Рассматривается напряженно-деформированное состояние в кварцекристаллическом чувствительном элементе (ЧЭ) пьезорезонансного датчика давления
Вид материала | Документы |
- Тема Напряженно-деформированное состояние (ндс) верхних горизонтов земной коры, 222.92kb.
- Напряжённо-деформированное состояние безнапорных железобетонных труб большого диаметра, 591.53kb.
- Гольдин С. В., Суворов В. Д. (Ингг со ран, г. Новосибирск), Макаров П. В., Стефанов, 12.26kb.
- Исследование строения и влияния разломов на напряженно-деформированное состояние литосферных, 247.69kb.
- П. С. Казновский Показана существенная роль экспериментального определения декрементов, 61.3kb.
- Напряженно-деформированное состояние элементов проезжей части на безбалластном мостовом, 344.88kb.
- Исследование процессов аварий трубопроводного транспорта в условиях геодинамических, 79.99kb.
- Авиационная медицина, 138.33kb.
- Роль атмосферного давления в поведении рыбы, 42.82kb.
- Л. М. Чирок Математическая модель электрохимического датчика, 44.36kb.
УДК 551(06) Математическое моделирование физических процессов
В.Н. СИМОНОВ, Н.Л. МАТИСОН
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ НАПРЯЖЕННОГО
СОСТОЯНИЯ В ПЬЕЗОРЕЗОНАНСНОМ ДАТЧИКЕ ДАВЛЕНИЯ
Рассматривается напряженно-деформированное состояние в кварцекристаллическом чувствительном элементе (ЧЭ) пьезорезонансного датчика давления. Цель работы – создание точной математической модели пьезорезонансного сенсора для САПР датчиков давления данного класса и выявление резервов повышения их точности. В основе модели лежит метод конечных элементов и многофункциональный программный комплекс ANSYS. Исследуются влияние формы и геометрических размеров деталей, механических параметров материала соединительных элементов, анизотропии упругих свойств кварца и т.д. на распределение механических напряжений в мембране и тензочувствительном резонаторе ЧЭ.