
Тонкопленочные оксиды металлов могут найти применение в качестве альтернативных диэлектриков для будущих поколений МОП полевых структур в силу более высокой по сравнению с диоксидом кремния величины диэлектрической проницаемости, которая в заЖурнал технической физики, 2006, том 76, вып.
Pages: | 1 | 2 |
Книги по разным темам