Книги по разным тема
Pages | 1| 2| 3| 4| Физика и техника полупроводников, 1999, том 33, вып. 3 УДК 621.315.592 Диффузия легирующих примесей из полимерных диффузантов и применение этого метода в технологии полупроводниковых приборов Обз ор йЕ.Г. Гук, А.В. Каманин, Н.М. Шмидт, В.Б. Шуман, Т.А. Юрре Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия (Получен 3 июня 1997 г. Принят к печати 6 июля 1998 г.) Рассмотрены особенности нетрадиционного метода диффузии из полимерных диффузантов различных примесей в кремний и полупроводниковые соединения AIIIBV. Приведены результаты использования этого метода в технологии полупроводниковых приборов на кремнии и г
Книги по разным тема
Pages | 1| 2| 3| 4| Физика и техника полупроводников, 1999, том 33, вып. 3 УДК 621.315.592 Диффузия легирующих примесей из полимерных диффузантов и применение этого метода в технологии полупроводниковых приборов Обз ор йЕ.Г. Гук, А.В. Каманин, Н.М. Шмидт, В.Б. Шуман, Т.А. Юрре Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия (Получен 3 июня 1997 г. Принят к печати 6 июля 1998 г.) Рассмотрены особенности нетрадиционного метода диффузии из полимерных диффузантов различных примесей в кремний и полупроводниковые соединения AIIIBV. Приведены результаты использования этого метода в технологии полупроводниковых приборов на кремнии и г