Читайте данную работу прямо на сайте или скачайте

Изучение поверхности полупроводника с помощью сканирующего электронного микроскопа

Дипломна робота: 43 сторнок, 12 малюнкв, 1 таблиця, 6 джерел.

Об`

ктом дослдження

поверхня металевих та напвпровдникових матералв за допомогою скануючого електронного мкроскопа.

Методикою дослджень явля

ться ре

страця вторинних електронв та фотонв.

Результати дослджень можуть бути застосован працвниками, як займаються дослдженнями в област напвпровдникових матералв.

RESUME

The graduation research УUsing the Scanning Electron Microscopy for diagnostics of a surface of semiconductors Ф Ц 2003, student Lyashenko O.A. (DNU, physical faculty, gr. FP-98-1, department of optoelectronics) leader Klimenko V.V.

The work is interesting for researchs the semiconductor researches.

Bibliography pages 43, Tables 1, Images 12.

Тема:

Изучение поверхности полупроводника с помощью сканирующего электронного микроскопа

Змст.

Реферат 4а а

Resume 5а

Вступ. 7

Роздл

. Лтературний огляд 8

1.     Одержання керування потоком електронв 8

2.     Електростатичн нзи 10

3.     Магнтн нзи 14

4.     Електронно-оптичн дослдження матералв 15

5.     Звичайний просвтлюючий електронний мкроскоп 16

5.1     Електронна оптика 16

5.2     Зображення 18

5.3     Дозволяюча здатнсть 19

6.     Растровий електронний мкроскоп. Загальн вдомост 21

7.     Растровий електронний мкроскоп. Технчн вдомост 23

7.1     Застосування 23

7.2     Принцип дÿ 23

Роздл ². Постановка задач 26

Роздл Ⲳ. Експериментальна частина 27

Висновки 31

Роздл

V. Охорона прац 32

1.     Заходи електробезпеки та пожежобезпеки при робот з електронним мкроскопом 32

1.1 Забезпечення безпеки при робот на електроустановках 32

2.     Причини виникнення пожеж при робот з електронним мкроскопом 37

2.1 Причини виникнення короткого замикання (КЗ). Термчна та електродинамчна дя КЗ. Профлактика КЗ 37

2.2 Причини виникнення перевантаження та

2.3 Причини виникнення перехдних опорв та

Лтература 43

Вступ.

Електронн пучки одержали широке практичне застосування в приладах електронно

1.     ОДЕРЖАННЯ

КЕРУВАННЯ ПОТОКОМ ЕЛЕКТРОН

В

Необхдною умовою перемщення електронв у вид пучка на велику вдстань

створення на

Схема керування потоком електронв представлена на мал.1. Джерелом електронв служить катод, що пдгрва

ться, К. Керуюча стка 4 форму

прискорю

(чи сповльню

) потк електронв. У поперечному електричному пол, напруженсть якого Е, електрон здобува

за час руху в ньому t мпульс

(1)

де m - маса електрона, V - рвнобжна вектору Е складова швидкост електрона, е - заряд електрона. При цьому кут вдхилення електрона вд первсного напрямку руху складе q:

(2)

тут V_^- складова швидкост електрона, перпендикулярна Е.

При влученн електрона в магнтне поле, ндукця якого В перпендикулярна швидкост електрона (мал.1), вн пд дúю сили Лоренца буде рухатися по спрал, радус яко

(3а)

крок

(3б)

тут а а- вдповдно рвнобжна перпендикулярна магнтному полю складова швидкост електрона.

2.     ЕЛЕКТРОСТАТИЧН

Л

НЗИ

Аналогю мж переломленням свтлових променв пучка електронв люстру

мал.2. На мал.2а промнь свтла псля входу в оптично бльш щльне середовище псля переломлення на границ роздягнула наближа

ться до нормал до поверхн. Кути падння i т переломлення r зв'язан законом переломлення:

(4)

де n₁ n₂ - абсолютн показники переломлення першого другого середовищ вдповдно; V₁ V₂ - швидкост свтла в цих середовищах. Електронний аналог закону переломлення показаний на мал. 2б. Електрон псля входу в область бльшого потенцалу j₂ наближа

ться до нормал до еквпотенцально

(5а)

чи

(5б)

Розглянутий фзичний механзм змни тра

кторÿ електрона при рус в електростатичному пол справедливий для будь-яко

Така аналогя наводить на думку, що найпростшу електростатичну нзу можна зробити, якщо взяти два порожнх провдних цилндри, помстити

Еквпотенцальн поверхн в зазор мж цими цилндрами будуть згинатися, як показано на мал.3, оскльки нормаль до ос нзи складова сили, що дú на вльний заряд, поблизу стнок бльше, нж у середин цилндрв.

Це розходження обумовлене наявнстю вльного вд зарядв зазору мж кнцями цилндрв. Ступнь впливу зазору, отже, кривизна еквпотенцальниха поверхонь залежать вд довжини цилндрв. У випадку, коли цилндри мають нескнченну довжину, еквпотенцальна поверхн являються рвнобжними одна однй.

3.     МАГН

ТН

Л

НЗИ

Принцип фокусування електронного променя неоднордним магнтним полем коротко

За допомогою аксального магнтного поля можна зробити товсту магнтну нзу (у товстй магнтнй нз вс тра

кторÿ електронв розташовуються середин).

4.     ЕЛЕКТРОННО-ОПТИЧН

МЕТОДИ ДОСЛ

ДЖЕННЯ МАТЕР

АЛ

В

сторично першим був виготовлений просвтлюючий електронний мкроскоп (ПЕМ), у якому електрони, псля проходження через об'

кт, попадають на електронну нзу, що форму

збльшене зображення об'

кта. Оптична схема ПЕМ цлком екввалентна вдповднй схем оптичного мкроскопа, у якому свтловий промнь замня

ться електронним променем, оптична нзи чи системи лнз замняються електронними нзами чи системами електронних нз. Досто

5.     ЗВИЧАЙНИЙ ПРОСВ

ТЛЮЮЧИЙ ЕЛЕКТРОННИЙ М

КРОСКОП

ЗПЕМ багато в чому подбний свтловому мкроскопу, але тльки для висвтлення зразкв у ньому використову

ться не свтло, пучок електронв. У ньому

електронний прожектор, ряд конденсорних нз, об'

ктивна нза проекцйна система, що вдповда

окуляру, але проекту

дйсне зображення на люмнесцентний екран чи фотографчну пластинку. Джерелом електронв звичайно служить катод, що нагрва

ться, з чи вольфраму гексаборида лантану. Катод електрично зольований вд ншо

5.1а Електронна оптика.

Електронне зображення форму

ться електричними магнтними полями приблизно так само, як свтлове - оптичними нзами. Магнтне поле, створюване витками котушки, по якй проходить струм, дú як збиральна нза, фокусну вдстань яко

Ряд конденсорних нз фокусу

електронний пучок на зразок. Звичайно перша з них створю

не збльшене зображення джерела електронв, остання контролю

розмр освтлювано

5.2а Зображення.

Контраст в ЗПЕМ обумовлений розсюванням електронв при проходженн електронного пучка через зразок. Якщо зразок досить тонкий, то частка розсяних електронв невелика. При проходженн електронв через зразок одн з них розсюються через зткнення з ядрами атомв зразка, нш - через зткнення з електронами атомв, трет проходять, не перетерплюючи розсювання. Ступнь розсювання в якй-небудь област зразка залежить вд товщини зразка в цй област, його щльност середньо

Остаточне збльшене електронне зображення перетвориться у видиме за допомогою люмнесцентного екрана, що свтиться пд дúю електронного бомбардування. Це зображення, звичайно слабоконтрастне, як правило, розглядають через бнокулярний свтловий мкроскоп. При тй же яскравост такий мкроскоп з збльшенням 10 може створювати на стквц ока зображення, у 10 разв бльш велике, чим при спостереженн неозбро

ним оком.

нод для пдвищення яскравост слабкого зображення застосову

ться люмнофорний екран з електронно-оптичним перетворювачем. У цьому випадку остаточне зображення може бути виведене на звичайний телевзйний екран, що дозволя

записати його на вдеоплвку. Вдеозапис застосову

ться для ре

страцÿ зображень, що мняються в час, наприклад, у зв'язку з протканням хмчно

5.3 Дозволяюча здатнсть.

Електронн пучки мають властивост, аналогчн властивостям свтлових пучкв. Зокрема, кожен електрон характеризу

ться визначеною довжиною хвил. Дозволяюча здатнсть ЕМ визнача

ться ефективною довжиною хвил електронв. Довжина хвил залежить вд швидкост електронв, отже, вд напруги, що прискорю

; чим бльше прискорю

напруга, тим бльше швидксть електронв тим менше довжина хвил, виходить, вище дозволяюча здатнсть. Настльки значна перевага ЕМ у дозволяюча здатнсть порозумва

ться тим, що довжина хвил електронв набагато менше довжини хвил свтла. Але оскльки електронн нзи не так добре фокусують, як оптичн (числова апертура гарно

6.     РАСТРОВИЙ ЕЛЕКТРОННИЙ М

КРОСКОП. ЗАГАЛЬН

В

ДОМОСТ

Бльш простим унверсально

Розгорнення пучка ЕПТ проходить синхронно з розгорненням електронного зонда в РЕМ. Зображення об'

кта у вдповдному випромнюванн спостерга

ться на екран ЕПТ. Збльшення мкроскопа визнача

ться вдношенням розмрв областей сканування в РЕМ ЕПТ.

Рзноманття областей застосування РЕМ зв'язане з рзними механзмами вза

модÿ електронв з кристалчними твердими тлами.

Можливост РЕМ для вивчення рель

фу поверхн об'

кта люстру

мал.5. Ре

стру

ма детектором нтенсивнсть потоку розсяних електронв залежить вд того, у яке мсце стосовно нервностей поверхн зразка пада

пучок у процес сканування.

Крм розглянутого вище топографчного контрасту, у РЕМ часто спостергають контраст сполуки. Цей контраст зв'язаний з тим, що коефцúнт вторинно

Поряд з топографчним контрастом контрастом сполуки в РЕМ використовують також нш: кристалчний магнтний. Методи створення дифракцйних картин у РЕМ досить прост дають велику нформацю про кристалчну будову досконалсть зразкв. При дослдженн в растровому електроном мкроскоп магнтних зразкв для доменв з рзним намагнчуванням спостерга

ться контраст, обумовлений тим, що магнтн поля доменв у значнй мр впливають на тра

кторÿ руху вторинних електронв.

7.     РАСТРОВИЙ ЕЛЕКТРОННИЙ М

КРОСКОП. ТЕХН

ЧН

В

ДОМОСТ

7.1 Застосування

Електронний растровий мкроскоп призначений для дослдження тонко

За допомогою електронного мкроскопа, використовуючи мал збльшення до 20X можна спостергати велик площ поверхн, також одержувати знмки окремих длянок шкоджень зломв при 1 кратному збльшенн.

Найбльш важлив област застосування:

1) аналз експлуатацйних ушкоджень;

2) джерело нформацÿ про внутршню будову металу;

До можливостей мкрофотографÿ варто вднести:

) виявлення нй томи;

б) спостереження воднево

в) вивчення дефектв росту кристалв;

г) виявлення високотемпературно

7.2 Принцип дÿ

Електронний промнь у вид тонкого пучка електронв (даметр пучк £ 10 нм) обга

(скану

) зразок по рядках крапку за крапкою синхронно переда

сигнал на кнескоп. При влученн електронного променя в яку-небудь точку зразка вдбува

ться вибивання з його матералу вторинних електронв вдбитих електронв.

Електронний зонд явля

собою тонкий пучок електронв приблизно цилндрично

Первинний електронний промнь (зонд) форму

ться у вакуумному стовпчику (електроннй гармат) растрового електронного мкроскопа (мал.6). Електрони вилтають з розжарюваного катода, прискорюються електричним полем напругою 1-50 кв. Промнь фокусу

ться трьома електромагнтними конденсорними нзами за допомогою котушок, що вдхиляють, скану

ться за зразком.

Випроменен зразком електрони викликають у сцинтиллятор свтлов спалахи (фотони). Швидк пружно розсян (вдбит) електрони з високою енергúю без значного пдведення енергÿ попада

в сцинтиллятор; вторинн електрони з низькою енергúю при рус до сцинтиллятору одержують прискорення в результат додатка електричного поля. Свтлов промен залишають вакуумну камеру через свтловод в фотомножнику, що примика

до нього перетворюються у свтлов мпульси. За допомогою останнх, об'

кт начебто висвтлю

ться сцинтиллятором, становленим на бчнй сторон об'

кта, а спостереження ведеться з боку напрямку первинного електронного променя.

РОЗД

Л ². ПОСТАНОВКА ЗАДАЧ

За допомогою електронного мкроскопа, використовуючи мал збльшення до 20X можна спостергати велик площ поверхн, також одержувати знмки окремих длянок шкоджень зломв при 1 кратному збльшенн.

Найбльш важлив област застосування:

1) аналз експлуатацйних ушкоджень;

2) джерело нформацÿ про внутршню будову металу;

3)            аналз поверхн напвпровдникових матералв.

Для виконання дипломно

1.            Вивчити будову та принцип роботи електронного мкроскопа.

2.            Вивчити конструкцю та принцип роботи растрового електронного мкроскопа.

3.            Провести юстировку електронно-оптично

4.            Розробити схему сканування.

5.            Виготовити пристрй для ре

страцÿ електронв.

6.            Розробити схему для ре

страцÿ фотонв.

7.            Приготовити металев та напвпровдников зразки для дослджень.

8.            Провести дослдження поверхн зразкв.

9.            Оформити результати.

РОЗД

Л Ⲳ. ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНА ЧАСТИНА

В ход проведення експериментально

        Електронний мкроскоп TESLA BS500. Гарантована дозволяюча здатнсть якого 7 , коефцúнт збльшення 500 Ц 1

        Пдсилювач електрометричний У5-7. Гранична чутливсть якого 10^-10 А (V)

        Цилндр Фарадея. (Виготовлений вручну)

        Фотодод

        Генератор пилкообразних мпульсв

        Самописець

Пд час виконання дипломно

Мал. 7. Схема ре

страцÿ вторинних електронв

1. - катод. 2. - анод. 3. - вдхиляюч котушки. 4. - цилндр Фарадея. 5. - зразок. 6. - пдсилювач електрометричний У5-7. 7. - самописець. 8. - генератор пилкообразних мпульсв

(мал.7). Розроблено схему для ре

страцÿ фотонв(мал.8).

Мал. 8. Схема ре

страцÿ вторинних електронв

1. - катод. 2. - анод. 3. - вдхиляюч котушки. 4. - фотодод. 5. - зразок. 8. - генератор пилкообразних мпульсв

Приготовленоа металев та напвпровдников зразки для дослджень:

1.     металева стка з розмром клтини = 0.25 мм.

2.     кремнúва пластина з невеликими нородними включеннями ~0.5 мм.

3.     кремнúва пластина з оловТяними електродами розташованими один вд одного на вдстан 3 мм.

Проведеноа дослдження поверхн зразкв. Зразок (1) було дослджено за допомогою двох схем (мал.7,8), зразки (2) (3) тльки за допомогою схеми, що ре

стру

електрони (мал. 7).

Отриман результати зображен на мал. 9, 10, 11, 12.

Мал.9. металева стка з розмром клтини = 0.25 мм. Дослджувана за допомогою цилндра Фарадея.

Мал.10. металева стка з розмром клтини = 0.25 мм. Дослджувана за допомогою фотодода.

мал. 11. кремнúва пластина з невеликими нородними включеннями ~0.5 мм. Дослджувана за допомогою цилндра Фарадея.

Мал. 12. кремнúва пластина з оловТяними електродами розташованими один вд одного на вдстан 3 мм. Дослджувана за допомогою цилндра Фарадея.

Висновки.

1.     Проведений тературний пошук показав, що скануюча мкроскопя ма

переваги перед просвтлюючою:

)а методи створення дифракцйних картин у РЕМ досить прост дають велику нформацю про кристалчну будову досконалсть зразкв.

б)а можливсть дослдження масивних зразкв.

в)а можливсть дослдження внутршньо

г)а можливсть виводу на екран компТютера.

д)а велика кльксть способв дослджень зразкв.

е)а простий в експлуатацÿ.

2. Принципально показано:

)а можливсть дагностики поверхн металевих та напвпровдникових зразкв за допомогою ре

страцÿ вторинних електронв цилндром Фарадея.

б)а можливсть дагностики поверхн матералв, що добре люмнсцюють.

3. Можливсть використання дано� становки для дослдження поверхн напвпровдникв.

РОЗД

Л

V. ОХОРОНА ПРАЦ

1.     ЗАХОДИ ЕЛЕКТРОБЕЗПЕКИ ТА ПОЖЕЖОБЕЗПЕКИ ПРИ РОБОТ

З ЕЛЕКТРОННИМ М

КРОСКОПОМ

1.1 Забезпечення безпеки при робот на електроустановках.

Одним з найбльш важливих напрямкв забезпечення охорони прац при проведенн експериментальних дослджень

забезпечення безпеки при робот на електроустановках.

Статистика показу

, що кльксть травм, викликаних електричним струмом, становить 2% вд

Електротравмою називають враження тканин органв електричним струмом: обпки, електричн знаки (мтки, електрометалзаця шкри, електроофтальмя та механчн враження).

Базуючись на аналзи нещасних випадкв та довгого дослду експлуатацÿ електроустановок розрзняють наступн фактори, вд яких залежить в основному кнець враження електричним струмом:

1. Значення електричного струму. Це головний вражаючий фактор при електротравмах. Видляють наступн порогов значення струму:

v  порг вдчуття струму (0.5-1.5 мА змнного струму, 5-7 мА

постйного струму);

v  порг невдпускаючого струму (10-15 мА змнного струму,

50-80 мА постйного струму);

v  смертельний струм (100 мА та бльше).

2. Рд та частот струму. Вдомо, що змнний струм частотою 50-60 Гц бльш небезпечний, нж постйний. Однак при напруз U>300 В небезпека постйного струму зроста

. Небезпека дÿ змнного струму знижу

ться з ростом частоти та ста

практично непомтною при частот 1-2 Гц, повнстю зника

при 450-500 кГц (залиша

ться небезпека обпкв).

3. Опр тла людини. Це змнна величина, що ма

нелнйну залежнсть вд багатьох факторв, у тому числ, вд стану шкри, параметрв електричного ланцюга, фзологчних показникв та стану навколишнього середовища. Величиною опору людини вважають 1 Ом. Це значення спостерга

ться при невдпускаючих струмах. При вдсутност струму опр тла людини 2-2500 Ом, при смертельному струм знижу

ться до 700 Ом.

Залежнсть опору тла людини вд прикладено
Струм через людину, мА	1	6	65	75	100	250
Прикладена напруга, В	6	18	75	80	100	175
Опр тла людини, Ом	6	3	1150	1065	1	700

4. Величина прикладено

5. Шлях струму у тл людини. Якщо на шляху струму виявляються житт

во важлив органи - серце, леген, головний мозок, то небезпека враження дуже велика, так як струм дú безпосередньо на ц органи. Можливих шляхв струму у тл людини багато, та самими розповсюдженими

: рука-рука, рука-нога, нога-нога, голова-рука, голова-ноги.

6. Тривалсть дÿ струму на органзм людини. Чим коротша дя, тим менша небезпека враження.

7.

ндивдуальн особливост людини. Характер дÿ при одному тому ж струм залежить вд стану нервово

Основними причинами нещасних випадкв вд дÿ електричного струму на даному експериментальному обладнанн можуть бути:

ü випадковий дотик або наближення на небезпечну вдстань до струмоведучих частин, що знаходяться пд напругою;

ü поява напруги дотику на металчних конструктивних частинах електрообладнання (корпусах, кожухах та н.) у результат пошкодження золяцÿ та нших причин.

При наявност можливост одночасного дотику до металчних корпусв обладнання металоконструкцй примщення дане лабораторне примщення потрбно вднести до примщення з пдвищеною небезпекою.

Основними заходами захисту вд враження електричним струмом при таких умовах

:

-              забезпечення недоступност струмоведучих частин, що знахондяться пд напругою, для випадкового дотику;

-              електричний роздл мереж;

-              усунення небезпеки враження при появ напруги на корпусах, кожухах та нших частинах електрообладнання;

-              використання малих напруг;

-              захист вд небезпеки при переход напруги з вищо

-              контроль та профлактика пошкоджень золяцÿ.

Усунення небезпеки враження струмом у випадку дотику до корпуса та нших неструмоведучих металевих частин електроустановки, що опинилися пд напругою, досяга

ться захисним заземленням, зануленням, захисним вдключенням.

Мкроскоп можно пдключити до мереж 3*380 Вlа або 3*220 ВD або до однофазно

Рвень напруги в елементах електронного мкроскопа:

      форвакумний насос - 220 В

      дифузонний насос - 220 В

      катод - 60 кВ (90 кВ)

      пдвищуючий трансформатор - 60 кВ (90 кВ)

      управляюча та ре

струюча системи - 220 В

Захисне заземлення - це попередн

електричне з`

днання з землею металчних неструмоведучих частин обладнання, як можуть опинитися пд напругою внаслдок замикання на корпус та нших причин (ндуктивний вплив сусднх струмоведучих частин, винос потенцалу, розряд блискавки та н.).

Одним з способв запобгання небезпечних вражень електричним струмом

захисне вдключення. Тут використовуються спецальн пристро

Одним з заходв по забезпеченню електробезпеки при експериментальних дослдах

дотримання правил експлуатацÿ лабораторного обладнання.

Виконання сх перерахованих заходв по забезпеченню електробезпеки при проведенн експериментальних дослдв за допомогою електронного мкроскопа дозволя

никнути враження електричним струмом пд час виконання робт.

Згдно з Уе лабораторя з електронним мкроскопом вдноситься до примщень з пдвищенною небезпекою.

2.     ПРИЧИНИ ВИНИКНЕННЯ ПОЖЕЖ ПРИ РОБОТ

З ЕЛЕКТРОННИМ М

КРОСКОПОМ.

Джерелами займання можуть бути електричн скри, дуги, конротке замикання, струмов перевантаження, перегрт опрн поверхн, несправнсть обладнання. Окислювачем звичайно служить кисень. Але потужнсть тривалсть дÿ цих джерел займання порвняно мал, тому горння, як правило, не розвива

ться. Виникнення пожеж в електронних пристроях можливе, якщо використовуються спалим важко спалим матерали вироби.

Кабельн нÿ електроживлення виконан з спалимого золяцйного матералу, тому

найбльш пожежонебезпечними елементами в конструкцях електрообладнання.

2.1 Причини виникнення короткого замикання (КЗ). Термчна та електродинамчна дя КЗ. Профлактика КЗ.

КЗ виникають в результат порушення золяцÿ частин обладнання, що проводять струм, зовншнх механчних пошкоджень в електричних дротах, обмотках двигунв апаратв.

золяця елементв, що проводять струм, може пошкоджуватися при дÿ на не

Сила струму КЗ може бути вд одиниць до сотень клоампер залежить вд таких факторв: потужност джерела живлення (прямо пропорцйно); повного опору елементв кола, включених мж джерелом живлення точкою КЗ; виду короткого замикання (трифазне, однофазне), при однофазних КЗ сила струму мнмальна; часу з моменту виникнення КЗ до вдключення КЗ апаратами захисту. Якщо апарати захисту швидкодюч особливо струмообмежуюч, тод КЗ не встига

досягнути максимального значення.

Струми КЗ викликають термчну та електродинамчну дю супроводжуються рзким зниженням напруги в електромереж. Струми КЗ можуть перегрти частини, що проводять струм, розплавити дроти (температура до 2⁰ С). Проткання по провднику тривалого допустимого струму силою (

) повТязане з видленням тепла Q (Дж) кльксно визнача

ться законом Ленца-Джоуля:

де

- сила тривалого допустимого струму, А;

R - активний опр, Ом;

t - час, с.

Час проходження струму КЗ не перевищу

деклькох секунд або навть дол секунди залежить вд апаратв захисту (плавких запобжникв, автоматичних вимикачв тощо). При проходженн струму КЗ, сила якого перевищу

допустимий струм, температура нагрву дроту рзко пдвищу

ться може досягнути небезпечних значень (не врахову

ться вдвд тепла в навколишн

середовище, оскльки час проходження струму малий, все видлене в провднику тепло йде на його нагрвання).

Два провдники, по яких проходить електричний струм, вза

модють один з одним. Напрям сили вза

модÿ визнача

ться напрямом струмом в провдниках. При однаковому напрям струму електродинамчн сили притягують провдники, при рзних - вдштовхують. При КЗ в мереж можуть виникати струми, що в десятки сотн разв перевищують номнальн, тому електродинамчн сили прагнуть деформувати провдники та золююч частини, на яких вони крпляться.

КЗ супроводжу

ться рзким зниженням напруги в електромережах. В результат виника

частковий або повний розлад електропостачання споживачв.

Профлактика КЗ передбача

так заходи:

        Правильний вибр, монтаж експлуатаця електричних мереж, електрообладнання;

        Правильний вибр конструкцÿ електрообладнання, способу встановлення класу золяцÿ;

        Електричний захист електричних мереж, електрообладнання (швидкодюч реле, автоматичн вимикач, запобжники).

2.2           Причини виникнення перевантаження та

При проходженн струму по провдниках видля

ться тепло, яке нагрва

Причиною перевантаження може бути неправильний розрахунок при проектуванн мереж схем (занижений перерз дротв, перевантаження радоелементв, додаткове включення пристро

Профлактика пожеж вд перевантажень:

        При проектуванн необхдно правильно вибирати перерз провдникв мереж схем за допустимою густиною струму, щоб

де

_доп - допустима величина струму;

_р - робоча величина струму;

        В процес експлуатацÿ електричних мереж не можна вмикати додатково електроприймач, якщо мережа на це не розрахована;

        Для захисту електрообладнання вд струмв перевантаження найбльш ефективними

автоматичн електронн схеми захисту, вимикач, теплов реле плавк запобжники.

2.3           Причини виникнення перехдних опорв та

Причиною пожеж аварй можуть бути велик перехдн опори, як виникають в мсцях зТ

днань та розгалужень провдникв, в контактах пристро

деа r_k - контактний опр.

Контактний опр склада

ться з двох опорв:

де r_пер - перехдний опр, викликаний нервною поверхнею металу, Ом;

r_пл а- опр, викликаний наявнстю оксидних плвок на поверхн, Ом.

При проходженн струму навантаження в такому контактному зТ

днанн видля

ться деяка кльксть тепла, пропорцйна квадрату струму опору точок дйсного дотику. Вона може бути настльки великою, що мсця перехдних опорв сильно нагрваються. Якщо контакти будуть торкатися спалимих матералв, то ц матерали можуть зайнятися, якщо ж

вибухонебезпечна сумш газв, парв або пилу - виникне вибух.

Профлактика пожеж вд перехдних опорв:

        Для збльшення площ дйсного дотику контактв необхдно використовувати пружн контакти або спецальн сталев пружини;

        Для вдводу тепла вд точок дотику розсювання його необхдно виготовляти контакти певно

        Вс контактн зТ

днання повинн бути доступн для огляду.

Головним заходом запобгання пожеж вибухв вд електрообладнання

правильний вибр експлуатаця обладнання у вибухо- пожежонебезпечних примщеннях виробництвах.

Примщення з електронним мкроскопом у вдповдност з ОНТП 24-86 вдноситься до категорÿ Д.

Заходи пожежогасння: фзичний та хмчний.

До фзичних способв вдносяться:

        Охолодження зони горння;

        Розбавлення реагуючих речовин в зон горнн негорючими речовинами;

       

золяця реагуючих речовин вд зони горння.

Хмчний спосб - це хмчне гальмування реакцÿ горння.

До основних засобв гасння пожеж вдносяться:

        Вода

       

нертн гази

        Пни хмчн та повтряномеханчн

        Порошков сумш

Лтература.

1.            В. М. Кельман Электронная оптика, Москва, 1968 г.

2.            Т. Стэррок Статическая и динамическая электронная оптика, Москва, 1958 г.

3.            Л. Энгельс, Г. Клингеле Растровая электронная микроскопия. Разрушение, Москва, 1986 г.

4.            П. Хирш, А. Хоби, Р. Николсон, Д. Пэшли, М. Уэлан Электронная микроскопия тонких кристаллов, Москва, 1968 г.

5.            В. Косслет Введение в электронную оптику, ИЛ, 1950 г.

6.            Л. А. Катренко,

. П. Пстун Охорона прац в галуз освти, Суми. 2001 г.