Республики Беларусь «24»
| Вид материала | Программа |
- В перечень банков Республики Беларусь, имеющих право обязываться по векселю, утверждаемый, 419.3kb.
- Республики Беларусь 15 августа 2006, 202.35kb.
- Одобрен Советом Республики 8 февраля 1999 года общая часть глава 1 общие положения, 799.65kb.
- Об утверждении Инструкции о порядке взаимодействия государственных органов, ответственных, 157.85kb.
- Республики Беларусь «Об органах внутренних дел Республики Беларусь», 9.85kb.
- Конституции Республики Беларусь Совет Республики Национального собрания Республики, 11.32kb.
- Конституции Республики Беларусь Совет Республики Национального собрания Республики, 11.74kb.
- Совета Министров Республики Беларусь от 31 октября 2001 г. N 1592 "Вопросы Министерства, 1509.5kb.
- Постановление государственного комитета по авиации республики беларусь, 78.75kb.
- Конституции Республики Беларусь Совет Республики Национального собрания Республики, 13.86kb.
Утверждена
Министерством образования
Республики Беларусь
« 24 »июня 2001 г.
Регистрационный № ТД-169 / тип
ФИЗИЧЕСКАЯ ХИМИЯ
УЧЕБНАЯ ПРОГРАММА ДЛЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ ПО СПЕЦИАЛЬНОСТИ 41 01 02 «МИКРОЭЛЕКТРОНИКА»
Составители:
А.П. Молочко - доцент кафедры химии Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники, кандидат технических наук; Н.П. Соловей - доцент кафедры химии Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники, кандидат технических наук
Рецензенты:
Кафедра физической и коллоидной химии Белорусского государственного технологического университета (протокол № 11 от 25 мая 2000 г.);
И.Н. Савелов - доцент кафедры информационной измерительной техники и технологий Белорусской государственной политехнической академии, кандидат технических наук.
Рекомендована к утверждению в качестве типовой:
Кафедрой химии Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники (протокол № 10 от 17 апреля 2000 г.);
Советом Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники (протокол № 4 от 23 ноября 2000 г.).
Согласована с:
Учебно-методическим объединением вузов Республики Беларусь по образованию в области электрорадиотехники и информатики;
Главным управлением высшего и среднего специального образования; Центром методического обеспечения учебно-воспитательного процесса Республиканского института высшей школы БГУ.
ПОЯСНИТЕЛЪНАЯЗАПИСКА
ЦЕЛЬ И ЗАДАЧИ ДИСЦИПЛИНЫ «ФИЗИЧЕСКАЯ ХИМИЯ» И ЕЕ МЕСТО
В УЧЕБНОМ IIPOЦECCE
Типовая программа «Физическая химия» разработана для специальности
41 01 02 «Микроэлектроника» высших учебных заведений.
Цель преподавания дисциплины состоит в формировании у студентов теоретических знаний и практических навыков в области физической химии в свете задач и современных требований полупроводникового материаловедения и микроэлектроники. Существенное усложнение многих технических систем привело к необходимости глубокого изучения физико-химических процессов, основных закономерностей, определяющих направленность процессов, скорость их протекания, влияния среды, примесей, условия получения максимального выхода необходимой продукции.
Современный инженер должен обладать фундаментальными знаниями, обеспечивающими правильное понимание новых научных фактов, возможность самостоятельно и грамотно разобраться в специальных вопросах, решать комплексно сложные проблемы, используя достижения в области смежных наук. Понимание основных законов химии и физической химии помогает специалисту в решении экологических проблем.
Программа составлена в соответствии с требованиями образовательного стандарта и рассчитана на объем 70 учебных часов. Примерное распределение
учебных часов по видам занятий: лекций - 34 часа, лабораторных работ 17 часов, практических занятий - 17 часов.
На основе данной программы разрабатывается рабочая программа курса «Физическая. химия» в соответствии с количеством часов, отведенных на ее изучение в вузе. При этом допускается изменение последовательности изложения отдельных разделов и их объема.
Важнейшей составной частью учебного процесса при изучении дисциплины «Физическая химия» является лабораторный практикум и практические занятия. Основная цель их состоит в закреплении теоретического материала, приобретении навыков экспериментирования, обработки экспериментальных данных и их анализа, доведения решения задачи до конечного числового результата, воспитания ответственности за результат расчета.
В результате изучения дисциплины студент должен:
иметь представление:
- об общих физико-химических закономерностях, отражающих взаимосвязь между составом, структурой, условиями синтеза и свойствами материалов;
- об основных закономерностях протекания физико-химических процессов;
- о тенденциях развития основных направлений и методов физической химии в связи с современными требованиями микроэлектроники;
знать и уметь использовать:
- основные теоретические положения химической термодинамики;
- методы термодинамического анализа химических и фазовых равновесий;
- теоретические положения курса при изучении основ технологии получения полупроводниковых материалов;
иметь навыки:
- в описании состава, структуры и свойств простых и сложных полупроводниковых материалов;
- использования стандартных термодинамических функций в проведении расчетов типичных процессов и установлении критериев их протекания;
- использования Т-Х-диarpамм состояния для выбора условий синтеза, очистки и легирования полупроводниковых материалов.
СОДЕРЖАНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ
ВВЕДЕНИЕ
Физическая химия как теоретическая база развития современных технологических методов получения материалов, приборов и элементов
микроэлектроники с заданными свойствами.
Раздел 1. КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ ВЕЩЕСТВА. ОСОБЕННОСТИ СТРУКТУРЫ И СВОЙСТВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
Характеристика ближнего и дальнего порядка. Кристаллическое состояние и его характерные особенности, явление изо- и полиморфизма. Мезоморфные фазы. Термодинамическая устойчивость фаз. Современные представления о характере химической связи в твердых фазах.
Ионные, металлические и ковалентные кристаллы. Основные типы их структур. Полупроводниковые кристаллы. Особенности химической связи и структуры в элементарных и сложных полупроводниках. Правила Юм-Розери и Музера-Пирсона. Критерии полупроводимости. Химическая связь в структурах типа алмаза, сфалерита и вюрцита. Взаимосвязь между составом, структурой и свойствами фаз.
Точечные и протяженные дефекты в простых полупроводниках и фазах переменного состава. Химическое травление полупроводников, определение плотности дислокаций.
Раздел 2. ТЕРМОДИНАМИКА ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
Термодинамические системы, параметры, процессы и их классификация.
Первое начало термодинамики. Внутренняя энергия и энтальпия системы. Стандартные энтальпии образования веществ. Расчет тепловых эффектов
химических процессов и фазовых переходов при стандартных условиях и заданной температуре. Закон и уравнение Кирхгоффа.
Второе начало термодинамики. Энтропия и термодинамическая вероятность системы. Изменение энтропии в термодинамических процессах. Энтропия как критерий равновесия и протекания процессов в изолированной системе.
Характеристические функции. Термодинамические потенциалы. Критерии направленности процессов и условия равновесия в закрытых системах. Уравнение Гиббса-Гельмгольца.
Открытые термодинамические системы. Фундаментальные уравнения состояния. Химический потенциал. Термодинамические условия протекания процессов в открытых системах.
Тепловая теорема Нернста. Третье начало термодинамики.
Задачи и возможности химической термодинамики в технологических процессах получения материалов и структур микроэлектроники. Термодинамическая совместимость материалов.
Раздел 3. ТЕРМОДИНАМИКА ПОВЕРХНОСТНЫХ ЯВЛЕНИЙ
Особенности состояния поверхности на границе раздела фаз.
Поверхностное натяжение, свободная и полная энергии поверхности, уравнение Гиббса-Гельмгольца.
Адсорбция на поверхности твердых тел. Молекулярная адсорбция, хемосорбция, десорбция. Изотерма адсорбции Лэнгмюра.
Влияние адсорбции паров воды и газов на электрофизические характеристики приборов.
Раздел 4. КИНЕТИКА ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
Кинетика гомогенных и гетерогенных процессов. Термодинамический вывод закона действующих масс. Константа скорости. Уравнение Аррениуса,
энергия активации процесса. .
Кинетические и термодинамические условия наступления и сохранения химического и фазового равновесия. Константа равновесия. Уравнения изотермы, изохоры и изобары химической реакции.
Гетерогенные процессы и их многостадийность. Процессы с диффузионным и кинетическим контролем в микроэлектронике.
Раздел 5. ФАЗОВЫЕ ПЕРЕХОДЫ И РАВНОВЕСИЯ. ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ
Термодинамические условия фазовых переходов и равновесий. Фазовые переходы l-го рода. Уравнение Нернста-Шилова, коэффициент распределения и сегрегации. Правило фаз Гиббса. Физико-химический анализ, диаграммы состояния. Р- Т -диаграммы состояния однокомпонентных систем и их анализ.
Термоанализ. Т-Х-диаграммы состояния бинарных систем и их классификация. Диаграммы с неограниченной и ограниченной растворимостью компонентов в твердом состоянии. Диаграммы с эвтектическим и перитектическим превращениями, с химическими соединениями. Графический метод определения состава равновесных фаз. Правило рычага.
Особенности построения диаграмм состояния полупроводниковых систем. Р-Т-Х-диаграммы состояния бинарных систем и использование их для выбора условий получения, очистки и легирования полупроводниковых материалов.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Тенденции развития основных направлений и методов физической химии.
ПРИМЕРПЫЙ ПЕРЕЧЕНЬ ТЕМ ЛАБОРАТОРНЫХ РАБОТ
1. Определение интегральной теплоты, физико-химических процессов растворения.
2. Закон распределения Hepнста-Шилова. Определение коэффициента распределения.
3. Термографический анализ. Построение диаграмм плавкости бинарных систем.
4. Химическое травление полупроводников. Определение плотности дислокаций.
ПРИМЕРНЫЙ ПЕРЕЧЕНЬ ТЕМ ПРАКТИЧЕСКИХ ЗAНЯТИЙ
- Расчет изменения энтальпии химических реакций при стандартных условиях.
- Расчет тепловых эффектов процессов при заданной температуре.
- Расчет изменения энтропии и направленности процессов в изолированных системах.
4. Определение критериев протекания самопроизвольных процессов. Уравнения Гиббса-Гельмгольца.
5. Расчет энергии активации процесса, константы скорости.
- Химическое и фазовое равновесие. Определение константы равновесия. Уравнения изотермы, изобары и изохоры.
- Расчет фазовых равновесий в однокомпонентных системах.
- Расчет фазовых равновесий в бинарных системах. Правило рычага.
- Анализ диаграмм состояния полупроводниковых систем. Графическое определение коэффициента распределения.
ЛИТЕРАТУРА
ОСНОВНАЯ
- Стромберг А.Г. , Семченко Д.П. Физическая химия/под ред. А.Г. Стромберга. – М.: Высш. шк., 1999.
- Краткий курс физической химии/ Под ред. С.Н. Кондратьева. – М.: Высш. шк., 1978.
- Угай Я.А. Введение в химию полупроводников.- М.: Высш.шк., 1989.
- Краткий справочник физико-химических величин/ Под ред. А.А. Равделя и А.М. Пономаревой.- Л.: Химия,1983.
ДОПОЛНИТЕЛЬНАЯ
1. Физическая химия. В 2-х кн. /Под ред. К.С. Краснова. - М.:Высш. шк.,
1995.
2. Глазов В.М. Основы физической химии. - М.: Высш. шк, 1981.
3. Угай Я.А. Неорганическая химия. - М.: Высш. тк., 1989.
4. Ормонт Б.Ф. Введение в физическую химию и кристаллохимию
полупроводников. - М.: Высш.шк., 1973.
5. Даниэльс Ф., Олберти Р. Физическая химия. - М.: Мир, 1978.
Утверждена
Министерством образования
Республики Беларусь
« 24 »июня 2001 г.
Регистрационный № ТД -170 I тип
ВЫЧИСЛИТЕЛЬНАЯ МАТЕМАТИКА
УЧЕБНАЯ ПРОГРАММА ДЛЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ ПО СПЕЦИАЛЬНОСТИ 41 01 02 <<МИКPОЭЛЕКТРОНИКА»
Составители:
А.К. Сииицын - заведующий кафедрой вычислительных методов и программирования Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники, доктор физико-математических наук, профессор.
Рецензеиты:
Кафедра вычислительной математики Белорусского государственного университета (протокол № 3 от 31 октября 2000 г.);
А.И. Шакирин - доцент кафедры информационных процессов и технологий Белорусского аграрно-технического университета, доктор физико-математических наук.
Рекомендована к утверждению в качестве типовой:
Кафедрой вычислительных методов и программирования Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники (протокол № 2 от 30 октября 2000 г.);
Советом Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники (протокол № 4 от 23 октября 2000 г.)
Согласована с:
Учебно-методическим объединением вузов Республики Беларусь по образованию в области электрорадиотехники и информатики;
Главным управлением высшего и среднего специального образования; Центром методического обеспечения учебно-воспитательного процесса Республиканского института высшей школы БГУ.
ПОЯСНИТЕЛЪНАЯЗАПИСКА
Типовая программа «Вычислительная математика» по специальности 41 01 02 «Микроэлектроника» разработана для студентов технических высших учебных заведений.
Целью изучения дисциплины является освоение основных алгоритмов вычислительной математики, ознакомление с основными постановками задач математической физики, изучение современных методов их решения, получение практических навыков алгоритмизации, программирования и расчета на ЭВМ типовых задач микроэлектроники.
МЕСТО КУРСА В ПОДГОТОВКЕ СПЕЦИАЛИСТА
Подготовка специалиста по специальности «Микроэлектроника» требует уверенного владения возможностями, предоставляемыми компьютерными технологиями. Решение сложных технологических задач, приводит к необходимости моделирования и оптимизации на ЭВМ процессов тепло- и массообмена, решение задач электростатики, расчета атомной структуры кристалла с целью определения свойств материалов. Математическим описанием этих задач служат задачи для уравнений математической физики: дифференциальные уравнения в частных производных эллиптического,
параболического типов и классические постановки задач для этих уравнений
краевые задачи, задачи с начальным условием, задачи нахождения собственных значений. В настоящее время имеется большое число стандартных пакетов программ для моделирования многих технологических задач, на основе вычислительных методов решения вышеуказанных задач математической физики. Для уверенного владения такими пакетами и умения адаптировать их к решению возникающих задач специалисту необходимо знать, что заложено в их основе.
В настоящем курсе наряду с основными методами численного анализа изучаются современные методы вычислительной математики решения задач микроэлектроники: уравнения теплопроводности, нахождения собственных значений, оптимизации функций многих переменных.
Программа составлена в соответствии с требованиями образовательных стандартов и рассчитана на объем 50 учебных часов. Примерное распределение учебных часов по видам занятий: лекций - 32 часа, лабораторных работ - 18.
В результате изучения дисциплины студенты должны:
-освоить наиболее эффективные и часто используемые на практике методы численного анализа;
-знать основные постановки задач для уравнений математической физики и современные численные методы их решения;
-уметь выполнять алгоритмизацию и программирование решения уравнения типа теплопроводности;
-уметь выполнять алгоритмизацию и программирование методов оптимизации функции многих переменных.
СОДЕРЖАНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ
Раздел 1. ОСНОВЫ ЧИСЛЕННЫХ МЕТОДОВ
Тема 1. ЧТО ТАКОЕ ЧИСЛЕННЫЕ МЕТОДЫ (ВВЕДЕНИЕ)
Тема 2. ЗАДАЧИ ЛИНЕЙНОЙ AЛГЕБРЫ
Решение систем линейных алгебраических уравнений, метод простой
итерации, метод Зейделя, метод Гаусса, метод прогонки.
Тема 3. АППРОКСИМАЦИЯ ФУНКЦИЙ
Интерполяция, среднеквадратичное приближение. Метод наименьших
квадратов, сплайны.
Тема 4. ЧИСЛЕННОЕ ДИФФЕРЕНЦИРОВАНИЕ И ИНТЕГРИРОВАНИЕ
Простейшие формулы численного дифференцирования. Квадратурные
формулы средних, трапеций, Симпсона, Гаусса.
Тема 5. РЕШЕНИЕ НЕЛИНЕЙНЫХ УРАВНЕНИЙ
Методы дихотомии, простой итерации, Ньютона, Вегстейна, парабол.
Тема 6. НАХОЖДЕНИЕ МИНИМУМА ФУНКЦИИ ОДНОЙ ПЕРЕМЕННОЙ
Методы дихотомии, золотого сечения, последовательного перебора,
парабол.
Тема 7. РЕШЕНИЕ ОБЫКНОВЕННЫХ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ УРАВНЕНИЙ
Решение задачи Коши. Методы Эйлера, неявная схема 2-го порядка, Рунге-Кутта, Адамса. Решение краевой задачи. Метод стрельбы, метод прогонки.
Раздел 2.ЧИСЛЕННЫЕ МЕТОДЫ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ МИКPОЭЛЕКТРОНИКИ
Тема 8. ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫЕ УРАВНЕНИЯ В ЧАСТНЫХ ПРОИЗВОДНЫХ
Классификация уравнений. Постановка задач для уравнений в частных производных. Примеры точных и приближенных решений, метод разделения переменных.
Тема 9. МЕТОД СЕТОК ДЛЯ РЕШЕIШЯ УРАВНЕНИй В ЧАСТНЫХ ПРОИЗВОДНЫХ
Построение конечноразностных схем. Понятие аппроксимации и
устойчивости. Основные теоремы.
Тема 10. РЕШЕНИЕ УРАВНЕНИЯ ТИПА ТЕПЛОПРОВОДНОСТИ И ДИФФУЗИИ
Вывод уравнения и физические постановки задач. Понятие метода подобия, приведение задачи к безразмерному виду
Тема 11. РЕШЕНИЕ ОДНОМЕРНОГ О IlAPАБОЛИЧЕСКОГО УРАВНЕНИЯ
Построение однородных конечно-разностных схем для решения одномерного параболического уравнения с разрывными коэффициентами. Анализ аппроксимации и устойчивости. Алгоритмическая реализация явной и неявной схем решения одномерного парболического уравнения.
Тема 12. ПОСТРОЕНИЕ ДВУХМЕРНОГО IlAPАБОЛИЧЕСКОГО УРАВНЕНИЯ
Построение однородных конечно-разностных схем для двухмерного параболического уравнения. Явная и неявная схемы. Метод переменных направлений. Алгоритмическая реализация метода переменных направлений.
Тема 13. РЕШЕНИЕ ДВУХМЕРНОГО УРАВНЕНИЯ ПУАССОНА
Построение краевой задачи для двухмерного уравнения Пуассона. Построение конечно-разностных схем. Методы установления и релаксации, их алгоритмическая реализация.
Тема 14. ПРОЕКЦИОННЫЙ МЕТОДЫ РЕШЕНИЯ КРАЕВЫХ ЗАДАЧ
Понятие проекционного метода. Метод Галеркина. Примеры решения одномерной, двухмерной и трехмерной задач.
Тема 15. ПРОЕКЦИОННО-СЕТОЧНЫЙ МЕТОД
Понятие финитной функции. Получение конечно-разностных схем на
основе проекционных методов и финитных функций.
Тема 16. НАХОЖДЕНИЕ СОБСТВЕННЫХ ЗНАЧЕНИЙ
Постановка задач нахождения собственных значений и собственных функций для дифференциальных уравнений. Классификация методов. Сведение задачи нахождения собственных значений для дифференциальных уравнений к решению алгебраической проблемы.
Тема 17. НАХОЖДЕНИЕ СОБСТВЕННЫХ ЗНАЧЕНИЙ КВАДРАТНОЙ
МАТРИЦЫ
Классификация методов. Итерационные алгоритмы: Якоби, АР, QR, LP.
Тема 18. ПОСТАНОВКИ ЗАДАЧ ОПТИМИЗАЦИИ, ИХ КЛАССИФИКАЦИЯ
Условный, безусловный минимум, вариационные задачи. Методы минимизации функции n-переменных. Классификация алгоритмов. Решение задачи оптимизации.
ПРИМЕРНЫЙ ПЕРЕЧЕНЬ ЛАБОРАТОРНЫХ РАБОТ
Раздел 1. ОСНОВЫ ЧИСЛЕННЫХ МЕТОДОВ
29
1. Составление и отладка программ реализации алгоритмов решения систем линейных алгебраических уравнений. Алгоритмы метода Гаусса, прогонки, квадратного корня, простой итерации, Зейделя.
2. Составление и отладка программ по методам аппроксимации функций.
Алгоритмы интерполяции и метода наименьших квадратов.
3. Составление и отладка программ по формулам численного дифференцирования и интегрирования. Алгоритмы методов средних, трапеций, Симпсона, Гаусса.
4. Составление и отладка программ по методам решения нелинейных уравнений. Алгоритмы дихотомии, простой итерации, Ньютона, секущих,
Вегстейна, квадратичной параболы.
5. Составление программ нахождения минимума функции одной переменной.
Алгоритмы методов золотого сечения, последовательного спуска,
квадратичной и кубической параболы.
6. Составление и отладка программ по методам решения дифференциальных
уравнений. Алгоритмы методов Эйлера, Рунге-Кутта, Адамса.
Раздел 2. ЧИСЛЕННЫЕ МЕТОДЫ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
1. Решение краевой задачи для одномерного уравнения теплопроводности
методом сеток.
2.. Решение нестационарного одномерного уравнения теплопроводности,
используя явную и неявную конечно-разностные схемы.
3. Решение краевой задачи для двухмерного уравнения Пуассона методом
итераций с использованием релаксации.
4. Решение одномерной краевой задачи для уравнения теплопроводности
методом Галеркина.
5. Решение двухмерной краевой задачи методом конечных треугольных
элементов. 6. Нахождение собственных значений матрицы. 7. Нахождение минимума функции многих переменных.
ЛИТЕРАТУРА
ОСНОВНАЯ
1. Калиткин Н.Н. Численные Методы. - М.: Наука, 1978.
2. Крылов В.И., Бобков В.В., Монастырный П.И.. Вычислительные методы.
T.l,2. - М.: Наука, 1976, 1977.
3. Крылов В.И., Бобков В.В., Монастырный П.И. Начала теории вычислительных методов. Уравнения в частных производных. - Мн.: Наука и техника, 1986.
4. Волков Е.А Численные методы. - М.: Наука, 1982.
5. Самарский А.А Введение в численные методы. - М.: Наука, 1982.
6. Марчук Г.И., Агошков В.И. Введение в проекционно-сеточные методы. - М.: Наука, 1981.
7. Банди Б. Методы оптимизации. - М.: Радио и связь, 1988. 1. Калиткин Н.Н.. Численные Методы. - М.: Наука, 1978.
ДОПОЛНИТЕЛЬНАЯ
1. Марчук Г.И. Методы вычислительной математики. - М.: Наука, 1980.
2. Васильев Ф.Н Численные методы решения экстремальных задач. - М.:
Наука, 1980.
3. Бахвалов Н.С. Численные методы. - М.: Наука, 1975.
4. Березин И.С., Жидков НЛ. Методы вычислений. Т.1,2. - М.: Физматгиз;
1962, 1970.
5. Синицын АК, Навроцкий АА. Практикум по курсу «Алгоритмы вычислительной математики». - Мн.: БГУИР, 2002.
Утверждена
Министерством образования
Республики Беларусь
« 24 » июня 2001 г.
Регистрационный № ТД -171 / тип
СТАТИСТИЧЕСКАЯ ФИЗИКА И КВАНТОВАЯ МЕХАНИКА
УЧЕБНАЯ ПРОГРАММА ДЛЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ
ПО СПЕЦИАЛЬНОСТИ 41 01 02 <<МИКРОЭЛЕКТРОНИКА»
Составитель:
И.И. Абрамов - профессор кафедры микроэлектроники Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники, доктор физико-математических наук.
Рецензенты:
Кафедра энергофизики Белорусского государственного университета (протокол № 9 от 27 июня 2000 г.);
Н.А. Поклонский - доцент Белорусского государственного университета, кандидат физико-математических наук
Рекомендована к yтверждению в качестве типовой:
Кафедрой микроэлектроники Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники (протокол № 2 от 30 сентября 2000 г.); Советом Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники (протокол № 4 от 23 ноября 2000 г.).
Согласована с:
Учебно-методическим объединением вузов Республики Беларусь по образованию в области электрорадиотехники и информатики;
Главным управлением высшего и среднего специального образования; Центром методического обеспечения учебно-воспитательного процесса Республиканского института высшей школы БГУ.