Технические характеристики: камера должна обеспечивать загрузку и работу с пластинами диаметром до 100 мм

2.1.1.2. Модуль №2 - Модуль сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) с возможностью смены СЗМ, сканеров и держателей зонда, с системой визуального контроля (оптический видеомикроскоп).

Технические характеристики: разрешающая способность СЗМ до 10⁷линий на мм. Моды работы СЗМ: контактные и безконтактные для измерения топографии, мода динамических сил, магнитной восприимчивости, оптических свойств, СТМ; спектроскопии СТС; СТМ&АCМ четырехпроходная методика, латеральная АСМ мода; резонансная мода; измерение фазы; псевдофазовые моды, магнитно-силовая и электростатическая моды; емкостная мода, токи растекания; адгезионная мода; зондовая спектроскопия

2.1.1.3. Модуль №3 - Модуль подготовки - камера предварительной очистки пластин с системой инфракрасного нагрева и подготовки пластин и зондов в условиях сверхвысокого вакуума с индивидуальной системой откачки.

Технические характеристики: обеспечение прогрева пластин до 200 С и вакуум до 10^-7Па, после прогрева 10^-9Па.

2.1.1.4. Модуль №4 - Модуль молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) - камера роста методом молекулярно-лучевой эпитаксии или химической пучковой эпитаксии (ХПЭ) с индивидуальной откачкой высокой производительности на базе магниторазрядных, титановых сублимационных и турбомолекулярных насосов.

Технические характеристики: вакуум в камере до 10^-9Па, нагрев пластин до 1100 С с контролируемой точностью до 0,5 С.

2.1.1.5. Модуль №5 - Модуль FIB - камера ионного литографа (FIB) для модификации поверхности исследуемых объектов.

Технические характеристики: ионные токи до 100 мкА энергии пучков до 10000 эВ, диаметр пучка на поверхности пластины менее 10 нм.

2.1.1.6. Модуль №6 - UHV-Система, объединяющая все камеры НТК с возможностью прогрева отдельных камер и транспортной системы с использованием криопанелей.

Технические характеристики: время откачки до 10^-7Па в соответствии с параметрами вакуумной системы модулей.

2.1.1.7. Транспортная система (единая сверхвысоковакуумная) с манипуляторами, имеющая возможность свободного конфигурирования под технологические требования заказчика.

2.1.2. Технические характеристики НТК

Моды работы НТК	1.СТМ и АСМ 2.Предварительная сверхвысоковакуумная очистка поверхности образцов и зондов СЗМ; 3.Молекулярно-лучевая эпитаксия 4.Литография фокусированными ионными пучками(FIB)
Минимальный размер фрагментов ИС	До 10 нм
Производительность НТК	не менее 500 чипов/месяц

2.2. НТК должен обеспечивать контролируемое методами СЗМ нанесение металлических, полупроводниковых, диэлектрических пленок на пластины с контролируемой толщиной от 0,2-0,5 нм, экспонирование пучками заряженных частиц дорожек шириной не более 10 нм. Разрабатываемые новые технологические процессы должны обеспечивать размеры фрагментов ИС не более 10 нм.

2.3. Научно-технический задел по теме проекта должен быть патентно-чистым и защищен патентами, действующими на территории России и стран конкурентов.

2.4. Основные перечисленные в п.3. технологии должны быть пригодны для последующей коммерциализации.

2.5. Аппаратная часть поставляемой продукции (за исключением стандартной компьютерной и оргтехники) и программное обеспечение должны отвечать требованиям мирового рынка к данному типу продукции и способствовать развитию отечественного производства. Использование элементной базы импортного производства допускается только в случае отсутствия отечественных аналогов соответствующего качества.

2.6. В проекте должно быть предусмотрено привлечение к работам профильных учебных кафедр ВУЗов (факультетов) физического, химического, биологического профиля, а также развитие их приборной базы. Предусмотрено развитие существующих учебно-образовательных центров, обеспечивающих интеграцию научной и образовательной деятельности и подготовку кадров по профилю проекта.

2.7. К реализации проекта должны быть привлечены в том числе молодые специалисты в возрасте до 35 лет, аспиранты и студенты профильных ВУЗов, научных организаций, инновационных компаний. Их число должно быть не менее 20% задействованных в проекте исследователей.

2.8. Созданные технологические и диагностические разработки и продукция на их основе должны быть ориентированы на широкое применение в научно-исследовательских организациях и промышленности, обеспечивать повышение качества продукции, в том числе и двойного применения. Они должны обеспечить создание новейших наноматериалов и наносистем, нанодиагностики, конкурентоспособных на мировом рынке.

3. Содержание основных работ по проекту

3.2. Разработка технологических маршрутов и реализация технологических процессов создания активных элементов наноэлектроники из ряда ниже перечисленных: нановаристоров, нанотранзисторов, ИС логических ключей, сенсоров летучих соединений, ИС на базе эффекта Джозефсона, сверхскоростные полупроводниковые ИС. Разработка комплектов сопутствующей технологической документации.

3.3 Разработка аналитических методов исследования получаемых наноструктур.

3.4. Проведение мероприятий в рамках комплексного проекта по развитию приборных баз научных организаций и ВУЗов - участников комплексного проекта.

3.5. Реализация многоуровневой программы подготовки кадров в области нанотехнологии, включая подготовку и переподготовку специалистов, защиту диссертаций.

3.6. Обеспечение правовой охраны результатов научно-технической деятельности и объектов интеллектуальной собственности.

3.7. Проведение маркетинга рынка как с целью продаж комплекса, в особенности за рубежом, так и с целью выбора оптимальной для настоящего времени номенклатуры интегральных схем, обеспечивающий с одной стороны гарантированный сбыт произведенной продукции, а с другой – оптимальную загрузку комплекса

Достижение значений индикаторов по мероприятиям Программы

4. Лимит бюджетного финансирования: всего – 96,0 млн. рублей, в том числе на 2005 год – 46,0 млн. рублей.

Ориентировочная разбивка лимита бюджетного финансирования по мероприятиям Программы, утвержденной постановлением Правительства Российской Федерации № 540 от 12.10.04 г. (Приложение 1 к Программе), млн. руб
Номер мероприятия Программы в соответствии с перечнем программных мероприятий	1.7.	1.9.	1.10.	2.2.	2.3.	2.10.	Итого:
2005 г.	10,0	3,0	1,5	30,0	0,75	0,75	46,0
2006 г.	14,0	3,0	1,5	30,0	0,75	0,75	50,0

5. Объем средств из внебюджетных источников: всего - 30 млн. рублей, в том числе на 2005 год – 12 млн. рублей.

6. Сроки выполнения: 2005-2006 годы.

ЛОТ 2.

ИН-КП.3/001. Разработка технологий получения новых функциональных градиентных материалов, в том числе алмазосодержащих и дисперсно-упрочненных наночастицами, и освоение их производства

1. Цель выполнения проекта

Реализация совокупности взаимосвязанных проектов и мероприятий (опытно-конструкторские, технологические и экспериментальные разработки с участием молодых ученых, аспирантов и студентов; мероприятия по развитию приборной базы) с целью разработки и освоения прогрессивных технологий и оборудования по выпуску алмазного инструмента для стройиндустрии и камнеобработки; катодов-мишеней для технологий инженерии поверхности, а также изделий из керамики с улучшенными эксплуатационными характеристиками (прочности, твердости, трещиностойкости, жаростойкости, огнеупорности, термостойкости, износостойкости материалов, снижению коэффициента трения в зоне резания и парах трения) на базе функциональных градиентных материалов (ФГМ) – композиций с переменной по объему структурой, контролируемым профилем распределения одного или нескольких элементов (или фаз) и имеющих уникальные характеристики, не присущие однородным материалам.

2. Основные требования к результатам проекта

2.1. Технические требования

Основным результатом проекта должно быть промышленное производство, обеспечивающее выпуск следующей импортозамещающей и экспортно пригодной продукции на основе новых ФГМ:

2.1.1 Алмазный режущий инструмент для стройиндустрии и камнеобработки, включая отрезные сегментные круги (АОСК) различной конструкции и канаты для резки железобетона и асфальта, применяемые при реконструкции шоссейных дорог, взлётно-посадочных полос аэродромов, реновации металлургических предприятий, АЭС, мостов и других сооружений; свёрла для резки монолитного железобетона; диски и канаты для карьерной добычи натурального камня и крупно-серийного производства облицовочных материалов.

Параметры сплавов связок и алмазных конфигураций режущих элементов должны иметь следующие значения:

твердость 90 … 110 HRB;

плотность 8 … 12 г/см³;

остаточная пористость менее 2%;

концентрация алмазов 15 … 40 об. %.

Удельные служебные характеристики инструмента по бетону:

для АОСК: удельный ресурс 0,10 ± 20 м² на 1 мм высоты сегмента;

производительность 300 ± 10 см² в мин;

для сверл: удельный ресурс 3,5 ± 0,7 м проходки на 1 мм высоты сегмента;

производительность 2 ± 0,3 см в минуту;

для канатов: удельный ресурс 4 ± 1 м² реза на погонный метр каната;

производительность 2 ± 0,6 м² в час.

2.1.2 Катоды-мишени для магнетронного напыления износостойких, коррозионно-стойких, жаростойких, резистивных, биосовместимых покрытий со следующими параметрами:

остаточная пористость - менее 3%;

содержание примесей - менее 2 атомных %;

термостойкость - более 200 циклов распыления;

размеры: дисковые диаметром более 100 мм,

планарные с минимальной стороной 127 мм,

толщина – не менее 5 мм.

2.1.3 Керамические тигли различного сортамента для центробежного литья прецизионных сплавов со следующими параметрами:

огнеупорность - не менее 1800 ⁰С;

термостойкость - не менее 8 водяных термоциклов по ГОСТ 7875-83;

предел прочности на сжатие - не менее 100 МПа;

несмачиваемость шлаковыми расплавами до 1700 ⁰С.

2.1.4 Конкурентоспособность с продукцией ведущих зарубежных фирм должна быть достигнута за счет реализации направленной модификации алмазного зерна, дисперсного упрочнения связки и формирования градиентной многослойной структуры алмазоносного слоя инструмента (15…20 % рост потребительских свойств), а также переходом к более дешевым бескобальтовым связкам из сплавов на основе железа (8-12% снижения издержек производства).

2.2. Экономические требования

2.2.1 Разрабатываемые технологии и оборудование должны иметь лучшие экономические показатели по сравнению с аналогами ведущих мировых производителей по критериям цена/ресурс и цена/производительность и занять лидирующие позиции среди российских производителей алмазного инструмента, катодов-мишеней и изделий из керамики.

2.2.2 К концу 2006 года должно быть освоено:

- производство алмазного режущего инструмента, которое должно обеспечить текущие потребности строительного комплекса РФ не менее чем на 15% от всего годового потребления (600-800 тысяч каратов алмаза в изготовленном инструменте: 300-400 тысяч алмазосодержащих сегментов для отрезных кругов и сверл и 3-4 км каната) на сумму 150-180 млн. рублей в ценах 2004 года, а также экспорт в страны СНГ и дальнее зарубежье;

- производство катодов-мишеней, которое должно обеспечить не менее чем на 10 % текущие годовые потребности российских производителей функциональных покрытий, (250-300 мишеней на сумму 2-3 млн. рублей в ценах 2004 года), а также экспорт в страны СНГ и дальнее зарубежье;

- производство керамических тиглей, которое должно обеспечить текущие потребности российских производителей прецизионных стоматологических сплавов не менее чем на 60% от годового потребления (20–25 тысяч тиглей на сумму не менее 5 млн. рублей в ценах 2004 года), а также экспорт в страны СНГ и дальнее зарубежье.

2.3. Научно-практические результаты работы должны быть патентно-чистыми и, при необходимости, защищены патентами Российской Федерации и стран – потенциальных потребителей.

2.4 В проекте должно быть предусмотрено привлечение к работам профильных учебных кафедр (факультетов) ВУЗов и ведущих научных школ, специализирующихся в области разработки и синтеза функционально-градиентных материалов и покрытий, порошковой металлургии, физического материаловедения, инженерии поверхности, а также развитие их приборной базы.

2.5. К реализации проекта должны быть привлечены молодые ученые (в возрасте до 30 лет), аспиранты и студенты, их число должно быть не менее 15% задействованных в проекте исследователей.

2.6. В процессе выполнения проекта должны быть достигнуты заданные значения индикаторов Программы, относящиеся к реализуемым мероприятиям Программы.

3. Содержание основных работ

3.1. Разработка технологии и оборудования для:

синтеза нанодисперсных порошков тугоплавких соединений и композиций с контролируемыми удельной поверхностью и морфологией частиц;

производства новых составов градиентных алмазосодержащих материалов, катодов-мишеней и огнеупорной керамики.

3.3. Постановка серийного производства.

3.4. Сертификация продукции, постановка маркетинга и сбыта.

3.5. Продажи лицензий и ноу-хау.

3.6. Обеспечение правовой охраны результатов научно-технической деятельности и объектов интеллектуальной собственности.

4. Лимит бюджетного финансирования: всего - 80,0 млн. рублей, в том числе на 2005 год – 40,0 млн. рублей.

Ориентировочная разбивка лимита бюджетного финансирования по мероприятиям Программы, утвержденной постановлением Правительства Российской Федерации № 540 от 12.10.04 г. (Приложение 1 к Программе), млн. руб
Номер мероприятия Программы в соответствии с перечнем программных мероприятий	1.7.	1.9.	1.10.	2.2.	2.3.	2.10	Итого:
2005 г.	18,1	9,0	2,4	10,0	0,25	0,25	40,0
2006 г.	18,1	9,0	2,4	10,0	0,25	0,25	40,0

5. Объем средств из внебюджетных источников: всего - 34 млн. рублей, в том числе на 2005 год – 17 млн. рублей.

5. Сроки выполнения: 2005-2006 годы.

ЛОТ 3.

ИН-КП.5/001. Разработка технологии и создание оборудования для производства керамических и композиционных покрытий.

1. Цель проекта

Проведение комплекса технологических, экспериментальных и опытно-конструкторских разработок с целью создания и внедрения наукоемких экономически-эффективных технологий получения нового поколения

керамических и

металлокерамических покрытий,

поликерамических,

ситалловых композиционных материалов и

термостойких тонкопленочных покрытий на основе керамообразующих полимеров,

отличающихся повышенными рабочими температурами на 300-600С по сравнению с существующим уровнем, высокими удельными и теплопрочностными характеристиками для использования их в теплонагруженных узлах и деталях перспективной техники, наземных, энергетических, нефте-, газоперекачивающих, транспортных системах и новых областях машиностроения с обеспечением технологического перевооружения и повышения конкурентоспособности отечественной продукции на мировом рынке.

2. Основные требования к результатам темы

2.1. Технические требования

2.1.1. Новые технологии должны обеспечить:

а) разработку, внедрение в производство и использование в

наземных, энергетических, нефте-, газоперекачивающих, транспортных системах и новых областях общего и специального машиностроения

новых уникальных сверхвысокотемпературных антиокислительных (ресурсных) поликерамических гетерогенных покрытий (создание и защита теплонагруженных узлов и деталей перспективной техники из углеродкерамических и керамических композиционных материалов) с:

рабочей температурой до 1650 … 1800 ^оС,

коэффициентом излучательной способности более 0,86 отн. ед.

и ситалловых композиционных материалов – КМ

на рабочие температуры 1300 … 1500 ^оС,

плотностью менее 3,5 г/см³, ударной вязкостью не менее 30 кдж/м²,

теплопроводностью не более 25 Вт/м·К,

термостойких тонкопленочных покрытий высокой чистоты и химической однородности с:

малым размером структурных элементов (от 0,003 до 0,1мкм) из керамообразующих полимеров и коллоидных растворов SiО_2.

б) самозалечивания, «золь-гель» технологии, реакционного спекания, горячего прессования, саморегулирования жизнеспособности и функциональных свойств покрытия:

температуроустойчивость до 1200 … 1400С,

термостойкость 50 … 100 теплосмен по режиму 20 – 1400 – 20С,

прочностные характеристики (σ_изг-100 …150 МПа) при γ до 2 г/см³,

снижение в 2-3 раза массы деталей узлов и деталей машин, традиционно изготавливаемых из металлических сплавов и работающих в области высоких рабочих температур и других агрессивных средах,

снижение потребности в дорогостоящих материалах входящих в жаропрочные металлические сплавы, термостойких тонкопленочных покрытий;

в) создание нового поколения комбинированных металлокерамических систем покрытий на рабочие температуры до 1100 ^оС в течение до 500 ч, позволяющих:

повысить в 2 … 3 раза ресурс ответственных деталей узлов и деталей машин, работающих в области высоких рабочих температур и других агрессивных средах,

снизить на 15 … 20% потребность в дорогостоящих материалах путем их замены на более дешевые аналоги с защитными покрытиями,

уменьшить материальные затраты на производство металлокерамических покрытий по сравнению с зарубежными аналогами за счет использования новых эффективных решений, основанных на последних достижениях в области ионно-плазменных технологий и химического газофазного синтеза материалов;

уменьшить скорость роста до 2*10-3 мкм/ч защитной оксидной пленки, вместо 10 …2 мкм/ч у существующих, обеспечить повышенный уровень адгезионной и когезионной прочности керамического слоя и его сцепления с металлическим субстратом;

г) создание опытно-промышленного оборудования для получения композиционных покрытий в условиях производства на основе результатов исследований и оптимизация параметров процессов их формирования из плазменной и паровой фазы и др. перспективных технологических процессов.

2.1.2. Новые технологии должны быть основаны на едином научно-техническом заделе в области:

создания высокотемпературных неметаллических материалов и покрытий;

обработки поверхности твердого тела в плазме вакуумного дугового разряда;

универсальной ионно-плазменной технологии обработки поверхности ионами металлов и осаждения металлических и металлокерамических слоев для нанесения многослойных покрытий;

технологии плазмохимического синтеза соединений металлов на поверхности конструкционных сталей и сплавов,

2.1.3. Методы использования технологий и создаваемое оборудование должны быть унифицированными в различных областях техники и ориентированы на использование отечественной сырьевой базы.

2.1.4. Технологическая и исследовательская базы должны быть оснащены современным отечественным (за исключением стандартной компьютерной, вычислительной и оргтехники) и импортным (не имеющем отечественных аналогов) оборудованием и приборами для исследования физико-механических, структурных и др. свойств материалов. В части металлокерамических покрытий – работа должна быть выполнена на отечественных установках ионно-плазменного напыления, а также опытной установке газо-фазного осаждения керамики.

2.2. Экономические показатели

Разработанные технологии и продукция на их основе должны быть ориентированы на массовое применение в наземных, энергетических, нефте-, газоперекачивающих, транспортных системах, в новых областях общего и специального машиностроения и др. отраслях промышленности и быть конкурентоспособными на мировом рынке.

2.3. Научно-практические результаты работы должны быть патентно-чистыми и, при необходимости, защищены патентами Российской Федерации и стран – потенциальных потребителей.

2.4. В процессе выполнения проекта должны быть достигнуты заданные значения индикаторов Программы, относящиеся к реализуемым мероприятиям Программы.

3. Содержание основных работ по проекту

3.1. Разработка перспективных технологий создания многослойных керамических, комбинированных и тонкопленочных покрытий для защиты металлических и композиционных материалов, составов поликерамических и ситалловых нанокристаллических матриц, синтезируемых с использованием золь-гель технологии и метода направленной катализированной кристаллизации.

3.2. Разработка технологии получения многоуровневой системы защиты, композиционных материалов на основе гетерогенных систем с заданной структурой, исследование структурно-фазовых превращений и высокотемпературного поведения керамических покрытий для композиционных материалов, проведение комплекса исследований и оптимизации составов термостойких тонкопленочных покрытий.

3.3. Разработка технологии нанесения соединительных и керамических слоев комбинированных покрытий, которые должны обладать минимальной скоростью роста защитной оксидной пленки и улучшенной адгезией и когезионной прочностью сцепления керамического слоя с металлическим материалом.

3.4. Разработка автоматизированного технологического оборудования для получения комбинированных металлокерамических покрытий методами ионно-плазменного осаждения.

3.5. Разработка макета технологического оборудования для получения керамических покрытий методом газофазного химического осаждения и исследование теплофизических характеристик полученных керамических покрытий.

3.6. Защита прав интеллектуальной собственности.

3.7. Мероприятия в рамках комплексного проекта по развитию приборных баз научных организаций и вузов – участников комплексного проекта. Закупаемое оборудование (за исключение стандартной компьютерной и оргтехники) должно быть отечественного производства. Использование импортного оборудования допускается лишь в случае соответствия отечественных аналогов (лимит бюджетного финансирования мероприятий по развития приборной базы в рамках проекта должен быть не более 15%).

3.8. К реализации проекта должны быть привлечены молодые специалисты в возрасте до 35 лет (доктора и кандидаты наук), их число должно быть не менее 20% задействованных в проекте исследователей.

3.9. В проекте должно быть предусмотрено привлечение к работам аспирантов и студентов (не менее 30 и 15, соответственно).

4. Лимит бюджетного финансирования: всего – 75,0 млн. рублей, в том числе на 2005 год – 30,0 млн. рублей.

Ориентировочная разбивка лимита бюджетного финансирования по мероприятиям Программы, утвержденной постановлением Правительства Российской Федерации № 540 от 12.10.04 г. (Приложение 1 к Программе), млн. руб
Номер мероприятия Программы в соответствии с перечнем программных мероприятий	1.3.	1.7.	1.9.	1.10	2.2	2.3.	2.10.	Итого:
2005 г.	5,0	8,0	5,0	1,5	10,0	0,25	0,25	30,0
2006 г.	5,2	18,0	5,3	1,5	14,5	0,25	0,25	45,0

5. Объем средств из внебюджетных источников: всего - 22,8 млн. рублей, в том числе на 2005 год – 10,5 млн. рублей.

6. Сроки выполнения: 2005-2006 годы

Blog

Технические характеристики: камера должна обеспечивать загрузку и работу с пластинами диаметром до 100 мм

Содержание

Технические характеристики: камера должна обеспечивать загрузку и работу с пластинами диаметром до 100 мм

6. Сроки выполнения: 2005-2006 годы.