Тонкопленочные элементы интегральных схем
Информация - Радиоэлектроника
Другие материалы по предмету Радиоэлектроника
вает принципиальную возможность их последующей интеграции iелью создания новой технологической базы высокопроизводительного автоматизированного производства интегральных схем и приборов функциональной электроники.
Список литературы.
- тАЬ Получение тонкопленочных элементов микросхем тАЭ Б.С. Данилов
- тАЬЗарубежная электронная техникатАЭ Н.А. Акуленко
- тАЬЭлектронная промышленностьтАЭ А.С. Грибов