Проектирование и технология радиоэлектронных средств
Информация - Компьютеры, программирование
- Microsystem Engineering (Prof. Dr.-Ing. Kasper),
- Introduction to microelectromechanical systems,
- perst.isssph.kiae.ru
- Лацапнёв Е., Яшин К.Д., www.micromachine.narod.ru
- Журнал "Микросистемная техника", www.microsystems.ru
- Научно-исследовательская лаборатория микротехнологий и МЭМС СПбГУ, www.mems.ru
- www.memsnet.org
- www.trimmer.net
- www.microbot.ru
- www.nanonewsnet.com
- www.nanobot.ru
- Lyshevski S.E., “NANO- AND MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS - Fundamentals of Nano- and Microengineering”, CRC Press
