Основы нанометрии
Информация - Разное
Другие материалы по предмету Разное
ерной топографии мер длины в диапазоне 10-9 - 3 • 10-6 м со стандартной неопределенностью менее 1 нм.
комплект специальных периодических мер и стандартных образцов нанорельефа поверхности, предназначенный для передачи размера единицы длины в диапазоне Ю-8- 5 • 10-5 м со стандартным отклонением 1-5 нм.
Высокие метрологические характеристики созданных эталонных средств измерений подтверждаются результатами международных сличений в области нанометрии. Создание системы метрологического обеспечения нанометрии позволит обеспечить высокую достоверность и единство измерений, повысить качество, надежность и конкурентоспособность отечественной продукции с выходом на мировой рынок.
Заключение
Нанометрия, это одна из наиболее интенсивно развивающихся наукоемких отраслей промышленности.
Достижение предельных возможностей в нанометрии связано с использованием высокоразрешающих методов сканирующей зондовой микроскопии: растровой оптической, растровой электронной, сканирующей туннельной и атомно-силовой в сочетании с лазерной интерферометрией и фазометрией.
Одновременно идет изучение возможности создания наноструктур на атомарном уровне. Эта ветвь исследований развивается как поисковая и имеет значение, прежде всего, для физического эксперимента, решения задач для диагностики, анализа отказов и создания новых приборов микро-наноэлектроники.
В Международной программе развития микроэлектроники до 2014 г. сформулированы требования к точности измерения размеров элементов СБИС, в том числе критических размеров с проектными нормами от 115 нм (2002 г.) до 22 нм (2014 г.). Реализация этой программы требует разработки новых методов и высокоточных средств измерений длины в нанометровом диапазоне и создания метрологического обеспечения нанометрии.
Список используемой литературы
1.Календин В.В. Нанометрия: проблемы и решения. // Автометрия. 2004. Т.40. № 2. -С.20-36.
.Тодуа П.А. и др. Метрологическое обеспечение измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазоне и их внедрение в в микроэлектронику и нанотехнологию. Микросистемная техника.- 2008.- № 1. - С.38-44. - № 2. - С 24-39. - №3. - С. 25-32.
3. Богданович О. В., Желкобаев Ж., Календин В. В. и др. Измерение малых длин на основе растрового электронного микроскопа //Измер. техника. - 1985. - № 11. - С. 31.
. Баканава Е. С, Календин В. В., Невзорова Л. Н., Щитов Н. Н. Штриховые меры для калибровки растровых электронных и оптических микроскопов // Изв. АН СССР. Сер. физ. 48. - 1984.- № 12. - С. 23-39.
. Календин В. В., Козлитин Л. И., Никитин Ф. В., Сретенский В. И. Метрологическое обеспечение измерений сверхмалых размеров с использованием теоретических моделей, мер и природных констант // Измер. техника. - 1996. - № 11. - С. 15.
6. Облант Ж.М. Метрология: проблема наномасштаба, Мир стандартов.- 2007. - №5(16).- С. 22-26.