Обслуживание установки нанесения упрочняющих покрытий УВНИПА-1-001
Курсовой проект - Разное
Другие курсовые по предмету Разное
Введение
В основе вакуумной ионно-плазменной технологии получения покрытий положен принцип осаждения частиц (атомов, ионов, кластеров) на поверхности изделий в вакууме из плазмы, генерируемой тем или иным способом. При этом объемные свойства обрабатываемых изделий не нарушаются, а изменяются свойства поверхности, придавая ей требуемые функциональные характеристики.
В отличии от других способов получения покрытий (гальванический, лакокрасочный и др.) данный метод выгодно отличается экологической чистотой и возможностью получения широкого спектра покрытий различных как по составу, структуре и свойствам.
Вакуумно ионно-плазменный метод относится к области высоких технологий и находит самое широкое применение в современном производстве.
На сегодняшний день на предприятии работают две технологические линии, предназначенные для нанесения покрытий различного функционального назначения.
1. Анализ технического задания
Для систематизации, закрепления и расширения теоретических и практических знаний и навыков по предмету Наладка и эксплуатация оборудования для термических и вакуумно - элионных процессов введена курсовая работа на тему: Обслуживание установки нанесения упрочняющих покрытий УВНИПА-1-001. Двухпороговый компаратор. В содержание должно входить: назначение устройства и принцип его работы, порядок подготовки к работе, экология, охрана труда, техническая обслуживание, неисправности и методы их устранения, а также разработанный алгоритм аттестации вакуумной системы.
Обзор современного оборудования магнетронного напыления (ОРАТОРИЯ)
Примененные на этих установках магнетроны ООО "ИОНТЕК С" отличают следующие основные преимущества:
использование мишеней простой геометрической конфигурации взамен дорогостоящих сборных и профилированных;
низкотемпературный режим нанесения покрытий;
использование водоохлаждаемого анода для сбора электронного тока
90/5-01(-02) были успешно внедрены в производстве серийной продукции на предприятиях.
В настоящее время, на основании накопленного опыта разработок магнетронных распылительных устройств для распыления ферромагнитных материалов, включая химически чистое железо, для установок Оратория-29 и Оратория-2М спроектировано и изготовлено для НПО ИТ (МО, г. Королев) магнетронное распылительное устройство PM1-212112/5-02 для распыления сплошных мишеней из ферромагнитных материалов: Ni - толщиной 12 мм, Fe и пермаллой (80%Ni/20) - от 6 мм.
Это свидетельствует о том, что магнетронное распыление высшая ступень технического уровня и за ним будущее.
. Назначение, устройство и принцип работы вакуумной системы
Назначение:
Установка предназначена для нанесения алмазоподобных упрочняющих покрытий на режущий инструмент, микроинструмент и изделия, работающие на трение и износ.
Установка изготовлена в исполнении УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15150-69 и предназначена для работы в помещениях, характерных незначительными избытками явного тепла (84 кДж/м3ч и менее), соответствующихСН245-71 для категории работ средней тяжести при атмосферном давлении (100040) гПа (75030) мм. рт. ст.
Питание установки осуществляется от трёхфазной 4-проводной сети переменного тока напряжением 380 В, частотой 50 Гц.
Нормы качества электрической энергии по ГОСТ 13109-67.
Установка обеспечивает работу при подаче:
1)холодной водопроводной воды ГОСТ 2874-82 под давлением 0,3 МПа- 0,4 МПа (3,06 кгс/см2 - 4,08 кгс/см2) с температурой на входе 288 К5 К
(15 * С 5*С) и с расходом не менее 1,2 м3/ч;
2)горячей водопроводной воды ГОСТ 2874-82 с температурой на входе 358 К 5 К (85* С 5* С) и с расходом не менее 0,8 м3/ч;
3)сжатого воздуха кл. 5 ГОСТ 17433-80 под давлением 0,5 МПа-0,6 МПа (5,1 кгс/см2 - 6,12 кгс/см2);
4)азота жидкого технического первого сорта ГОСТ 9293-74 в сосудах криогенных типа АСД-16 ГОСТ 16024-79;
5)азота газообразного, высшего сорта ГОСТ 9293-74;
6)аргона газообразного по ГОСТ 10157-79;
Основные технические данные и характеристики
Габаритные размеры установки 3000x1760x2000 мм.
Масса установки не более 2500, кг.
Количество вращающихся позиций для установки обрабатываемых деталей не более 54 шт.
Время достижения давления 13,3 Па (Ю-1 мм. рт. ст.) в рабочей камере не более 3 мин.
Предельное статочное давление в рабочей камере с использованием жидкого азота (КР) - не более 1.33 10"4 Па (Ю-6 мм. рт. ст).
Примечание: знаком (КР) отмечены параметры, которые являются критериями работоспособности.
Время достижения давления 1.33* 10~4 Па (Ю-6 мм. рт. ст) в рабочей камере (КР) не более 30 мин.
Суммарное натекание и газоотделение в рабочую камеру (КР) не более 13,3 м3 мкПа/с (Ю-4 л. мм. рт. ст./с).
Система напуска газа обеспечивает напуск технологического газа по двум каналам в рабочую камеру в диапазоне от 1.3 10 4 Па (10"5 мм. рт. ст) до 4-Ю"1 Па (3 10 ~3 мм. рт. ст.).
Приводы каруселей обеспечивают независимое вращение дисков каруселей с частотой вращения не менее 1,5 об/мин.
Привод заслонки обеспечивает перевод и фиксацию в следующих положениях:
) источник ионов закрыт;
) источник ионов открыт.
Источник питания генератора углеродной плазмы обеспечивает следующие параметры:
1)диапазо