Название дисциплины

Вид материала

Документы

Подобный материал:

• Образовательная программа 200100 Приборостроение (название образовательной программы), 39.72kb.
• Программа дисциплины [Введите название дисциплины] для направления/ специальности [код, 267.25kb.
• Программа дисциплины Управление в социальной сфере Для специальности 081100. 68 «Государственное, 199.64kb.
• -, 298.03kb.
• Аннотация рабочей программы учебной дисциплины политическая социология (название дисциплины), 174.5kb.
• Программа дисциплины [Введите название дисциплины] для направления/ специальности [код, 658.13kb.
• Программа дисциплины [Введите название дисциплины] для направления/ специальности [код, 791.83kb.
• Программа дисциплины [Введите название дисциплины] для направления/ специальности [код, 277.09kb.
• Программа дисциплины [Введите название дисциплины] для направления/ специальности [код, 367.92kb.
• Программа дисциплины [Введите название дисциплины] для направления/ специальности [код, 375.34kb.

Аннотация дисциплины

1. Название дисциплины: Физические основы микро- и наноэлектроники
   

Physic foundation of micro- and nanoelectronic

2. Семестр: 3
   

3. Общая трудоёмкость изучения дисциплины: 5 ЗЕТ, 180 часов
   

4. Предшествующие дисциплины, необходимые для изучения данной дисциплины:
   

Физика, Химия,

5. Последующие дисциплины, опирающиеся на данную дисциплину:
   

Физико-химические основы технологии электронных средств

Технология производства электронных средств

Результаты изучения дисциплины:


В результате изучения дисциплины студенты должны:

- знать основные положения физики твердого тела: методы создания объемных и поверхностных конфигураций и переноса изображения в субмикронной электронике; методы модификации поверхностных и объемных структур; физические основы метрологии, методов анализа и контроля параметров изделий в микро- и наноэлектронике;

- уметь выбирать соответствующие технологические процессы производства, методы измерения и контроля параметров изделий микро- и наноэлектроники; разбираться в физических принципах и моделях процессов, лежащих в основе современной микро- и нанотехнологии;

- владеть навыками: анализа соответствия имеющихся технологических возможностей и технических требований, анализа полученных результатов и правильной их оценки.

7. Разделы и темы дисциплины:
   

Тема 1. Введение

Тема 2. Энергетическая характеристика структуры твердого тела

Тема 3. Физические основы получения конденсированных структур

Тема 4. Физические основы методов формирования и модификации поверхностных и объемных структур

Тема 5. Физические основы метрологии и методов контроля в микро- и наноэлектронике

Тема 6. Физические основы наноэлектроники и нанотехнологии

7. Виды и объёмы учебной работы:
   

Лекции – 36 часов, лабораторные работы – 18 часов; практические занятия – 18 часов,

Форма контроля: экзамен

7. Ответственный за дисциплину: проф. Марголин В.И., каф. МИТ