Исследование процессов 3D-структурирование в электронной литографии
Диссертация - Компьютеры, программирование
Другие диссертации по предмету Компьютеры, программирование
(2003).
. Susumu Noda, Katsuhiro Tomoda, Noritsugu Yamamoto, Alongkarn Chutinan. Full Three-Dimensional Photonic Bandgap Crystals at Near-Infrared Wavelengths// Science, vol. 289, p. 604-606 (2000).
89. В. Г. Голубев, Д. А. Курдюков, А. Б. Певцов, А. В. Селькин, Е.Б. Шадрин, А. В. Ильинский и Р. Боейинк. Гистерезис фотонной зоны в фотонном кристалле VO2 при фазовом переходе полупроводник - металл// Физика и техника полупроводников, том 36 вып. 9, стр. 1122-1127 (2002).
90. Yurii A. Vlasov, Nan Yao, and David J. Norris. Synthesis of photonic crystals for optical wavelengths from semiconductor quantum dots// Adv. Mater., vol. 11 № 2, p. 165-169 (1999).
. Nikolaos Kehagias. Study of Nanoimprint Techniques for the Fabrication of 2-D and 3-D Photonic Devices// PhD thesis, Physics Department, National University of Ireland, Cork, Irland (2007).
92. D. Nilsson, T. Nielsen, and A. Kristensen. Solid state micro-cavity dye lasers fabricated by nanoimprint lithography// Review of Scientific Instruments, vol. 75, p. 4481-4486 (2004).
. V.V. Aristov, B.N. Gaifullin, H.F. Raith, A.A. Svintsov, S.I. Zaitsev and R. Jede. Proximity correction in electron lithography with guaranteed accuracy after development// Journal of Vacuum Science & Technology B, vol. 10 №6, p. 2459-2467 (1992).
. L.I. Aparshina, S.V Dubonos, S.V. Maksimov, A.A. Svintsov, and S.I. Zaitsev. Energy dependence of proximity parameters investigated by fitting before measurement test// Journal of Vacuum Science & Technology B, vol.15 №6, p. 2298-2302 (1997).
95. S.V Dubonos, B.N. Gaifullin, H.F. Raith, A.A. Svintsov and S.I. Zaitsev. Evaluation, Verification and Error Determination of Proximity Parameters ?, ? and ? in Electron Beam Lithography// Microelectronic Engineering, vol. 21 Issues 1-4, p. 293-296 (1993).
96. S.V.Dubonos, B.N.Gaifullin, H.F.Raith, A.A.Svintsov and S.I.Zaitsev. Proximity correction for 3D structures.">// Microelectronic Engineering, vol. 27 Issues 1-4, p. 195-198 (1995) .
. Н. Ашкрофт и Н. Мермин. Физика твердого тела// МИР, стр. 129 (1979).
98. Kurt Busch and Sajeev John. Photonic band gap formation in certain self-organizing systems// Phys. Rev. E, vol. 58 №3, p. 3896-3908 (1998).
. Д. Гартия. Квазикристаллы// УФН, том 156 вып. 2, стр. 347-364 (1988).
100. N. G. de Bruijn. Algebraic theory of Penrose non-periodic tilings// Ned. Akad. Wetensch., Proc. Ser A, vol. 43, p. 39-66 (1981).
. Michel Duneau and Andre Katz. Quasiperiodic Patterns// Phys. Rev. Let., vol. 54 № 25, p. 2688-2691 (1985).