Труктуры поверхности различных материалов, модифицированных ионно-плазменными методами, рассмотрено влияние параметров режима формирования на рельеф поверхности

Вид материала

Анализ

Подобный материал:

• Развивающаяся область модификации поверхности это нанокомпозиты на основе сверхтонких, 41.9kb.
• Основные принципы подготовки металлических поверхностей и нанесение систем антикоррозионного, 42.04kb.
• Диффузия атомов Sr по поверхности Si(111)-7×7: данные стм и моделирование, 17.25kb.
• Программ а 6-ой Всероссийской с международным участием научно-технической конференции, 125.51kb.
• Программ а 4-ой Всероссийской с международным участием научно-технической конференции, 119.57kb.
• Реферат По Физике, 58.66kb.
• Плоскости, касательные к поверхностям. Пересечение поверхностей, 57.52kb.
• Введение Основы теории коррозии, 479.15kb.
• Влияние структурных параметров оксида алюминия различной модификации на кислотно-основные, 348.51kb.
• Тв структуры и состава поверхности твёрдых тел стимулирует как развитие традиционных, 12.54kb.

С.Б. Нестеров, В.Н. Кеменов, О.С. Зилова

ФГУП «Научно-исследовательский институт им. С.А. Векшинского»


Анализ структуры поверхности материалов, модифицированных ионно-плазменными

методами


Проведен анализ структуры поверхности различных материалов, модифицированных ионно-плазменными методами, рассмотрено влияние параметров режима формирования на рельеф поверхности.


Обобщаются результаты исследований структуры поверхности материалов, подвергнутых ионно-плазменной модификации. Исследования проводились методами сканирующей зондовой микроскопии в рамках совместных работ с различными организациями. Изучались материалы самого различного назначения. Целью каждого проводимого исследования являлась количественная оценка изменений в состоянии поверхности относительно некоторого исходного состояния при проведении модификации для получения поверхности с новыми заданными потребительскими свойствами. В результате проводилась корреляция данных о рельефе поверхности с параметрами режима формирования и, по возможности, с функциональными характеристиками изделия. В работе проводилось изучение:

- тонкопленочных покрытий (на основе Ti, Al, Si, C и др.) на различных подложках (полимеры, металлы, стекло и т.д.), здесь рассматривались микроструктура поверхности, равномерность нанесения покрытия ионно-плазменными методами, определялись характеристики поверхности в зависимости от параметров формирования поверхности;

- полимерных поверхностей (ПЭТФ, ПТФЭ, ПИ, ПК, ПП и др.), обработанных ионными пучками, в том числе образцов после хранения в течение различного промежутка времени, здесь изучалось влияние на структуру поверхности материалов и получаемые характеристики режимов обработки и времени хранения (не для всех образцов).

В ходе проведенных исследований структуры поверхности материалов, подвергнутых ионно-плазменной обработке, была выработана методика контроля изменений в состоянии поверхности при ее модификации, проводимой с целью формирования структур с заданными свойствами.

Поскольку опыт работы на различном оборудовании (СЗМ) и с различными образцами показал, что для различных задач необходимо применение СЗМ с различными техническими характеристиками, то помимо получения и анализа топографии поверхности, изучался вопрос о влиянии на результаты исследования как самого оборудования (технические характеристики, режим сканирования), так и условий проведения исследований (пониженное или атмосферное давление, рабочая температура). Тестировались микроскопы ФемтоСкан, СММ-2000, «Лабораторная установка для исследований микропористости поверхности сорбентов и геттеров», микрозондовая приставка СТМ НТ 1.


Список литературы


1. Нестеров С.Б., Кеменов В.Н., Зилова О.С., Елинсон В.М., Лямин А.Н. // Материалы XII научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». Судак, Украина, 2005. С. 191-194.

2. Панфилов Ю.В., Самойлович М.И., Зилова О.С. // Микросистемная техника. 2004. № 11. С. 29-34.

3. Зилова О. С., Кеменов В.Н., Нестеров С. Б. // Нанотехника. Инженерный журнал. 2005. №2. С. 60-68.

4. Зилова О. С., Кеменов В.Н., Нестеров С. Б. // Материалы IX Международной научно-технической конференции «Высокие технологии в промышленности России». Москва, Россия, 2003. Т. 2. С. 199-204.

5. Нестеров С. Б., Зилова О. С., Елинсон В. М. // Доклады 5-й Международной конференции и выставки «Цифровая обработка сигналов и ее применение». Москва, Россия, 2003. Т. 2. С. 489-491.

6. Кеменов В.Н., Нестеров С.Б., Зилова О. С., Капустин Е.Н. // Proceedings of International Scientific and Technical Symposium “Functional coatings on glass”. Kharkov, 2003. P. 113-117.