Федеральная целевая программа "национальная технологическая база" на 2007 2011 годы паспор тфедеральной целевой программы

Вид материалаПрограмма
Подобный материал:
1   ...   14   15   16   17   18   19   20   21   22
106

72

51

34

55

38

-

-

-

создание базовых технологий изготовления элементов микроаналитических систем,

чувствительных к газовым,

химическим и биологическим компонентам внешней среды, предназначенных для использования в аппаратуре жилищно-коммунального хозяйства, в медицинской и биомедицинской технике для обнаружения токсичных,

























горючих и взрывчатых материалов


38.

Разработка базовых конструкций микроаналитических систем

224

164

-

-

64

30

102

86

58

48

создание базовых конструкций микроаналитических систем, предназначенных для аппаратуры жилищно-коммунального хозяйства, медицинской и биомедицинской техники;

разработка датчиков и аналитических систем миниатюрных размеров с высокой чувствительностью к сверхмалым концентрациям химических веществ для осуществления мониторинга окружающей среды, контроля качества пищевых продуктов и контроля утечек опасных и вредных веществ в технологических процессах


39.

Разработка базовых технологий микрооптоэлектромеханических систем


151

109

57

38

59

41

35

30

-

-

создание базовых технологий выпуска трехмерных оптических и акустооптических функциональных элементов, микрооптоэлектромеханических систем для коммутации и модуляции оптического излучения, акустооптических перестраиваемых фильтров, двухмерных управляемых матриц микрозеркал микропереключателей и фазовращателей


40.

Разработка базовых конструкций микрооптоэлектромеханических систем

208

145

-

-

35

30

112

75

61

40

разработка базовых конструкций и комплектов, конструкторской документации на изготовление

























микрооптоэлектромеханических систем коммутации и модуляции оптического излучения


41.

Разработка базовых технологий микросистем анализа магнитных полей


106

72

51

34

55

38

-

-

-

создание базовых технологий изготовления микросистем анализа магнитных полей на основе анизотропного и гигантского магниторезистивного

эффектов, квазимонолитных и монолитных гетеромагнитных пленочных структур




























42.

Разработка базовых конструкций микросистем анализа магнитных полей

214

137

-

-

54

30

104

69

56

38

разработка базовых конструкций и комплектов конструкторской документации на магниточувствительные микросистемы для применения в электронных системах управления приводами, в датчиках положения и потребления, бесконтактных переключателях

43.

Разработка базовых технологий радиочастотных микроэлектро-механических систем


119

89

42

28

45

31

32

30

-

-

разработка и освоение в производстве базовых технологий изготовления радиочастотных микроэлектромеханических систем и компонентов, включающих микрореле, коммутаторы, микропереключатели




























44.

Разработка базовых конструкций радиочастотных микроэлектромеханических систем

166

119

-

-

32

30

87

58

47

31

разработка базовых конструкций и комплектов конструкторской документации на изготовление радиочастотных микроэлектромеханических систем – компонентов, позволяющих получить резкое улучшение массогабаритных характеристик, повышение технологичности и снижение стоимости изделий


45.

Разработка методов и средств обеспечения создания и производства изделий микросистемной техники

81

54

41

30

40

24

-

-

-

создание методов и средств контроля и измерения параметров и характеристик изделий микросистемотехники, разработка комплектов

стандартов и нормативных документов по безопасности и экологии































Всего по направлению 3


2768

1845

429

286

476

317

540

360

858

572

465

310










Направление 4 "Микроэлектроника"


46.

Разработка технологии и развитие методологии проектирования изделий микроэлектроники:

разработка и освоение современной технологии проектирования универсальных микропроцессоров, процессоров обработки сигналов, микроконтроллеров и "системы на кристалле"

на основе каталогизированных сложнофункциональных блоков и библиотечных элементов, в том числе создание отраслевой базы данных и технологических файлов для автоматизированных систем проектирования;

освоение и развитие технологии

443

212,6

173

87

148,9

76,6

121,1

49

-

-

разработка комплекта нормативно-технической документации по проектированию изделий микроэлектроники, создание отраслевой базы данных с каталогами библиотечных элементов и сложнофункциональных блоков с каталогизированными результатами аттестации на физическом уровне (2008 г.),

разработка комплекта нормативно-технической и технологической документации по взаимодействию центров проектирования в сетевом режиме





проектирования для обеспечения технологичности производства и стабильного выхода годных с целью размещения заказов на современной базе контрактного производства с технологическим уровнем до 0,13 мкм























47.

Разработка и освоение базовой технологии производства фотошаблонов с технологическим уровнем до 0,13 мкм с целью обеспечения информационной защиты проектов изделий микроэлектроники при использовании контрактного производства (отечественного и зарубежного)


64

42,7

30

20

22

14,7

12

8

-

-

разработка комплекта технологической документации и организационно- распорядительной документации по взаимодействию центров проектирования и центра изготовления фотошаблонов


48.

Разработка семейств и серий изделий микроэлектроники:

универсальных микропроцессоров для встроенных применений; универсальных микропроцессоров для серверов и рабочих станций; цифровых процессоров обработки сигналов;

сверхбольших интегральных схем, программируемых логических интегральных схем; сверхбольших интегральных схем быстродействующей динамической и статической памяти; микроконтроллеров со встроенной энергонезависимой электрически программируемой памятью; схем интерфейса дискретного ввода/вывода; схем аналогового интерфейса;

цифро-аналоговых и аналого-цифровых преобразователей

1050,9

617,8

284

151

336,7

180

430,2

286,8

-

-

разработка комплектов документации в стандартах единой системы конструкторской, технологической и производственной документации,

изготовление опытных образцов изделий и организация серийного производства




на частотах выше 100 МГц с разрядностью более 8 – 12 бит; схем приемопередатчиков шинных интерфейсов; изделий интеллектуальной силовой микроэлектроники для применения в аппаратуре промышленного и бытового назначения; встроенных интегральных источников питания























49.

Разработка базовых серийных технологий изделий микроэлектроники:

цифро-аналоговых и аналого-цифровых преобразователей на частотах выше 100 МГц с разрядностью более 14 – 16 бит

802.11, 802.16, WiMAX и т.д.;

микроэлектронных сенсоров

1801,6

1200,9

-

-

-

799,8

533,1

1001,8

667,8

разработка комплектов документации в стандартах единой системы конструкторской, технологической и производственной документации, изготовление опытных образцов изделий и

организация

серийного производства

.

различных типов, включая сенсоры с применением наноструктур и биосенсоров;

сенсоров на основе магнитоэлектрических и пьезоматериалов; встроенных интегральных антенных элементов для диапазонов частот 5 ГГц, 10-12 ГГц; систем на кристалле, в том числе в гетероинтеграции сенсорных и исполнительных элементов методом беспроводной сборки с применением технологии матричных жестких выводов























50.

Разработка технологии и освоение производства изделий микроэлектроники с технологическим уровнем 0,13 мкм

513,4

342,3

51

34

252,4

168,3

210

140

-

-

разработка комплектов документации в стандартах единой системы конструкторской, технологической и ввод в эксплуатацию производственной линии

51.

Разработка базовой технологии формирования многослойной разводки (7-8 уровней) сверхбольших интегральных схем на основе Al и Cu

894,8

596,2


-

-

-

146,3

97,3

748,5

498,9

разработка комплектов документации в стандартах единой системы конструкторской, технологической и производственной документации,

ввод в эксплуатацию производственной линии


52.

Разработка технологии и организация производства многокристальных микроэлектронных модулей для мобильных применений с использованием полимерных и металлополимерных микроплат и носителей

494,2

294,2

-

-

211,1

105,6

166,4

110,9

116,7

77,7

разработка комплектов документации в стандартах единой системы конструкторской, технологической и производственной документации,

ввод в эксплуатацию производственной линии


53.

Разработка новых методов технологических испытаний изделий микроэлектроники, гарантирующих их

258

258

85

85

68

68

105

105

-

-

разработка комплектов документации в стандартах единой системы конструкторской, технологической и

.

повышенную надежность в процессе долговременной (более 100 000 часов) эксплуатации, на основе использования типовых оценочных схем и тестовых кристаллов




















производственной документации, ввод в эксплуатацию специализированных участков

54.

Разработка современных методов анализа отказов изделий микроэлектроники с применением ультраразрешающих методов (ультразвуковая гигагерцовая микроскопия, сканирование синхротронным излучением, атомная и туннельная силовая микроскопия, электронно – и ионно-лучевое зондирование и др.)


342

342

115

115

132

132

95

95

-

-

разработка комплектов документации, включая утвержденные отраслевые методики, ввод в эксплуатацию модернизированных участков и лабораторий анализа отказов




Всего по направлению 4



5861,9

3906,7

738

492

960

639,6

1184,4

789,4

1112,5

741,3

1867

1244,4































Направление 5 "Электронные материалы и структуры"


55.

Разработка технологии производства новых диэлектрических материалов на основе ромбоэдрической модификации нитрида бора и подложек из поликристаллического алмаза

132

85

54

36

51

32

27

17

-


-

внедрение новых диэлектрических материалов на основе ромбоэдрической модификации нитрида бора и подложек из поликристаллического алмаза с повышенной теплопроводностью и электропроводностью для создания нового поколения высокоэффективных и надежных сверхвысокочастотных приборов


56.

Разработка технологии производства гетероэпитаксиальных структур и структур гетеробиполярных транзисторов на основе нитридных соединений А3В5 для мощных

полупроводниковых приборов и сверхвысокочастотных монолитных интегральных схем