Книги по разным темам Pages:     | 1 | 2 |

Приложение. Имплантация легких ионов [5] Кучинский В.В., Фафурина Э.Н. // Справочник констант элементарных процессов с участием атомов, ионов, элекВсе уравнения, не переформулированные ниже, спратронов, фотонов. СПб., 1994. С. 235Ц275.

ведливы и для имплантации легких ионов. Для краткости [6] Андерсен Х., Бай Х. // Распыление твердых тел ионной 1 = 0. Нестационарная система уравнений (4) для бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1984.

егких ионов имеет вид С. 194Ц288.

1 k(, t) D k(, t) = Jh2 t Jh+ X(t) +Z1 -(1-1k)ykk(0, t) k(, t) + Z11k 1 - k(, t) Q(), k = 1, 2,..., N. (4 ) 7 Журнал технической физики, 1997, том 67, № Pages:     | 1 | 2 |    Книги по разным темам