Характеристики микромеханических реле на основе тонких слоистых исполнительных элементов
Дипломная работа - Физика
Другие дипломы по предмету Физика
?лтунов, А.А. Жуков. Исследование механических характеристик подвижных исполнительных элементов на основе гальванического никеля для устройств микросистемной техники, 2с., 2010, VIII научно-техническая конференция Микротехнологии в космосе с международным участием.
24.ГОСТ 2789-73: Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики.ISO
25.468:1982 - Шероховатость поверхности. Параметры, их значения и общие правила установления технических требований. (Surface roughness - Parameters, their values and general rules for specifying requirements).
26.В.П. Драгунов. Влияние формы упругого элемента на характеристики микроэлектромеханических систем, М.: Новые технологии. Микросистемная
техника, 6 с., 2004, №1.
.А.Г. Алексенко, Н.Н. Балан. Анализ эффекта схлопывания электродов электростатических актюаторов (Pull-in instability) в MEMS- и NEMS- устройствах, М.: Новые технологии. Микросистемная техника, 9 с., 2005, №7.
28.В.К. Неволин. Зондовые нанотехнологии в электронике,
М.: Техносфера, 2006. - 160 c.
.А.П. Крюков. Элементы физической кинетики,
М.: издательство МЭИ, 1995. - 72 c.
.В.В. Буринский. Измерение и обработка результатов: курс лекций. М: изд-во МНЭПУ, 2000. - 156 с.
Патенты:D. Nelson, William G. Flynn, and David A. Goins - Tex. (US), Austin Plate-based microelectromechanical switch having a three-fold relative arrangement of contact structures and support arms, No.: US 7,119,943 B2.E. Dickens (Baltimore, MD), Fred E. Sacks(Reisterstown, MD), Howard Fudem(Baltimore, MD), Don E. Crockett (Columbia, MD), Frank Lindberg(Baltimore, MD), Robert Young (Ellicott City, MD), Gregory DeSalvo (Bellbrook, OH) - Northrop Grumman Corporation (Los Angeles), Microelectromechanical RF switch , No.: 10/157,935.
Ссылки:
">а) Портал новостей 3Д-Ньюз -
">б) Федеральное космическое агенство Роскосмос - www.federalspace.ru/