Geum.ru

Республики Беларусь «24»

Вид материалаПрограмма

Содержание


Поснительная записка
Подобный материал:
1   ...   4   5   6   7   8   9   10   11   ...   21

ПОСНИТЕЛЬНАЯ ЗАПИСКА



Типовая программа «Маршрутная технология интегральных схем» разработана в соответствии с Образовательным стандартом РД РБ 02100.5.030-98 специальности 1-41 01 02 Микро- и наноэлектронные технологии и системы для высших учебных заведений.

Целью дисциплины является формирование знаний и навыков конструкторско-технологического проектирования элементов интегральных схем (ИС) для различных схемотехнических решений. Задачи изучения курса состоят в освоении принципов высокоэффективного проектирования элементов ИС, формировании базовых технологических процессов и маршрутов изготовления биполярных, КМОП, БиКМОП и других элементов ИС, выборе методов контроля и анализа этих элементов. Изучение курса базируется на дисциплинах: «Микроэлектроника», «Базовые технологические процессы микроэлектроники», «Физика активных элементов интегральных схем».

В результате освоения курса «Маршрутная технология интегральных схем» студент должен:

знать:
  • общие закономерности проектирования технологических маршрутов изготовления ИС;
  • взаимосвязь этапов технологических маршрутов изготовления различных элементов ИС;
  • методы формирования структуры ИС на биполярных, КМОП, n-МОП, БиКМОП элементах;
  • методы контроля и анализа элементов ИС в процессе их формирования;

уметь характеризовать:
  • маршрутную технологию изготовления различных ИС по блокам формирования структуры (блоки: изоляции, активной структуры, металлизации, сборки, испытаний);
  • уровень технологии изготовления биполярных, КМОП, n-МОП, БиКМОП элементов ИС;
  • роль и проблемы проектирования маршрутной технологии изготовления ИС;

уметь анализировать:
  • маршрутную технологию изготовления ИС по технико-экономическим характеристикам базовых технологических процессов;
  • структуру элементов ИС в процессе её формирования (методами: электронной микроскопии, электрофизическими, тепловыми, оптическими и др.);

приобрести навыки:
  • анализа технологических процессов по результатам контроля параметров элементов ИС на тестовых структурах;
  • проектирования технологических маршрутов изготовления ИС на биполярных, КМОП, n-МОП, БиКМОП элементах.

Программа рассчитана на объем 130 часов, в том числе 80 аудиторных часов. Примерное распределение аудиторных часов по видам занятий:
лекций — 48 часов, лабораторных работ — 32 часа.


Тематический план курса


№

п.п.

Наименование темы
Лекции,

часов
Лабор.

занятия,

часов
Всего




Введение
2



2

1
Блок технологических процессов создания изоляции элементов ИС









1.1
Процессы изоляции биполярных элементов ИС
4
4
8

1.2
Процессы изоляции МОП элементов ИС
4
4
8

2
Блок технологических процессов создания активной структуры элементов ИС









2.1
Структура биполярных элементов ИС
2
4
6

2.2
Структура МОП элементов ИС
4
4
8

3
Блок металлизации элементов ИС









3.1
Однослойная, многослойная и многоуровневая металлизации на основе пленок алюминия
4
4
8

3.2
Металлизация элементов ИС на основе пленок меди
4
4
8

4
Блок сборки и испытаний ИС









4.1
Процессы сборки кристаллов в корпус
2



2

4.2
Герметизация кристаллов ИС
2



2

4.3
Блок испытаний ИС
2



2

5
Методы контроля и анализа элементов ИС









5.1
Экспрессные методы контроля кремниевых пластин по маршруту изготовления ИС
4
2
6

5.2
Методы анализа структуры элементов ИС
6
2
8

6
Типовые технологические маршруты изготовления кристаллов ИС









6.1
Конструктивно-технологические особенности создания элементов ИС
6
4
10

6.2
Перспективы развития маршрутной технологии
2



2