Исследование производительности работы магнетронной распылительной системы с жидкометаллической мишенью
Дипломная работа - Разное
Другие дипломы по предмету Разное
тавлено моделирование конструкции магнетрона с жидкометаллической мишенью с дополнительной магнитной системой. Результаты моделирования представлены на рисунке 13.
Рисунок 13- Распределение магнитного поля магнетрона с жидкометаллической мишенью с дополнительной магнитной системой в пакете программ ELCAT.
Для примера можно привести другие конструкции магнетрона с жидкометаллической мишенью, которые представлены на рисунке 14.
Силовые линии магнитного поля конструкций магнетронов в жидкометаллической мишенью с конусным наконечником и без него изображены на рисунке 15. Из данного рисунка видно, что силовые линии магнитного поля распределены по-разному.
Рисунок 14 - Геометрическая модель магнетрона с жидкометаллической мишенью в пакете программ ELCATа) без полюсногонаконечника, б) с полюсным наконечником.
С конструкции с полюсным наконечником плазма будет гореть непосредственно над поверхностью мишени, что препятствует прогрессивному распылению корпуса МРС.
Рисунок 15 - Геометрическая модель магнетрона с жидкометаллической мишеньюв пакете программELCAT с силовыми линиями магнитного поля а) без полюсного наконечника, б) с полюсным наконечником.
Величина индукции магнитного поля для сравнительной конструкции изображена на рисунке 16.
Рисунок 16 - Величина индукции магнитного поля на поверхности магнетрона с жидкометаллической мишенью а) без полюсного наконечника, б) с полюсным наконечником.
Из данных графиков видно, что величина индукции магнитного поля МРС без полюсного наконечника сравнительно меньше, чем в конструкции магнетрона с жидкометаллической мишенью с наконечником и составляет 58 и 87 мТл соответственно.
.3 Конструирование жидкофазного магнетрона с помощью
инструментов для автоматизированного проектирования AutoCAD
(англ. Computer-Aided Design) - 2- и 3-мерная система автоматизированного проектирования и черчения, разработанная компанией Autodesk и на начальных этапах существования этой фирмы - основа её бизнеса. AutoCAD является наиболее распространённой САПР в мире благодаря средствам черчения [16].2004 дает проектировщику все необходимые средства для оформления чертежей: широкий набор графических примитивов, средства для автоматического нанесения размеров, штриховки, заливки, инструменты для копирования, поворота, масштабирования создаваемых объектов, функции для компоновки чертежей и последующего их вывода на печать, возможность создания собственных библиотек чертежей и часто применяемых элементов.
В AutoCAD можно создавать 3D-модели и формировать чертежи уже на их основе, можно вести коллективную работу над проектом, можно связывать информацию, присутствующую на чертеже, с внешними базами данных.
Ключевая особенность AutoCAD - это его неисчерпаемые возможности настройки. Менять можно что угодно: пользовательские меню, систему команд, стили отображения объектов. Развитый интерфейс программирования, поддерживающий языки AutoLISP, Visual Lisp, Visual Basic for Applications и даже C++, дает возможность пользователю строить собственные системы автоматизированного проектирования, в полной мере пользуясь функционалом AutoCAD. Благодаря этому, AutoCAD стал общепринятой платформой для создания САПР [17].
При создании рисунка могут использоваться различные стандарты. Иногда они диктуются государственными и отраслевыми стандартами или нормами предприятия, иногда - требованиями заказчика. Ключевой момент как для непосредственных исполнителей, так и для руководителей групп, контролирующих ход выполнения проекта, - грамотная подготовка начальных параметров рисунка [18].
Для разработки чертежей конструкции МРС с жидкометаллической мишенью использовалась программа AutoCAD 2004. Был разработан комплект чертежей. Общий корпус данного чертежа представлен на рисунке17.
Рисунок 17-Общий корпус магнетрона с жидкометаллической мишенью.
В ходе работы была освоена методика работы в среде AutoCAD. Размеры данной МРС небольшие, так как это устройство используется в лабораторных целях и, тем самым, не нужно применять мощные источники питания.
Материалы составных частей:
мишень (свинец);
тигель (молибден);
корпус (сталь 3);
фланец (сталь 3);
постоянные магниты(SmCo)
3. Методы исследования параметров тонких пленок
.1 Методы измерения толщины тонкопленочных покрытий
Пленка в зависимости от толщины имеет разные свойства. Какими же способами определяется толщина тонкопленочных покрытий[7]?
Существует огромное количество методов для определения толщины пленок. В данной работе измерение толщины тонкопленочных покрытий будет осуществляться методом ступеньки. Данный метод является самым надежным. Присутствует образец свидетель (специальные пластинки, на которые наносится пленки в тех же условиях). Если пленка непрозрачна, а в некоторых случаях также и при исследовании прозрачных пленок, на образце делается ступенька (часть поверхности остается без пленки). Ступеньку можно получить экранирования части поверхности при нанесении пленки или вытравливании канавки специальным реактивом, растворяющим пленку, но не действующим на деталь[19].
Толщина является основным параметром тонких пленок. Стандартные методы прямого измерения толщины заключаются в определении разности высот между границами пленка-подложка и пленка-поверхность или пленка-пленка в случае многослойных структ?/p>