Обеспечение и ускоренная оценка качества микросхем по результатам физико-технической экспертизы
| Вид материала | Автореферат |
- Качество подготовки специалистов оценка качества знаний, 961.03kb.
- Методическое руководство для выполнения контрольной работы по дисциплине «Оценка качества, 379.78kb.
- Программа-минимум кандидатского экзамена по специальности 05. 02. 07 «Технология, 256.06kb.
- 05. 02. 07 Технология и оборудование механической и физико-технической обработки, 24.16kb.
- Задачи и объекты экспертизы следов транспортных средств. 17. Назначение экспертизы, 32.27kb.
- Постановления Правительства Российской Федерации от 24 апреля 2003 года n 238 "Об организации, 2030.16kb.
- Постановления Правительства Российской Федерации от 24 апреля 2003 года n 238 "Об организации, 2065.23kb.
- Техническое задание на проведение строительно-технической экспертизы I. Заказчик (инициатор), 41.51kb.
- Лекции, лабораторные занятия, курсовая работа, консультации, самостоятельная работа, 23.03kb.
- По результатам аттестационной экспертизы специальности 020700 «История», 517.25kb.
41. Дорошевич В.К., Истомин Е.В., Щербаков С.В., Старостин О.В., Циникин А.П., Дегтярев Е.В., Толкачев А.А., Кулага И.Г., Игнатьев В.В., Суслов В.М., Долидзе В.Ч., «Перечень электрорадиоизделий, разрешенных к применению при разработке (модернизации), производстве и эксплуатации аппаратуры, приборов, устройств и оборудования военного назначения», МОП 44 001.01-21 2008
42. Отчет по НИР «Исследование нормативно-правового и организационно-методического обеспечения проведения работ по снятию с производства изделий электронной техники и разработка макета специального программного обеспечения для автоматизации их информационного сопровождения» (шифр «Феонит»), / научный руководитель/, ФГУ «22 ЦНИИИ Минобороны России», 2008.
43. Отчет по НИР «Военно-научное сопровождение комплекса работ по организации планирования производства номенклатуры электро-радиоизделий категории качества «ОС», необходимой для комплектации высоконадежной радиоэлектронной аппаратуры при разработке (модернизации) и производстве образцов ВВТ в соответствии с ГПВ» (шифр «Шагомер»),/ заместитель научного руководителя/, ФГУ «22 ЦНИИИ Минобороны России», 2008.
44. Отчет по НИР "Комплексное исследование проблем организации, дальнейшего развития и использования единой системы каталогизации предметов снабжения ВС РФ как составной части Федеральной системы каталогизации продукции для федеральных государственных нужд" (шифр "Кодировщик–3"), / заместитель научного руководителя/, ФГУ «22 ЦНИИИ Минобороны России», 2008.
45. Дорошевич В.К., Истомин Е.В., Щербаков С.В., Старостин О.В., Вдовенко В.С., Криницкий А.В., Дегтярев Е.В., Толкачев А.А., Кулага И.Г., Семенчук В.В., Фионов А.Н., Долидзе В.Ч., «Перечень электрорадиоизделий, разрешенных к применению при разработке (модернизации), производстве и эксплуатации аппаратуры, приборов, устройств и оборудования военного назначения», МОП 44 001.01-21 2009.
46. Отчет по НИР «Исследования и анализ номенклатуры изделий ЭРИ межвидового применения, изготавливаемой предприятиями государств-участников СНГ в интересах разработки (модернизации) и производства российских ВиВТ» (шифр «Кооперация 2009 -22 ЦНИИИ»), / заместитель научного руководителя/, ФГУ «22 ЦНИИИ Минобороны России», 2009.
47. Отчет по НИР «"Комплексное исследование проблем организации, дальнейшего развития и использования единой системы каталогизации предметов снабжения ВС РФ как составной части Федеральной системы каталогизации продукции для федеральных государственных нужд" (шифр «Кодировщик-3»), / заместитель научного руководителя/,
ФГУ «22 ЦНИИИ Минобороны России», 2009.
Сокращенный маршрут проведения физико-технической экспертизы
Таблица 1
| № п/п | Наименование этапа | Название операции | Проверочные показатели качества | Метод контроля | Приборы и оборудование | Время анализа | Критерии качества | Возможные виды брака |
| Технологическая операция | ||||||||
| 1. | Диагностика по внешним выводам | 1.Контроль стати-ческих и динамиче-ских параметров | Ток, напряжение, со- противление, время | Программа контроля статических и динамических параметров ИС | АИС | | Соответствие ТЗ, ТУ | |
| 2. | Контроль качества корпуса и сборочных операций | 1.Контроль гермети- чности и состава среды 2.Контроль качества покрытия 3. Акустическая микроскопия | а) герметичность б) состав среды Элементный состав Однородность а) качество сварных соединений б) термостабильность в) контроль мех. напряжений г) качество посадки | Методика 2 РД 22.12.174 Метод 405-1.3 ОСТ 11. 073.013-83 Методики 3, 5 РД22.12.174 ОСТ 11 14.1012 Методика 6 РД 22.12.174 Метод 38 ОСТ 11 14.1012 | Масс-спектро- метр КФУЛ 413.599. 001 Электр.микр. ОЖК-спектр Акустический микроскоп (Германия) | 10 ч 1 ч 7-10 ч | Соответствие ТД Золотое пок- рытие I Au/I > 0.6 (CO2) в Al<2% Пустоты, микротрещены, концентрация мех. напряжений | Механичес-кие повре- ждения Эрозия, отслаивание |
| 3 | Контроль качества кристалла | 1.Контроль термоста-бильности диэлектри-ка 2.Контроль стабиль-ности металлизации и электромиграция 3.Контроль состава изолируещего диэлек- трика (ИД) 4.Контроль распреде- ления времени жизни ННЗ по площади пластины | Наличие подвижного заряда Величина сопротивления Элементный состав Время жизни ННЗ в эпитаксиальных слоях КОЭС | Методика 13 РД 22.12.174 Динамические ВАХ МДП структур при повышенной Т метод смещения ВФХ МДП-структур Метод 40 ОСТ 11 14.1012 Методики 3, 5 РД22.12.174 ОСТ 11 14.1012 Методика 23, 24, 25 РД 22.12.174 Затухание отражённо- го от структуры опор- ного сигнала при воз- буждении ННЗ моду-лированным излуче-нием | Измеритель ДВАХ Измеритель ВФХ Установка Электр.микр. ОЖК-спектр Генератор опор- ного сигнала, генератор возбуждающего излучения, модулятор, фотоприёмник, осциллограф | 1 ч 2 ч 25-30 с изм. | Соответствие ТД Увеличение элек- трического сопро-тивления Соответствие ТД Разброс значений времени жизни ННЗ по площади структуры менее 5-7% | Параметриче- ские отказы Уход параме- тров |