Реализация метода магнетронного распыления в установке ВУП-5
Дипломная работа - Разное
Другие дипломы по предмету Разное
ма и углерода, не связанные между собой химическими связями. Однако именно такая плёнка W90C10 обладает при сохранении присущих вольфраму качеств по минимальности толщины и максимальности жёсткости ещё и качеством неокисления в течении длительного времени - более 500 часов. Кроме того, добавление углерода придаёт плёнке дополнительную по отношению к плёнке из чистого вольфрама износостойкость, что полезно для АСМ - режимов с изучением электропроводности.
Плёнка графита, имеющая только немного худшие параметры по минимальной толщине сплошной плёнки (10 Ангстрем), имеет одно плохое свойство. Как и любой образец графита, она состоит из микро-зёрен графита, в которых упаковка атомов углерода имеет слоистую структуру с гексагональной упаковкой атомов в слое. Отдельные атомы, находящиеся на наружной площадке верхнего слоя кристаллита, не имеют ковалентной связи с зерном, и очень подвижны. Они прыгают на острия и СТМ, и АСМ - зондов, налипают на них и мешают работе СТМ и АСМ.
Золото имеет плохое свойство с течением времени после напыления собираться в наночастицы ввиду того, что они имеет низкую температуру плавления, комнатная температура для него довольно близка к температуре плавления, и атомы золота довольно подвижны. Через время порядка часа плёнка золота толщиной в 20 - 50 Ангстрем в большинстве случаев распадается на отдельные наночастицы и теряет сплошную проводимость по плёнке. Лишь некоторые поверхности, например, обработанные в вакууме за несколько секунд до напыления ионным травлением, могут настолько закрепить на себе напыляемые атомы золота, что они не отрываются от поверхности и не собираются в самостоятельные капли - наночастицы.
Работа с магнитными материалами в качестве мишени на данном магнетроне невозможна из-за принципиальной схемы этого магнетрона. Это полностью уравновешенный по ионам магнетрон - все ионы, выбитые из мишени лавинно ионизированным и разогнанным в направлении мишени аргоном, направляются магнитным полем магнетрона на экран, на котором осаждаются. Этим же магнитным полем на экран направляются все магнитные атомы, и, таким образом, на образец вообще не могут попасть атомы магнитных веществ.
Заключение
На основе выполненной курсовой работы можно сделать следующие выводы:
.ВУП-5 представляет собой законченную лабораторную вакуумную систему, состоящую из: рабочего объема, диффузионного насоса, форвакуумного насоса, баллона форвакуумного, клапанов коммутации вакуумной системы, термопарных датчиков и ионизационного датчика.
.Универсальный пост позволяет получать и измерять как низкий (порядка 10-2 мм.рт.ст.), так и высокий вакуум (порядка 10-5 мм.рт.ст.), и проводить технологические операции в вакууме.
.Универсальность вакуумного поста (ВУП-5) определяется устройствами, поставляемыми вместе с ним. Также с помощью дополнительного оборудования, магнетронной системы МАГ-2000, возможно наносить тонкие пленки методом магнетронного распыления.
.Метод магнетронного распыления обладает рядом преимуществ, которые позволяют исключить некоторые проблемы, связанные с напылением тонких пленок.
Литература
1.М.М. Никитин. Технология и оборудование вакуумного напыления. ? М.: Металлургия, 1992. -112 с.
.В.Н. Черняев. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. - М.: Радио и связь, 1987.- 464 с.
.А.В.Белый. Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев.// А.В.Белый, Карпенко Г.Д., Мышкин Н.К.- М.: Машиностроение, 1991.-480 с.
.Я. Грошковский. Техника высокого вакуума. Москва МИР, 1975 г.-624 с.
.Пост вакуумный универсальный ВУП-5. Техническое описание и инструкция по эксплуатации. 2.950.122.ТО. Книга 3.