Исследование ионного тока в тлеющем разряде в зависимости от расстояния между катодом и коллектором ионов
| Вид материала | Исследование |
- Программа курса лекций, 68.05kb.
- Правила устройства и безопасной эксплуатации лифтов пб 10-558-03 Москва пио обт 2003, 2482.1kb.
- Наносимые электрохимическими методами на поверхность детали в результате осаждения, 96.3kb.
- Xxix звенигородская конференция по физике плазмы и утс, 25 февраля 1 марта 2002, 20.94kb.
- Гальванизация ~ лечебное применение постоянного электрического тока, 1181.54kb.
- Гальванизация ~ лечебное применение постоянного электрического тока, 1236.93kb.
- Планирование методов определения кислотности почв, ионов натрия, сульфат ионов, хлорид, 67.09kb.
- Йствующие Правила устройства электроустановок (пуэ) достаточно четко регламентируют, 2090.43kb.
- Исследование рынков сбыта, 102.92kb.
- Лабораторная работа n 4 «Исследование тахогенератора постоянного тока», 54.85kb.
Исследование ионного тока в тлеющем разряде в зависимости от расстояния между катодом и коллектором ионов
А. В. Белокопытов
СУНЦ НГУ, г. Новосибирск
Тлеющий разряд постоянного тока широко применяется в плазменных дисплейных панелях и стабилизаторах напряжения, используется для накачки газоразрядных лазеров, очистки и модификации поверхности различных материалов, а также для получения тонких пленок углерода. Большое значение при осаждении углеродных пленок из тлеющего разряда имеет поведение ионного тока в зависимости от различных параметров разряда (расстояние до катода, напряжение, давление газа), поскольку в формировании пленки принимают участие именно ионы.
Целью работы было исследование зависимости ионного тока тлеющего разряда в аргоне от расстояния между катодом и коллектором ионов при различных напряжениях разряда. Это позволит лучше понять процесс формирования углеродных пленок.
Разряд зажигался внутри стеклянной трубки между анодом и сеточным катодом из нержавеющей стали. За катодом располагался коллектор ионов, соединенный с микроамперметром. Коллектор ионов может перемещаться относительно катода, таким образом, существует возможность изменять расстояние. Первоначально рабочий объем откачивался форвакуумным насосом до предельного давления 10-3 тор, затем напускался аргон, применяемый в качестве тестового газа. Напряжение на электроды подавалось от высоковольтного источника питания. Измерения зависимости ионного тока от расстояния между катодом и коллектором производились при различных напряжениях разряда (700 – 1500 В), расстояние изменялось от 0,5 до 10,5 см с шагом 1 см. Диапазон измеренных ионных токов составил 0,001–1 мА.
Полученные знания о поведении ионного тока в тлеющем разряде планируется применить в экспериментах по осаждению углеродных пленок.
Научный руководитель – инженер КОФ НГУ, преподаватель кафедры физики СУНЦ С. Ю. Чепкасов.