Программа спецкурса " Электронно-зондовая диагностика материалов и приборов микроэлектроники"
| Вид материала | Программа спецкурса |
- Программа вступительного экзамена по специальности 05. 27. 06 «Технология и оборудование, 81.6kb.
- Материалы микроэлектроники, 673.1kb.
- Программа государственного экзамена по направлению подготовки бакалавров 210100 "электроника, 44.26kb.
- Реферат по дисциплине " Технологические процессы микроэлектроники " на тему: Технологические, 1398.5kb.
- Физика полупроводниковых приборов, 1091.64kb.
- Рабочая программа дисциплины "Физические основы полупроводниковой микро- и оптоэлектроники, 119.56kb.
- Рабочая программа по дисциплине "Расчет и проектирование электронно-оптической аппаратуры", 171.68kb.
- Программа XVII российского симпозиумА по растровой электронной микроскопии и аналитическим, 697.22kb.
- Программа профессиональной переподготовки акф п/п-8 «Системы автоматического управления, 26.62kb.
- О. Г. Лекаренко Вступительные замечания: Программа спецкурса, 149.36kb.
Программа спецкурса
“Электронно-зондовая диагностика материалов и приборов микроэлектроники”
5 курс, 523 группа, весенний семестр
лектор – доцент Рау Э.И.
- Введение. Проблемы неразрушающей локальной диагностики в современной микроэлектронике.
- Обзор современных методов диагностики и контроля качества полупроводниковых устройств. Физика отказов.
- Основные положения диагностической микротомографии объектов микроэлектроники.
- Методы растровой электронной микроскопии, используемые при неразрушающем бесконтактном контроле в микроэлектронике.
- Потенциальный контраст и измерение потенциального рельефа на поверхности кристаллов. Тестирование интегральных микросхем.
- Возможности наведенного электронным пучком тока для определения микронеоднородностей в кристалле и измерения фундаментальных параметров полупроводников.
- Растровая электронная термоакустическая микроскопия объектов микроэлектроники. Акустическая микроскопия.
- Бесконтактный режим индуцированной электронной ЭДС в растровом электронном микроскопе.
- Некоторые нестандартные способы РЭМ-диагностики электрофизических параметров полупроводников.
- Спектроскопия и микротомография в обратнорассеянных электронах.
- Диагностика многослойных структур в РЭМ.
- Рентгеновская микротомография радиоэлектронной аппаратуры.
- Инфракрасная лазерная томография полупроводниковых кристаллов.
- Сканирующая туннельная и силовая микроскопия в микроэлектронике.
- Проблемы субмикронной зондовой метрологии.
- Перспективные диагностические зондовые методы, их потенциальные возможности в технологии и контроле микроэлектронных структур.