Свойства млэ пленок нитрида алюминия

Вид материала

Документы

Подобный материал:

• Республика Дагестан Дагестанский государственный технический университет, 543.8kb.
• «Обзор методов получения пленок и их свойств», 131.51kb.
• Удк 539. 2 Пленки алмаза и кубического нитрида бора, 75.03kb.
• Процесс получения и свойства нанопорошков алюминия, приготовленных из массивных алюминиевых, 31.57kb.
• Тема урока: «Алюминий – химический элемент, простое вещество». Цели урока: Обучающая, 76.59kb.
• Электропроводность тонких пленок ni и сплавов ni-Cu в слабых магнитных полях в интервале, 253.63kb.
• Реферат по курсу материаловедение на тему «Свойства алюминия и его сплавов», 115.17kb.
• Реферат по курсу стонх на тему «Свойства алюминия и его сплавов», 110.32kb.
• Объявление о защите кандидатской диссертации, 317.31kb.
• Тема: " Арсенид индия. Свойства, применение. Особенности получения эпитаксиальных пленок.", 235.74kb.

Свойства МЛЭ пленок нитрида алюминия


Мансуров В. Г., Журавлев К. С., Свиташева С. Н.


В работе рассмотрено влияние режима нитридизации сапфировой подложки на последующий рост МЛЭ пленок нитрида алюминия. Эволюция поверхностной морфологии изучалась in situ отражательной дифракцией электронов высоких энергий (RHEED) и post situ атомно силовой микроскопией (AFM). Было обнаружено, что на совершенно гладкой пленке AlN вырастает заметное количество дефектов типа «хилоков». Продемонстрировано улучшение морфологии выращенных МЛЭ пленок путем модификации начальной подготовки подложки Al₂O₃. Реконструкционый фазовый переход 2x21x1 на поверхности (0001) AlN , был изучен путем анализа кинетических зависимостей интенсивности рефлексов дифракционной картины, полученной методом RHEED при различных температурах и парциальных давлениях аммиака во время роста пленок.

С помощью спектральной эллипсометрии и атомно силовой микроскопии была установлена корреляция между концентрацией дефектов роста типа «хилоков» и кажущимися оптическими константами «дефектной» поверхности пленок AlN, что позволяет, не разрушая образца, контролировать качество выращенных пленок AlN.

Сочетание современных методов исследования позволило понять физику осаждения нитрида алюминия и улучшить качество выращенных МЛЭ пленок.