2 ДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузия легирующих примесей из полимерных диффузантов и применение этого метода... [49] R.O. Carlson, R.N. Hall, E.M.title> <meta name="Description" content="2 ДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузияДиффузия легирующих примесей из полимерных диффузантов и применение этого метода... [49] R.O. Carlson, R.N. Hall, E.M."> <meta http-equiv=Content-Type content="text/html; charset=utf-8"> <meta charset="UTF-8"> <meta name="viewport" content="width=device-width, initial-scale=1">  <script>window.yaContextCb=window.yaContextCb||[]</script> <script src="https://yandex.ru/ads/system/context.js" async></script> <link rel='dns-prefetch' href='//fonts.googleapis.com' /> <link rel="alternate" type="application/rss+xml" title="Geum.ru » Лента" href="/?feed=rss2" /> <link rel="alternate" type="application/rss+xml" title="Geum.ru » Лента комментариев" href="/?feed=comments-rss2" /> <script> window._wpemojiSettings = {"baseUrl":"https:\/\/s.w.org\/images\/core\/emoji\/14.0.0\/72x72\/","ext":".png","svgUrl":"https:\/\/s.w.org\/images\/core\/emoji\/14.0.0\/svg\/","svgExt":".svg","source":{"concatemoji":"http:\/\/geum.ru\/wp-includes\/js\/wp-emoji-release.min.js?ver=6.1.1"}}; /*! This file is auto-generated */ !function(e,a,t){var n,r,o,i=a.createElement("canvas"),p=i.getContext&&i.getContext("2d");function s(e,t){var a=String.fromCharCode,e=(p.clearRect(0,0,i.width,i.height),p.fillText(a.apply(this,e),0,0),i.toDataURL());return p.clearRect(0,0,i.width,i.height),p.fillText(a.apply(this,t),0,0),e===i.toDataURL()}function c(e){var t=a.createElement("script");t.src=e,t.defer=t.type="text/javascript",a.getElementsByTagName("head")[0].appendChild(t)}for(o=Array("flag","emoji"),t.supports={everything:!0,everythingExceptFlag:!0},r=0;r<o.length;r++)t.supports[o[r]]=function(e){if(p&&p.fillText)switch(p.textBaseline="top",p.font="600 32px Arial",e){case"flag":return s([127987,65039,8205,9895,65039],[127987,65039,8203,9895,65039])?!1:!s([55356,56826,55356,56819],[55356,56826,8203,55356,56819])&&!s([55356,57332,56128,56423,56128,56418,56128,56421,56128,56430,56128,56423,56128,56447],[55356,57332,8203,56128,56423,8203,56128,56418,8203,56128,56421,8203,56128,56430,8203,56128,56423,8203,56128,56447]);case"emoji":return!s([129777,127995,8205,129778,127999],[129777,127995,8203,129778,127999])}return!1}(o[r]),t.supports.everything=t.supports.everything&&t.supports[o[r]],"flag"!==o[r]&&(t.supports.everythingExceptFlag=t.supports.everythingExceptFlag&&t.supports[o[r]]);t.supports.everythingExceptFlag=t.supports.everythingExceptFlag&&!t.supports.flag,t.DOMReady=!1,t.readyCallback=function(){t.DOMReady=!0},t.supports.everything||(n=function(){t.readyCallback()},a.addEventListener?(a.addEventListener("DOMContentLoaded",n,!1),e.addEventListener("load",n,!1)):(e.attachEvent("onload",n),a.attachEvent("onreadystatechange",function(){"complete"===a.readyState&&t.readyCallback()})),(e=t.source||{}).concatemoji?c(e.concatemoji):e.wpemoji&&e.twemoji&&(c(e.twemoji),c(e.wpemoji)))}(window,document,window._wpemojiSettings); </script> <link rel='stylesheet' id='wp-block-library-css' href='/wp-includes/css/dist/block-library/style.min.css?ver=6.1.1' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='classic-theme-styles-css' href='/wp-includes/css/classic-themes.min.css?ver=1' media='all' /> <style id='global-styles-inline-css'> body{--wp--preset--color--black: #000000;--wp--preset--color--cyan-bluish-gray: #abb8c3;--wp--preset--color--white: #ffffff;--wp--preset--color--pale-pink: #f78da7;--wp--preset--color--vivid-red: #cf2e2e;--wp--preset--color--luminous-vivid-orange: #ff6900;--wp--preset--color--luminous-vivid-amber: #fcb900;--wp--preset--color--light-green-cyan: #7bdcb5;--wp--preset--color--vivid-green-cyan: #00d084;--wp--preset--color--pale-cyan-blue: #8ed1fc;--wp--preset--color--vivid-cyan-blue: #0693e3;--wp--preset--color--vivid-purple: #9b51e0;--wp--preset--gradient--vivid-cyan-blue-to-vivid-purple: linear-gradient(135deg,rgba(6,147,227,1) 0%,rgb(155,81,224) 100%);--wp--preset--gradient--light-green-cyan-to-vivid-green-cyan: linear-gradient(135deg,rgb(122,220,180) 0%,rgb(0,208,130) 100%);--wp--preset--gradient--luminous-vivid-amber-to-luminous-vivid-orange: linear-gradient(135deg,rgba(252,185,0,1) 0%,rgba(255,105,0,1) 100%);--wp--preset--gradient--luminous-vivid-orange-to-vivid-red: linear-gradient(135deg,rgba(255,105,0,1) 0%,rgb(207,46,46) 100%);--wp--preset--gradient--very-light-gray-to-cyan-bluish-gray: linear-gradient(135deg,rgb(238,238,238) 0%,rgb(169,184,195) 100%);--wp--preset--gradient--cool-to-warm-spectrum: linear-gradient(135deg,rgb(74,234,220) 0%,rgb(151,120,209) 20%,rgb(207,42,186) 40%,rgb(238,44,130) 60%,rgb(251,105,98) 80%,rgb(254,248,76) 100%);--wp--preset--gradient--blush-light-purple: linear-gradient(135deg,rgb(255,206,236) 0%,rgb(152,150,240) 100%);--wp--preset--gradient--blush-bordeaux: linear-gradient(135deg,rgb(254,205,165) 0%,rgb(254,45,45) 50%,rgb(107,0,62) 100%);--wp--preset--gradient--luminous-dusk: linear-gradient(135deg,rgb(255,203,112) 0%,rgb(199,81,192) 50%,rgb(65,88,208) 100%);--wp--preset--gradient--pale-ocean: linear-gradient(135deg,rgb(255,245,203) 0%,rgb(182,227,212) 50%,rgb(51,167,181) 100%);--wp--preset--gradient--electric-grass: linear-gradient(135deg,rgb(202,248,128) 0%,rgb(113,206,126) 100%);--wp--preset--gradient--midnight: linear-gradient(135deg,rgb(2,3,129) 0%,rgb(40,116,252) 100%);--wp--preset--duotone--dark-grayscale: url('#wp-duotone-dark-grayscale');--wp--preset--duotone--grayscale: url('#wp-duotone-grayscale');--wp--preset--duotone--purple-yellow: url('#wp-duotone-purple-yellow');--wp--preset--duotone--blue-red: url('#wp-duotone-blue-red');--wp--preset--duotone--midnight: url('#wp-duotone-midnight');--wp--preset--duotone--magenta-yellow: url('#wp-duotone-magenta-yellow');--wp--preset--duotone--purple-green: url('#wp-duotone-purple-green');--wp--preset--duotone--blue-orange: url('#wp-duotone-blue-orange');--wp--preset--font-size--small: 13px;--wp--preset--font-size--medium: 20px;--wp--preset--font-size--large: 36px;--wp--preset--font-size--x-large: 42px;--wp--preset--spacing--20: 0.44rem;--wp--preset--spacing--30: 0.67rem;--wp--preset--spacing--40: 1rem;--wp--preset--spacing--50: 1.5rem;--wp--preset--spacing--60: 2.25rem;--wp--preset--spacing--70: 3.38rem;--wp--preset--spacing--80: 5.06rem;}:where(.is-layout-flex){gap: 0.5em;}body .is-layout-flow > .alignleft{float: left;margin-inline-start: 0;margin-inline-end: 2em;}body .is-layout-flow > .alignright{float: right;margin-inline-start: 2em;margin-inline-end: 0;}body .is-layout-flow > .aligncenter{margin-left: auto !important;margin-right: auto !important;}body .is-layout-constrained > .alignleft{float: left;margin-inline-start: 0;margin-inline-end: 2em;}body .is-layout-constrained > .alignright{float: right;margin-inline-start: 2em;margin-inline-end: 0;}body .is-layout-constrained > .aligncenter{margin-left: auto !important;margin-right: auto !important;}body .is-layout-constrained > :where(:not(.alignleft):not(.alignright):not(.alignfull)){max-width: var(--wp--style--global--content-size);margin-left: auto !important;margin-right: auto !important;}body .is-layout-constrained > .alignwide{max-width: var(--wp--style--global--wide-size);}body .is-layout-flex{display: flex;}body .is-layout-flex{flex-wrap: wrap;align-items: center;}body .is-layout-flex > *{margin: 0;}:where(.wp-block-columns.is-layout-flex){gap: 2em;}.has-black-color{color: var(--wp--preset--color--black) !important;}.has-cyan-bluish-gray-color{color: var(--wp--preset--color--cyan-bluish-gray) !important;}.has-white-color{color: var(--wp--preset--color--white) !important;}.has-pale-pink-color{color: var(--wp--preset--color--pale-pink) !important;}.has-vivid-red-color{color: var(--wp--preset--color--vivid-red) !important;}.has-luminous-vivid-orange-color{color: var(--wp--preset--color--luminous-vivid-orange) !important;}.has-luminous-vivid-amber-color{color: var(--wp--preset--color--luminous-vivid-amber) !important;}.has-light-green-cyan-color{color: var(--wp--preset--color--light-green-cyan) !important;}.has-vivid-green-cyan-color{color: var(--wp--preset--color--vivid-green-cyan) !important;}.has-pale-cyan-blue-color{color: var(--wp--preset--color--pale-cyan-blue) !important;}.has-vivid-cyan-blue-color{color: var(--wp--preset--color--vivid-cyan-blue) !important;}.has-vivid-purple-color{color: var(--wp--preset--color--vivid-purple) !important;}.has-black-background-color{background-color: var(--wp--preset--color--black) !important;}.has-cyan-bluish-gray-background-color{background-color: var(--wp--preset--color--cyan-bluish-gray) !important;}.has-white-background-color{background-color: var(--wp--preset--color--white) !important;}.has-pale-pink-background-color{background-color: var(--wp--preset--color--pale-pink) !important;}.has-vivid-red-background-color{background-color: var(--wp--preset--color--vivid-red) !important;}.has-luminous-vivid-orange-background-color{background-color: var(--wp--preset--color--luminous-vivid-orange) !important;}.has-luminous-vivid-amber-background-color{background-color: var(--wp--preset--color--luminous-vivid-amber) !important;}.has-light-green-cyan-background-color{background-color: var(--wp--preset--color--light-green-cyan) !important;}.has-vivid-green-cyan-background-color{background-color: var(--wp--preset--color--vivid-green-cyan) !important;}.has-pale-cyan-blue-background-color{background-color: var(--wp--preset--color--pale-cyan-blue) !important;}.has-vivid-cyan-blue-background-color{background-color: var(--wp--preset--color--vivid-cyan-blue) !important;}.has-vivid-purple-background-color{background-color: var(--wp--preset--color--vivid-purple) !important;}.has-black-border-color{border-color: var(--wp--preset--color--black) !important;}.has-cyan-bluish-gray-border-color{border-color: var(--wp--preset--color--cyan-bluish-gray) !important;}.has-white-border-color{border-color: var(--wp--preset--color--white) !important;}.has-pale-pink-border-color{border-color: var(--wp--preset--color--pale-pink) !important;}.has-vivid-red-border-color{border-color: var(--wp--preset--color--vivid-red) !important;}.has-luminous-vivid-orange-border-color{border-color: var(--wp--preset--color--luminous-vivid-orange) !important;}.has-luminous-vivid-amber-border-color{border-color: var(--wp--preset--color--luminous-vivid-amber) !important;}.has-light-green-cyan-border-color{border-color: var(--wp--preset--color--light-green-cyan) !important;}.has-vivid-green-cyan-border-color{border-color: var(--wp--preset--color--vivid-green-cyan) !important;}.has-pale-cyan-blue-border-color{border-color: var(--wp--preset--color--pale-cyan-blue) !important;}.has-vivid-cyan-blue-border-color{border-color: var(--wp--preset--color--vivid-cyan-blue) !important;}.has-vivid-purple-border-color{border-color: var(--wp--preset--color--vivid-purple) !important;}.has-vivid-cyan-blue-to-vivid-purple-gradient-background{background: var(--wp--preset--gradient--vivid-cyan-blue-to-vivid-purple) !important;}.has-light-green-cyan-to-vivid-green-cyan-gradient-background{background: var(--wp--preset--gradient--light-green-cyan-to-vivid-green-cyan) !important;}.has-luminous-vivid-amber-to-luminous-vivid-orange-gradient-background{background: var(--wp--preset--gradient--luminous-vivid-amber-to-luminous-vivid-orange) !important;}.has-luminous-vivid-orange-to-vivid-red-gradient-background{background: var(--wp--preset--gradient--luminous-vivid-orange-to-vivid-red) !important;}.has-very-light-gray-to-cyan-bluish-gray-gradient-background{background: var(--wp--preset--gradient--very-light-gray-to-cyan-bluish-gray) !important;}.has-cool-to-warm-spectrum-gradient-background{background: var(--wp--preset--gradient--cool-to-warm-spectrum) !important;}.has-blush-light-purple-gradient-background{background: var(--wp--preset--gradient--blush-light-purple) !important;}.has-blush-bordeaux-gradient-background{background: var(--wp--preset--gradient--blush-bordeaux) !important;}.has-luminous-dusk-gradient-background{background: var(--wp--preset--gradient--luminous-dusk) !important;}.has-pale-ocean-gradient-background{background: var(--wp--preset--gradient--pale-ocean) !important;}.has-electric-grass-gradient-background{background: var(--wp--preset--gradient--electric-grass) !important;}.has-midnight-gradient-background{background: var(--wp--preset--gradient--midnight) !important;}.has-small-font-size{font-size: var(--wp--preset--font-size--small) !important;}.has-medium-font-size{font-size: var(--wp--preset--font-size--medium) !important;}.has-large-font-size{font-size: var(--wp--preset--font-size--large) !important;}.has-x-large-font-size{font-size: var(--wp--preset--font-size--x-large) !important;} .wp-block-navigation a:where(:not(.wp-element-button)){color: inherit;} :where(.wp-block-columns.is-layout-flex){gap: 2em;} .wp-block-pullquote{font-size: 1.5em;line-height: 1.6;} </style> <link rel='stylesheet' id='hera-googlefonts-css' href='https://fonts.googleapis.com/css2?family=Nunito:wght@400;600;700;800&family=Pacifico&display=swap' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='bootstrap-css' href='/wp-content/themes/hera/assets/bootstrap/css/bootstrap.min.css?ver=6.1.1' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='all-css' href='/wp-content/themes/hera/assets/css/all.css?ver=6.1.1' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='themify-icons-css' href='/wp-content/themes/hera/assets/fonts/themify-icons.css?ver=6.1.1' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='line-icons-css' href='/wp-content/themes/hera/assets/fonts/line-icons.css?ver=6.1.1' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='owl-carousel-css' href='/wp-content/themes/hera/assets/owlcarousel/css/owl.carousel.css?ver=6.1.1' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='owl-theme-css' href='/wp-content/themes/hera/assets/owlcarousel/css/owl.theme.css?ver=6.1.1' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='venobox-css' href='/wp-content/themes/hera/assets/css/venobox.css?ver=6.1.1' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='animate-css' href='/wp-content/themes/hera/assets/css/animate.css?ver=6.1.1' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='magnific-popup-css' href='/wp-content/themes/hera/assets/css/magnific-popup.css?ver=6.1.1' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='slicknav-css' href='/wp-content/themes/hera/assets/css/slicknav.css?ver=6.1.1' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='slick-css' href='/wp-content/themes/hera/assets/css/slick.css?ver=6.1.1' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='slick-theme-css' href='/wp-content/themes/hera/assets/css/slick-theme.css?ver=6.1.1' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='main-style-css' href='/wp-content/themes/hera/assets/css/style.css?ver=6.1.1' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='hera-style-css' href='/wp-content/themes/hera/style.css?ver=1.0.0' media='all' /> <link rel='stylesheet' id='responsive-css' href='/wp-content/themes/hera/assets/css/responsive.css?ver=6.1.1' media='all' /> <script src='/wp-includes/js/jquery/jquery.min.js?ver=3.6.1' id='jquery-core-js'></script> <script src='/wp-includes/js/jquery/jquery-migrate.min.js?ver=3.3.2' id='jquery-migrate-js'></script>   <link rel="icon" href="/wp-content/uploads/2021/10/cropped-Screenshot_7-32x32.png" sizes="32x32" /> <link rel="icon" href="/wp-content/uploads/2021/10/cropped-Screenshot_7-192x192.png" sizes="192x192" /> <link rel="apple-touch-icon" href="/wp-content/uploads/2021/10/cropped-Screenshot_7-180x180.png" /> <meta name="msapplication-TileImage" content="/wp-content/uploads/2021/10/cropped-Screenshot_7-270x270.png" /> <script type="text/javascript" src="https://vk.com/js/api/openapi.js?168"></script> </head> <body class="home blog wp-custom-logo hfeed"> <svg xmlns="http://www.w3.org/2000/svg" viewBox="0 0 0 0" width="0" height="0" focusable="false" role="none" style="visibility: hidden; position: absolute; left: -9999px; overflow: hidden;" ><defs><filter id="wp-duotone-dark-grayscale"><feColorMatrix color-interpolation-filters="sRGB" type="matrix" values=" .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 " /><feComponentTransfer color-interpolation-filters="sRGB" ><feFuncR type="table" tableValues="0 0.49803921568627" /><feFuncG type="table" tableValues="0 0.49803921568627" /><feFuncB type="table" tableValues="0 0.49803921568627" /><feFuncA type="table" tableValues="1 1" /></feComponentTransfer><feComposite in2="SourceGraphic" operator="in" /></filter></defs></svg><svg xmlns="http://www.w3.org/2000/svg" viewBox="0 0 0 0" width="0" height="0" focusable="false" role="none" style="visibility: hidden; position: absolute; left: -9999px; overflow: hidden;" ><defs><filter id="wp-duotone-grayscale"><feColorMatrix color-interpolation-filters="sRGB" type="matrix" values=" .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 " /><feComponentTransfer color-interpolation-filters="sRGB" ><feFuncR type="table" tableValues="0 1" /><feFuncG type="table" tableValues="0 1" /><feFuncB type="table" tableValues="0 1" /><feFuncA type="table" tableValues="1 1" /></feComponentTransfer><feComposite in2="SourceGraphic" operator="in" /></filter></defs></svg><svg xmlns="http://www.w3.org/2000/svg" viewBox="0 0 0 0" width="0" height="0" focusable="false" role="none" style="visibility: hidden; position: absolute; left: -9999px; overflow: hidden;" ><defs><filter id="wp-duotone-purple-yellow"><feColorMatrix color-interpolation-filters="sRGB" type="matrix" values=" .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 " /><feComponentTransfer color-interpolation-filters="sRGB" ><feFuncR type="table" tableValues="0.54901960784314 0.98823529411765" /><feFuncG type="table" tableValues="0 1" /><feFuncB type="table" tableValues="0.71764705882353 0.25490196078431" /><feFuncA type="table" tableValues="1 1" /></feComponentTransfer><feComposite in2="SourceGraphic" operator="in" /></filter></defs></svg><svg xmlns="http://www.w3.org/2000/svg" viewBox="0 0 0 0" width="0" height="0" focusable="false" role="none" style="visibility: hidden; position: absolute; left: -9999px; overflow: hidden;" ><defs><filter id="wp-duotone-blue-red"><feColorMatrix color-interpolation-filters="sRGB" type="matrix" values=" .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 " /><feComponentTransfer color-interpolation-filters="sRGB" ><feFuncR type="table" tableValues="0 1" /><feFuncG type="table" tableValues="0 0.27843137254902" /><feFuncB type="table" tableValues="0.5921568627451 0.27843137254902" /><feFuncA type="table" tableValues="1 1" /></feComponentTransfer><feComposite in2="SourceGraphic" operator="in" /></filter></defs></svg><svg xmlns="http://www.w3.org/2000/svg" viewBox="0 0 0 0" width="0" height="0" focusable="false" role="none" style="visibility: hidden; position: absolute; left: -9999px; overflow: hidden;" ><defs><filter id="wp-duotone-midnight"><feColorMatrix color-interpolation-filters="sRGB" type="matrix" values=" .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 " /><feComponentTransfer color-interpolation-filters="sRGB" ><feFuncR type="table" tableValues="0 0" /><feFuncG type="table" tableValues="0 0.64705882352941" /><feFuncB type="table" tableValues="0 1" /><feFuncA type="table" tableValues="1 1" /></feComponentTransfer><feComposite in2="SourceGraphic" operator="in" /></filter></defs></svg><svg xmlns="http://www.w3.org/2000/svg" viewBox="0 0 0 0" width="0" height="0" focusable="false" role="none" style="visibility: hidden; position: absolute; left: -9999px; overflow: hidden;" ><defs><filter id="wp-duotone-magenta-yellow"><feColorMatrix color-interpolation-filters="sRGB" type="matrix" values=" .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 " /><feComponentTransfer color-interpolation-filters="sRGB" ><feFuncR type="table" tableValues="0.78039215686275 1" /><feFuncG type="table" tableValues="0 0.94901960784314" /><feFuncB type="table" tableValues="0.35294117647059 0.47058823529412" /><feFuncA type="table" tableValues="1 1" /></feComponentTransfer><feComposite in2="SourceGraphic" operator="in" /></filter></defs></svg><svg xmlns="http://www.w3.org/2000/svg" viewBox="0 0 0 0" width="0" height="0" focusable="false" role="none" style="visibility: hidden; position: absolute; left: -9999px; overflow: hidden;" ><defs><filter id="wp-duotone-purple-green"><feColorMatrix color-interpolation-filters="sRGB" type="matrix" values=" .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 " /><feComponentTransfer color-interpolation-filters="sRGB" ><feFuncR type="table" tableValues="0.65098039215686 0.40392156862745" /><feFuncG type="table" tableValues="0 1" /><feFuncB type="table" tableValues="0.44705882352941 0.4" /><feFuncA type="table" tableValues="1 1" /></feComponentTransfer><feComposite in2="SourceGraphic" operator="in" /></filter></defs></svg><svg xmlns="http://www.w3.org/2000/svg" viewBox="0 0 0 0" width="0" height="0" focusable="false" role="none" style="visibility: hidden; position: absolute; left: -9999px; overflow: hidden;" ><defs><filter id="wp-duotone-blue-orange"><feColorMatrix color-interpolation-filters="sRGB" type="matrix" values=" .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 .299 .587 .114 0 0 " /><feComponentTransfer color-interpolation-filters="sRGB" ><feFuncR type="table" tableValues="0.098039215686275 1" /><feFuncG type="table" tableValues="0 0.66274509803922" /><feFuncB type="table" tableValues="0.84705882352941 0.41960784313725" /><feFuncA type="table" tableValues="1 1" /></feComponentTransfer><feComposite in2="SourceGraphic" operator="in" /></filter></defs></svg>  <div id="navigation" class=" fixed-top navbar-light bg-faded site-navigation"> <div class="container"> <div class="row"> <div class="col-lg-2 col-md-3 col-sm-4"> <div class="navbar-header"> <a href="/" class="navbar-brand"><img src="/wp-content/uploads/2021/10/cropped-Screenshot_6.png" alt="Geum.ru "></a> </div> </div> <div class="col-lg-10 col-md-9 col-sm-8"> <nav id="main-menu" class="ml-auto"> <ul id="menu-%d0%bd%d0%be%d0%b2%d0%be%d0%b5-%d0%b3%d0%bb%d0%b0%d0%b2%d0%bd%d0%be%d0%b5-%d0%bc%d0%b5%d0%bd%d1%8e" class=" "><li id="menu-item-15221" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom current-menu-item current_page_item menu-item-home menu-item-has-children menu-item-15221"><a target="_blank" rel="noopener" href="/" aria-current="page">Главная</a> <ul class="sub-menu"> <li id="menu-item-11213" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-11213"><a href="/admit/">Документы для учебы admit</a></li> <li id="menu-item-11207" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-11207"><a href="/aref/">Авторефераты aref</a></li> <li id="menu-item-14071" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-14071"><a href="/book/">Учебники book</a></li> <li id="menu-item-11208" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-11208"><a href="/doc/">Большая коллекция рефератов doc</a></li> <li id="menu-item-11209" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-11209"><a href="/ec-aref/">Авторефераты диссертаций по экономике ec-aref</a></li> <li id="menu-item-14072" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-14072"><a href="/fin/">Материалы по финансам fin</a></li> <li id="menu-item-11217" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-11217"><a href="/finansy/">Работы по финансам finansy</a></li> <li id="menu-item-14074" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-14074"><a href="/kurs/">Курсовые работы kurs</a></li> <li id="menu-item-14075" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-14075"><a href="/lav/">Материалы по праву lav</a></li> <li id="menu-item-14076" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-14076"><a href="/lib/">Библиотека lib</a></li> <li id="menu-item-14077" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-14077"><a href="/managment/">Материалы по менеджменту</a></li> <li id="menu-item-11210" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-11210"><a href="/next/">Банк документов next</a></li> <li id="menu-item-14078" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-14078"><a href="/new/">Новые работы new</a></li> <li id="menu-item-11211" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-11211"><a href="/referat/">Рефераты</a></li> <li id="menu-item-11216" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-11216"><a href="/opus/">Сочинения, изложения, краткие пересказы opus</a></li> <li id="menu-item-11218" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-11218"><a href="/refdoc/">Скачать рефераты в формате refdoc</a></li> <li id="menu-item-14073" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-14073"><a href="/refs/">Разные рефераты refs</a></li> <li id="menu-item-11212" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-11212"><a href="/text/">Тексты сокращенные text</a></li> <li id="menu-item-14079" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-14079"><a href="/trainer/">Ваш репетитор trainer</a></li> <li id="menu-item-17071" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-17071"><a href="/fan/">Обо всем понемногу</a></li> </ul> </li> <li id="menu-item-15395" class="menu-item menu-item-type-taxonomy menu-item-object-category menu-item-has-children menu-item-15395"><a href="/?cat=3">Готовые работы</a> <ul class="sub-menu"> <li id="menu-item-15396" class="menu-item menu-item-type-taxonomy menu-item-object-category menu-item-15396"><a href="/?cat=7">Курсовые работы</a></li> <li id="menu-item-15397" class="menu-item menu-item-type-taxonomy menu-item-object-category menu-item-15397"><a href="/?cat=87">Дипломные и курсовые с практической частью</a></li> <li id="menu-item-15398" class="menu-item menu-item-type-taxonomy menu-item-object-category menu-item-15398"><a href="/?cat=8">Рефераты</a></li> <li id="menu-item-15399" class="menu-item menu-item-type-taxonomy menu-item-object-category menu-item-15399"><a href="/?cat=9">Статьи</a></li> <li id="menu-item-15400" class="menu-item menu-item-type-taxonomy menu-item-object-category menu-item-15400"><a href="/?cat=4">Дипломные работы и диссертации</a></li> <li id="menu-item-15401" class="menu-item menu-item-type-taxonomy menu-item-object-category menu-item-15401"><a href="/?cat=1">Эссе</a></li> <li id="menu-item-15402" class="menu-item menu-item-type-taxonomy menu-item-object-category menu-item-15402"><a href="/?cat=93">Задачи</a></li> <li id="menu-item-15403" class="menu-item menu-item-type-taxonomy menu-item-object-category menu-item-15403"><a href="/?cat=6">Кейс</a></li> </ul> </li> <li id="menu-item-16490" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-16490"><a href="/st/">Калькулятор онлайн</a></li> <li id="menu-item-16737" class="menu-item menu-item-type-custom menu-item-object-custom menu-item-16737"><a target="_blank" rel="noopener" href="http://formdesigner.ru/form/view/88003">Форма заказа</a></li> </ul> </nav> <div id="mobile_menu"></div> </div>  </div> </div> </div>   <div class="main_banner_area banner_image" style="background: url(/wp-content/themes/hera/assets/img/bg/main-banner.jpg)no-repeat;background-size:cover; background-position: center center;background-attachment:fixed;"> <div class="container"> <div class="bannar_padding text-center" data-wow-duration="1s" data-wow-delay="0.3s" data-wow-offset="0"> <h2 class="title_blog">Blog</h2> <p><a href="/">Home - </a> Blog</p> </div> </div> </div>  <section id="primary" class="content-area main-blog"> <main id="main" class="site-main"> <div class="container"> <div class="row"> <div class="col-md-8 "> <article id="post-22321" class="post-22321 post type-post status-publish format-standard hentry category-9"> <div class="single_blog">  <div id="yandex_rtb_R-A-636060-1"></div> <script> window.yaContextCb.push(()=>{ Ya.Context.AdvManager.render({ "blockId": "R-A-636060-1", "renderTo": "yandex_rtb_R-A-636060-1" }) }) </script> <img src="images/doc.gif"> <a href="index-56.php"><b>Книги по разным тема</b></a> <b>Pages</b> |<a href="10000-1-ref.php"> 1</a>|<a href="10000-2-ref.php"> 2</a>|<a href="10000-3-ref.php"> 3</a>|<a href="10000-4-ref.php"> 4</a>| <p>боте [30] наблюдали гомогенизацию состава AlxGa1-xAs Следует заметить, что в экспериментальных работах в приповерхностной области на глубину до 0.2 мкм для Zn, введенного другими методами, были получепосле диффузии Zn. Эффект проявлялся в спектрах ны различные значения Q = 0.3-0.4эВ [34,35] и комбинационного рассеяния света (КРС) этих слоев до Q = 1.3-1.6эВ [20,36,37]</p><p>и после диффузии Zn. Спектры КРС представлены на Кроме разной степени активации при изменении соотрис. 3. До диффузии (кривая 1) на спектрах наблюношения между NZn и LZn наблюдается изменение вида дались четыре полосы, соответствующие LO-фононам профиля распределения Zn. На рис. 4 представлены при 273 см-1, 284 см-1 (фононы типа GaAs), а такВИМС профили распределения атомов Zn в InP после же при 370 см-1 и 381 см-1 (фононы типа AlAs), которые указывали на наличие в приповерхностной области образца двух слоев с различным содержанием Al (x = 0.2 и x = 0.4). После диффузии Zn на спектрах наблюдались только два пика (263 см-и 360 см-1), соответствующие сильно легированному (p 1020 см-3) Al0.2Ga0.8As. Наличие на спектре КРС слабого плеча при 295 см-1 показало, что сформировался приповерхностный слой с низким содержанием (x 0.1) AlAs</p><p>Исследования спектров КРС на разных участках пластины показали, что до диффузии неоднородность по содержанию Al в приповерхностной области твердого раствора на площади пластины 30 30 мм2 достигала 200%. После диффузии отклонения по составу Al на тех же пластинах не превышали 15Ц20%. Кроме гомогенизации по составу наблюдалось уменьшение содержания Al в приповерхностной области на глубину до 0.1-0.2мкм</p><p>Для всех исследованных составов после диффузии удалось получить концентрацию дырок в приповерхностном слое от 2 1019 до 1020 см-3, при этом глубина залегания Рис. 4. ВИМС профили распределения цинка в InP после p-n-перехода для x = 0.05 и 0.2 была почти на порядок диффузии при 500C в течение 30 мин. Концентрация Zn в ниже, чем для AlxGa1-xAs с x = 0.5. источнике, %: 1 Ч1, 2 Ч 20</p><p>Физика и техника полупроводников, 1999, том 33, вып. Диффузия легирующих примесей из полимерных диффузантов и применение этого метода... диффузии при температуре 500C в течение 30 мин для двух концентраций Zn в источнике (1 и 20%). Профиль, представленный кривой 1, соответствует соотношению NZn < LZn (1% Zn), и его вид хорошо известен по многочисленным публикациям (см., например, [20]). Такой вид профиля распределения Zn можно назвать типичным для диффузии Zn в соединения AIIIBV. Аномальный вид профиля распределения атомов Zn при NZn > LZn (20% Zn, кривая 2) также наблюдался рядом исследователей [38] и связывался ими с интенсивным дефектообразованием в диффузионной области</p><p>Таким образом, результаты исследования диффузии Zn в n0-InP и i-InP из полимерных пленочных диффузантов в стационарном режиме хорошо согласуются с данными авторов, использующих другие методы диффузии. Однако в первом случае результаты получены более про- Рис. 5. ВИМС профили распределения Zn в InP после стым методом Ч в открытой системе без поддержания начальной стадии диффузии до температуры 450C (1) и после стационарной диффузии при 450C в течение 30 мин (2)</p><p>давления паров летучей компоненты соединения AIIIBV</p><p>Кроме того, важной особенностью метода является возможность полной активации введенного Zn без последующего отжига, что не всегда удается осуществить глубину, чем диффузионный фронт. Сравнительные исдругими методами</p><p>следования распределения дислокаций и микродефектов Проведение процесса диффузии в открытой системе, по глубине диффузионных слоев после разных стадий без поддержания давления паров летучей компоненты диффузионного процесса позволили выяснить поведение соединения AIIIBV, дает возможность легко исследовать неравновесных собственных дефектов [23] и показали, разные стадии диффузионного процесса при одинаковых что процессы дефектообразования и диффузии развиусловиях, что не всегда возможно другими методами</p><p>ваются очень динамично во времени, и эта динамика Эти исследования представляют интерес с точки зрения по сути дела не исследована и не учитывается при изучения дефектообразования, выяснения поведения нетеоретическом анализе процесса диффузии легирующих равновесных собственных дефектов и их взаимодействия примесей</p><p>с легирующими примесями и понимания механизма диффузии</p><p>Результаты такого рода, полученные для InP, приведе2.2. Новые возможности рассматриваемого ны в работах [19,23,39]. Эти исследования [23] выявиметода в кремниевой технологии ли ряд интересных особенностей начальной, наиболее неравновесной и малоизученной стадии диффузионного В последнее десятилетие были выяснены такие возпроцесса</p><p>можности метода диффузии из полимерных диффузан - На начальной стадии диффузии (НСД) обна- тов, как формирование сверхмелких диффузионных слоружена аномально быстрая диффузия атомов Zn с ев, управление временем жизни носителей заряда, а такDeff 10-8 см2/с при температуре 375C, что на 2Ц4 по- же эффективность его применения в научных исследоварядка выше Deff для стационарного процесса диффузии</p><p>ниях. В частности, применение полимерных диффузантов - Низкая, ниже 50%, степень активации введенного позволило провести прямые исследования влияния серы цинка</p><p>на параметры высоковольтных приборов</p><p> - Вид профиля распределения Zn после НСД при температурах ниже 500C заметно отличается от профиля 2.2.1. Формирование сверхмелких диффузионпосле стационарной диффузии (рис. 5, кривые 1 и 2)</p><p>ных слоев. Хорошо известно, что традиционные меНаибольшие отклонения наблюдаются при NZn > LZn</p><p>тоды диффузии не обеспечивают воспроизводимого по - Вид профиля распределения Zn в полуизолирующем лучения мелких (менее 100 нм) легированных и слабо i-InP, полученного после НСД, аналогичен профилям, легированных (менее 1018 см-3) областей в Si, что и полученным после стационарной диффузии, т. е. предстаявилось причиной перехода от диффузионной техноловляет собой участок плато, заключенный между двумя гии к ионной имплантации при производстве кремниевых различными диффузионными фронтами [40]</p><p>МОП структур в интегральных схемах</p><p> - Процесс НСД сопровождается генерацией большого числа микродефектов [23,39]. Наиболее сильное дефек- Исследования, результаты которых приведены в работообразование происходит при NZn > LZn. При этом те [4], показали, что применение полимерных диффуобласть, в которой наблюдается генерация дефектов, зантов в качестве источника легирующей примеси дает распространяется в объем полупроводника на большую весьма обнадеживающие результаты. Путем изменения Физика и техника полупроводников, 1999, том 33, вып. 262 Е.Г. Гук, А.В. Каманин, Н.М. Шмидт, В.Б. Шуман, Т.А. Юрре когда высокотемпературные термообработки проводятся на воздухе. Лучшие результаты (p, n = 150 300 мкс) близки к величинам, имевшимся в исходных монокристаллах</p><p>Для получения материала с малым временем жизни ННЗ при традиционном способе создания мощных высокочастотных диодов обычно вначале формируют кремниевую структуру с p-n-переходами, а затем при более низкой температуре (800-900C) вводят атомы Au либо Pt, чтобы создать необходимую концентрацию центров рекомбинации в базе. Разработка полимерных источников диффузии, включающих в свой состав элементоорганическое соединение золота, дала возможность впервые предложить способ диффузии глубоких примесей из ограниченного источника. В результате получена высокая однородность концентрации золота в объеме пластины Ч профиль распределения концентрации NAu не имел U-образного характера. Послойное измерение концентрации золота показало, что разброс NAu не превышал 5% как по толщине пластины, так и Рис. 6. ВИМС профили распределения бора в Si после по ее площади. Этот метод позволял получать воспродиффузии при условиях: 1 Ч 900C, 10 мин; 2 Ч 1000C, изводимые результаты независимо от истории образца;</p><p>10 мин</p><p>плотность дислокаций и концентрация мелкой примеси практически не влияли на результаты. Удалось получить величину NAu в пределах 1013-1015 см-3 с хорошей восконцентрации легирующей примеси в полимерном дифпроизводимостью результатов и проводить этот процесс фузанте можно воспроизводимо изменять концентрацию при высоких температурах (900-1200C), характерных примеси в приповерхностной области от 5 1017 до для диффузии мелких примесей [2]</p><p>1021 см-3, а выбором температурно-временного режима Вработе [47] исследовалась возможность совместной добиваться полной активации введенной примеси и полудиффузии бора и платины. Работа проводилась на поличения легированных областей с размером менее 100 нм</p><p>рованных и шлифованных пластинах n-Si с 0 = 5Омсм</p><p>На рис. 6 приведен ВИМС профиль распределения бора</p><p>После формирования пленки полимерного диффузанта проводилась его деструкция при 450Cв течение 30 мин и диффузия на воздухе в заданном режиме</p><p>2.2.2. Управление временем жизни неосновных Концентрация и однородность распределения Pt оценосителей заряда (ННЗ). Перед разработчиками нивались по величине и однородности величины p в полупроводниковых приборов стоят разные задачи: для базе диодных структур. При прочих равных условиях быстродействующих приборов предпочтителен материал (например, при диффузии в течение часа при 1200C) с малым временем жизни ННЗ, а для высоковольтных величина p в пластинах с шлифованной поверхностью в диодов и солнечных батарей Ч материал с высоким 3Ц4 раза ниже, чем в полированных. Из-за нестабильновременем жизни ННЗ. Использование полимерных дифсти твердого раствора PtЦSi скорость охлаждения после фузантов в технологии позволяет решать эти полярные диффузии также влияет на ее результаты. Так, например, задачи, управляя временем жизни в материале активохлаждение до 800C со скоростью 1C/мин повышает ной области прибора. Обычно для достижения высокого величину p в несколько раз. Поэтому в основном привремени жизни в ходе высокотемпературных термообработок используют методы, предотвращающие проникновение нежелательных примесей и дефектов Шоттки с поверхности пластины в объем [42,43], или методы, позволяющие удалить нежелательные примеси из объема как геттерированием жидкой фазой [44], так и геттерированием с последующим длительным отжигом в том интервале температур, в котором растворимость центров рекомбинации мала, а коэффициенты диффузии велики (700-900C) [45]. В работе [46] показано, что использование полимерных источников диффузии позволяет получить большие времена жизни дырок и электронов Рис. 7. Зависимость времени жизни дырок от времени (p, n) в кремниевых pin-структурах даже в условиях, совместной диффузии платины и бора</p><p>Физика и техника полупроводников, 1999, том 33, вып. Диффузия легирующих примесей из полимерных диффузантов и применение этого метода... менялась воздушная закалка Ч охлаждение пластин до щади пластины < 5%. Концентрация серы практически комнатной температуры за несколько секунд. При увели- не зависела от скорости охлаждения, от концентрации чении времени диффузии величина p убывает (рис. 7). дислокаций (в пределах 0-2 104 см-2), а также от типа Рост концентрации Pt с увеличением времени диффузии проводимости и 0. При прочих равных условиях, на может указывать на механизм диффузии, ограниченный концентрацию S влияла обработка поверхности исходпритоком вакансий, диффундирующих с поверхности и ных пластин: в шлифованном кремнии она примерно образующихся в объеме материала. Этот механизм был на порядок выше, чем в травленном. Это свидетельобнаружен ранее при диффузии золота в кремний [48]. ствует о том, что захват серы поверхностью кремния Судя по полученным минимальным величинам p, а происходит только на начальном этапе термообработки также по степени компенсации удельного сопротивления (как и в случае диффузии Al в окисляющей атмосфере), базы, в работе [47] предельная растворимость платины т. е. можно считать, что имела место диффузия S из ( 1016 см-3) не достигалась. Увеличение температуры ограниченного источника. Сера сравнительно свободно диффузии от 1100 до 1200C заметно повышает од- проникает через p+-слой, тогда как n+-слой задерживает нородность и воспроизводимость результатов, а также серу. Геттерирование введенной в кремний серы путем концентрацию платины. последующей диффузии фосфора малоэффективно. Так, Эксперименты в работе [47] были проведены с ис- после 4-часовой диффузии фосфора при 1230C конточниками, содержащими как избыток Pt, так и низкую центрация S в пластине толщиной 0.35 мм снизилась ее концентрацию, что обеспечивало диффузию как из всего в 3 раза. В то же время длительный отжиг при неограниченного, так и из ограниченного источника и 800C пластин с введенной серой незначительно снижал управление величиной времени жизни от 10 нс до 10 мкс. ее концентрацию. В последнем случае геттерирование за счет распада твердого раствора шло медленно, поскольку коэффициент диффузии серы при 800C слиш2.2.3. Влияние серы на параметры высоковольтком мал (< 10-10 см2 с-1). Пробивные напряжения ных приборов. Известно, что введение серы в крем(Ubr) диодных структур после введения серы снижались ний любым традиционным методом, например, в заи соответствовали величине удельного сопротивления паянной ампуле [49], неизбежно вызывает эрозию его базы. Следует заметить, что низкая эффективность гетповерхности. Это обстоятельство не позволяло провести терирования серы является положительным фактом в прямые исследования влияния серы на параметры послучае целенаправленного введения этого элемента в лупроводниковых приборов. Как известно, сера создает кремний при изготовлении приборов. Однако из этого в кремнии донорные уровни с энергиями Ed = 0.18 и же факта следует, что необходимо тщательно избегать 0.37 эВ и имеет коэффициент диффузии, превосходящий присутствия даже следов серы в технологической цепочна 3 порядка коэффициент диффузии Al [49]. Исследоке изготовления высоковольтных приборов, поскольку вания по диффузии серы в кремниевые высоковольтные именно сера может быть одной из причин снижения проструктуры из полимерных диффузантов проведены в бивных напряжений Si-приборов, а также термической работе [50]. Использование полимерного источника дифнестабильности Si [50]</p> <b>Pages</b> |<a href="10000-1-ref.php"> 1</a>|<a href="10000-2-ref.php"> 2</a>|<a href="10000-3-ref.php"> 3</a>|<a href="10000-4-ref.php"> 4</a>| <img src="images/doc.gif"> <a href="index-56.php"><b>Книги по разным тема</b></a> </div> </article> </div> <div class="col-md-4"> <aside id="secondary" class="widget-area"> <section id="block-3" class="widget widget_block"><h4>Закажи дипломную, курсовую, реферат через ВКонтакте</h4> <br> <br>  <div id="vk_groups"></div> <script type="text/javascript"> VK.Widgets.Group("vk_groups", {mode: 4, wide: 1, height: 400, color1: "FFFFFF", color2: "000000", color3: "5181B8"}, 209814955); </script>  <div id="yandex_rtb_R-A-636060-2"></div> <script> window.yaContextCb.push(()=>{ Ya.Context.AdvManager.render({ "blockId": "R-A-636060-2", "renderTo": "yandex_rtb_R-A-636060-2" }) }) </script> </section></aside> </div> </div> </div> </main> </section> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/bootstrap/js/bootstrap.min.js?ver=5484' id='bootstrap-js'></script> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/js/modernizr-2.8.3.min.js?ver=5484' id='modernizr-js'></script> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/js/jquery.nav.js?ver=5484' id='nav-js'></script> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/js/jquery.slicknav.js?ver=5484' id='jquery-slicknav-js'></script> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/js/jquery.stellar.min.js?ver=5484' id='jquery-stellar-js'></script> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/js/jquery.inview.min.js?ver=5484' id='jquery-inview-js'></script> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/owlcarousel/js/owl.carousel.min.js?ver=5484' id='owl-carousel-js'></script> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/js/jquery.mixitup.js?ver=5484' id='jquery-mixitup-js'></script> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/js/venobox.min.js?ver=5484' id='venobox-js'></script> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/js/jquery.magnific-popup.min.js?ver=5484' id='magnific-popup-js'></script> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/js/jquery.appear.js?ver=5484' id='appear-js'></script> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/js/slick.js?ver=5484' id='slick-js'></script> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/js/wow.min.js?ver=5484' id='wow-js'></script> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/js/scripts.js?ver=5484' id='hera-scripts-js'></script> <script src='/wp-content/themes/hera/assets/js/scrolltopcontrol.js?ver=5484' id='scrolltopcontrol-js'></script> <footer class="footer"> <div class="container"> <div class="row"> <div class="col-sm-12 text-center wow zoomIn"> <div class="footer_content copyright_text"> <p> Copyright © 2023. All rights Reserved. </p> </div> </div> </div> </div> </footer>   <script type="text/javascript" > (function(m,e,t,r,i,k,a){m[i]=m[i]||function(){(m[i].a=m[i].a||[]).push(arguments)}; m[i].l=1*new Date();k=e.createElement(t),a=e.getElementsByTagName(t)[0],k.async=1,k.src=r,a.parentNode.insertBefore(k,a)}) (window, document, "script", "https://mc.yandex.ru/metrika/tag.js", "ym"); ym(4976686, "init", { clickmap:true, trackLinks:true, accurateTrackBounce:true }); </script> <noscript><div><img src="https://mc.yandex.ru/watch/4976686" style="position:absolute; left:-9999px;" alt="" /></div></noscript>  <script src="//code.jivo.ru/widget/SJcRVelprK" async></script>  <script type="text/javascript">!function(){var e={"token":"+79202357777","position":"left","bottomSpacing":"","callToActionMessage":"Заказать диплом, курсовую онлайн","displayOn":"everywhere","subtitle":"Описание или время работы","message":{"name":"Заказать диплом или реферат","content":"Здравствуйте, ч могу вам помочь с дипломной, курсовой или другой работой? Пишите"}},t=document.location.protocol+"//bothelp.io",o=document.createElement("script");o.type="text/javascript",o.async=!0,o.src=t+"/widget-folder/widget-whatsapp-chat.js",o.onload=function(){BhWidgetWhatsappChat.init(e)};var n=document.getElementsByTagName("script")[0];n.parentNode.insertBefore(o,n)}();</script>  </body> </html>