Исследование производительности работы магнетронной распылительной системы с жидкометаллической мишенью
Дипломная работа - Разное
Другие дипломы по предмету Разное
В°щения: 11.05.2010).
. Патент России № 2085840, Оптический профилометр, И.Е. Кожеватов; Е.Х. Куликова; Н.П.Черагин, 27.07.1997г.
. ОАО Завод ПРОТОН-МИЭТ Паспорт 130.0.01-ПС Сертификат об утверждении типа средств измерений РФRU.C.27.004.A №26057 от 15.12.2006г., срок до 01.01.2012г. №33319-06 в Государственном реестре средств измерений РФ. - Москва 2007.
. Г.А. Блейхер, В.П. Кривобоков, Р.С. Третьяков, А.В. Юрьева. Тепловые и эрозионные процессы при работе магнетронных распылительных систем с неохлаждаемыми мишенями // Изв. вузов.Физика.- 2009.- 11/2.- С. 180 -185.
. Данилин Б.С., Какурин М.В., Минайчев В.Е., Одиноков В.В., Сырчин В.К. // Электронная техника. Сер. Микроэлектроника.- 1978.- В. 2(24).- С. 84-87.
. Степень черноты [Электронный ресурс]. - Режим доступа:
тонкопленочный вакуум магнетрон жидкофазный
Приложение
Рисунок А1 -Профиль поверхности образца №1, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, используя дополнительную магнитную систему. Толщина 3,36мкм.
Рисунок А2 -Профиль поверхности образца №2, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, используя дополнительную магнитную систему. Толщина 6,88 мкм.
Рисунок А3 -Профиль поверхности образца №3, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, используя дополнительную магнитную систему. Толщина 7,7 мкм.
Рисунок А4 -Профиль поверхности образца №4, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, используя дополнительную магнитную систему. Толщина 10,9 мкм.
Рисунок А5 -Профиль поверхности образца №5, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, используя дополнительную магнитную систему. Толщина 20,2 мкм.
Рисунок А6 -Профиль поверхности образца №6, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, используя дополнительную магнитную систему. Толщина 31 мкм.
Рисунок А7 -Профиль поверхности образца №7, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, используя дополнительную магнитную систему. Толщина 14,9 мкм.
Рисунок А8 -Профиль поверхности образца №8, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, используя дополнительную магнитную систему. Толщина 15 мкм.
Рисунок А9 -Профиль поверхности образца №9, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, без дополнительной магнитной системы (расстояние мишень подложка 15см. Толщина 8,5 мкм.
Рисунок А10 -Профиль поверхности образца №10, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, без дополнительной магнитной системы (расстояние мишень подложка 15см. Толщина 11 мкм.
Рисунок А 11 -Профиль поверхности образца №11, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, без дополнительной магнитной системы (расстояние мишень подложка 15см). Толщина 17,5 мкм.
Рисунок А12 -Профиль поверхности образца №12, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, без дополнительной магнитной системы (расстояние мишень подложка 15см).Толщина 21,6 мкм.
Рисунок А13 -Профиль поверхности образца №13, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, без дополнительной магнитной системы (расстояние мишень подложка 15см).Толщина 25,1 мкм.
Рисунок А14 -Профиль поверхности образца №14, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, без дополнительной магнитной системы (расстояние мишень подложка 15см).Толщина 21 мкм.
Рисунок А15 -Профиль поверхности образца №15, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, без дополнительной магнитной системы (расстояние мишень подложка 15см).Толщина 9,5 мкм.
Рисунок А16 -Профиль поверхности образца №16, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, без дополнительной магнитной системы (расстояние мишень подложка 15см).Толщина 12,9 мкм.
Рисунок А17 -Профиль поверхности образца №17, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, без дополнительной магнитной системы (расстояние мишень подложка 13см).Толщина 7,1 мкм.
Рисунок А18 -Профиль поверхности образца №18, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, без дополнительной магнитной системы (расстояние мишень подложка 13см).Толщина 7,8 мкм.
Рисунок А19 -Профиль поверхности образца №19, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, без дополнительной магнитной системы (расстояние мишень подложка 13см).Толщина 19,5 мкм.
Рисунок А20 -Профиль поверхности образца №20, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, без дополнительной магнитной системы (расстояние мишень подложка 13см.Толщина 18,7 мкм.
Рисунок А21 -Профиль поверхности образца №21, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, без дополнительной магнитной системы (расстояние мишень подложка 13см).Толщина 31,9 мкм.
Рисунок А22 -Профиль поверхности образца №22, полученного с помощью магнетрона с жидкометаллической мишенью, без дополнительной магнитной системы (расстояние мишень подложка 13см).Толщина 27,9 мкм.