Вакуумная плазменная технология высоких энергий
Курсовой проект - Физика
Другие курсовые по предмету Физика
. , , .
, (He, Ar) (N2, …) 2D () 3D () .
. 3D-, , . , . (APPJ) , () RF (), [11].
APPJ, , . , , , 3 20 /, ( 1 5 ) ( 5 50 ).
2.2
APPJ (He, Ar), . , , , (CCD) 1 . ( 2.1). -. , &#