и производства систем наноэлементов

Зайцев С.И. (д.ф-м.н. Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН)





Принципы конструирования биполярных СВЧ структур с предельно узкими эмиттерными областями

Луканов Н.М. (д.т.н., НПК «Технологический центр»)





Интегрированные антенны на наногетероструктурах арсенида галлия

Матвеенко О.С. (к.т.н., Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники РАН)





Визуализация слоев металлизации современных интегральных схем с помощью физического ионного распыления

Вяткин А.Ф. (д.ф-м.н., профессор, Институт Проблем Технологии Микроэлектроники РАН)





Использование метаморфной технологии для получения НЕМТ наногетероструктур InAlAs/InGaAs на подложках GaAs и InP с различным содержанием InAs в активной области

Пушкарев С.С. (Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники РАН, инженер-исследователь)





Разномасштабное моделирование термического наноимпринтинга для аттестации и оптимизации структуры штампов

Сироткин В.В.(к.ф-м.н., Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН)


11-30 - 12-00 Café-break





Инерциальные микроэлектромеханические преобразователи угловой скорости, линейного ускорения и системы на их основе

Тимошенков С.П., (проф. д.т.н., МИЭТ)





Моделирование влияния технологических факторов на характеристики кремниевого резонансного сенсора давления

Гридчин В.А. (д.т.н., профессор, ООО «СибИС», научный консультант)





Наноэлектромеханические системы в квантовой информатике

Цуканов А.В. (к.ф.-м.н., Физико-технологический институт РАН)





Современные малогабаритные инерциальные системы на основе микроэлектромеханических сенсоров (акселерометров, гироскопов, инклинометров)

Урманов Д.М. (к.т.н., исполнительный директор

«Русская Ассоциация МЭМС»)





Датчики на основе чувствительных элементов из Al2O3 и БИС преобразователя емкость - напряжение

Коннов Е.В. (ведущий конструктор НТЦ «Белмикросистемы»)





Исследование резонансных характеристик металлических микро- и нанобалок

Уваров И.В. (Ярославский филиал Учреждения Российской академии наук Физико-технологического института РАН)





Тактильные механорецепторы на основе тензорезистивных МЭМС структур

Буданов В.М. (к.ф.-м.н., МГУ)





Сверхострые иглы для измерения и контроля наноструктур

Соколов И.В. (ГНЦ ФГУП «Центр Келдыша»)





Магнитные поля многослойных пленок, измеренные с помощью наноразмерного ферромагнитного датчика Холла

Матвеев В.Н. (Институт Проблем Технологии Микроэлектроники РАН)





Научно-технические проблемы использования нанотехнологий в спецтехнике

Мальцев П.П. (Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники РАН)


14-30 – 15-30 Обед



15-30 - 17-30




Время

Тема доклада

Докладчик


15-30

Next Generation Lithography - мифы и реальность

Зайцев С.И. (д.ф-м.н. Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН)





Технология получения и морфология 3D самоорганизованных наноструктур антимонида галлия

Куцелык Т.В. (студентка 1 курса магистратуры ВГУ)





Исследование влияния импульсного токового воздействия на процессы дефектообразования в системах металл-диэлектрик

Скворцов А.А (МГТУ "МАМИ")





Моделирование зонной диаграммы и расчет эффективной массы электронов в составных квантовых ямах InGaAs с нановставками InAs и GaAs

Пономарев Д.С. (НИЯУ МИФИ, аспирант)





Исследование влияния механических деформаций на электрические свойства массивов углеродных нанотрубок

Шаман Ю.П. (НПК «Технологический центр»)





Влияние окисления катализатора на рост углеродных нанотрубок

Шаманаев А.А. (НПК «Технологический центр»)





Формирование углеродных наноструктур с развитой поверхностью для конденсатора с высокой емкостью

Дубков С.В. (НИУ МИЭТ, магистрант)





Деградационные процессы в системах металл-диэлектрик

Скворцов А.А (МГТУ "МАМИ")





Подвижность электронов в ступенчатой квантовой яме AlGaAs/GaAs/InGaAs/GaAs/AlGaAs в случае многоподзонной проводимости: моделирование и эксперимент

Хабибуллин Р.А. (НИЯУ МИФИ аспирант)





Измерение электрического сопротивления металлических слоёв в микроэлектромеханической мультиэлектродной биоматрице методом относительной двухволновой рентгеновской рефлектометрии

Карташов Д.А (ОАО «НИИМЭ и Микрон»)





Вольт-амперные характеристики системы нанонитей из атомов олова, встроенных в кристалл арсенида галлия

Ячменев А.Э. (Институт сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники РАН)





Влияние дислокаций на внутреннюю квантовую эффективность светоизлучающих структур на основе квантовых ям InGaN/GaN

Кульчицкий Н.А. ( д.т.н., профессор, МИРЭА)


15-30 - 17-30




Время

Тема


Докладчик


15-30

БИС преобразователя емкость - напряжение для электронной схемы микромеханического сенсора общего назначения

Коннов Е.В. (ведущий конструктор НТЦ «Белмикросистемы»)





Формирование наноразмерных монокремниевых структур на КНИ пластинах

Рыбачек Е.Н. (к.т.н., НПК «Технологический центр»)





Динамические характеристики чувствительного элемента микроакселерометра с повышенным фактором демпфирования

Уваров И.В. (Ярославский филиал Физико-технологического института РАН)





Создание селективных сенсорных структур на основе смеси углеродных нанотрубок и нановолокон оксида цинка

Комаров И.А. (МИЭТ, «НОЦ ЗМНТ»)





Микросистема контроля двух компонент вектора магнитной индукции на основе наноразмерных магниторезистивных структур

Касаткин С.И. (д.т.н., НПК «Технологический центр»)





Конструктивные и схемотехнические способы повышения чувствительности биполярных магнитотранзисторов для прецизионного контроля перемещений микромеханических элементов

Козлов А.В. (НПК «Технологический центр»)





Моделирование наноалмазных частиц

Солнцев А.В. (аспирант ИИФиРЭ СФУ)





Оптимизация конструкции миниатюрного тензорезистивного преобразователя давления с помощью конечно-элементного моделирования

Годовицин И.В. (к.т.н. НПК «Технологический центр»)





Исследование технологии формирования пленок ZnO:Ga для создания преобразователей акустического давления

Поломошнов С.А. (к.т.н., НПК «Технологический центр»)





Быстродействующий преобразователь электрического тока

Платонов В.В. (к.т.н., НПК «Технологический центр»)





Разработка технологии изготовления полупроводниковых преобразователей радиоактивных излучений

Генералов С.С. (НПК «Технологический центр»)





Исследование динамики микромеханических устройств с нанесенной металлизацией

Козин И.А. (Ярославский филиал Физико-технологического института РАН)





Разработка акустического МЭМС преобразователя

Никифоров С.В. (НПК «Технологический центр»)





ZnO-пьезоэлектрический харвестер с подвижным электродом

Козьмин А. (МИЭТ)





Исследование технологии изготовления матриц магниторезистивной памяти на основе спин-туннельного эффекта

Костюк Д.В. (НПК «Технологический центр»)





Профилированный магниторезистивный микрочип биосенсорного устройства регистрации магнитных меток

Гаврилов Р.О. (НПК «Технологический центр»)


17-30 - 18-00 - закрытие конференции.