Авторефераты по всем темам  >>  Авторефераты по техническим специальностям  

  На правах рукописи

Дорошевич Виктор Казимирович

ОБЕСПЕЧЕНИЕ И УСКОРЕННАЯ ОЦЕНКА КАЧЕСТВА МИКРОСХЕМ ПО РЕЗУЛЬТАТАМ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКОЙ ЭКСПЕРТИЗЫ

Специальность - 05.02.23 - Стандартизация и управление качеством          продукции

АВТОРЕФЕРАТ

диссертации на соискание ученой степени

доктора технических наук

Москва 2010

Диссертационная работа выполнена в открытом акционерном обществе Центральное конструкторское бюро Дейтон

Официальные оппоненты - доктор технических наук, профессор,

  Горнев Евгений Сергеевич

                              - доктор технических наук, профессор,

Николаев Василий Николаевич

                              - доктор технических наук, профессор,

Шульгин Евгений Иванович

Ведущая организация - Открытое акционерное общество

Ангстрем

Защита состоится                21 октября 2010 г. в  ___ часов

на заседании диссертационного  совета Д 212.131.04 в Московском Государственном институте радиотехники, электроники и автоматики (техническом университете) по адресу 119454, Москва, пр-т Вернадского,  78, ауд. В-223.

С диссертацией можно ознакомиться в библиотеке        Московского Государственного института радиотехники, электроники и автоматики (технического университета)

Автореферат разослан                л_____ ____________ 2010 г.

Ученый секретарь диссертационного совета

кандидат технических наук, доцент                                  С.Н. Замуруев

 

ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА РАБОТЫ

Актуальность темы.

Обеспечение качества и надежности микросхем имеют особую значимость, так как характеристики этих изделий во многом определяют тактико-технические характеристики радиоэлектроннной аппаратуры (РЭА) созданной на их основе.

Динамичность и жесткость требований к качеству микросхем (ИС) обусловлинвают высокую остроту (как с технической, так и экономической позиций)  проблемы оценки качества для вновь создаваенмых ИС с целью выполнения заданных требований и обеспечения дальннейшего их роста. Главная цель состоит в том, чтобы разработать и поставить ИС быстрее, дешевле и лучшего качества.

Для получения достоверной информации о качестве ИС и предупнреждения отказов, внимание должно быть уделено исследованиям финзических причин отказов. В связи с этим возникает необходимость в разработке оперативных методов оценки качества ИС, позволяющих в конроткий срок определить истинное значение показателей качества, уронвень технологического процесса производства, и создании на их основе эффективной системы обеспечения требуемого уровня качестнва. То есть актуальна проблема получения оценок качества ИС, их устойчивости к внешним воздействующим факторам за короткое время не путем непосредственных натурных или даже ускоренных испытаний, а посредством проведения физико-технической экспертизы элементов ИС (химического состава среды в подкорпусном объеме, металлизанции, активных элементов, слоев диэлектрика и т.д.) и микросхем в целом.

Большое значение  приобретает  разработка и применение физико-технических методов  определения  и контроля  качества ИС  для различных этапов производства и диагностики.

Эта задача может быть решена посредством физинко-технической экспертизы (ФТЭ) путем провендения исследований по установлению элементов конструкции и криснталла, параметров и критериев, алгоритма и порядка проведения финзико-технической экспертизы. Для экспертизы могут быть использонваны тестовые структуры, проектные нормы, методики интегральной оценки качества ИС (контроль температурного поля, распределения потенциалов, метод наведенного заряда); методики контроля геометнрических параметров элементов ИС (линейные размеры, конфигурация, рельеф,), анализа качества материалов (заряд в диэлектрике, время жизни носителей заряда, пористость диэлектрических и проводящих слоев); анализа качества конструкции (корпуса, состава среды поднкорпусного объема, коррозионная стойкость). По результатам анализа делается оценка устойчивости ИС к внешним воздействующим факторам.

Однако опыт проведенных испытаний и исследований отказавших ИС показывает необходимость доработки этих и разработки других методик, которые дополняются оценками соответствующих показателей качества и критериальных параметров. Например, наряду с оценкой стойкости ИС к разрядам статического электричества, необнходимо оценивать их стойкость к электроперегрузкам. При оценке коррозионной стойкости ИС существующий метод оценки может быть дополнен методикой контроля газового состава подкорпусного объема и т.д.

Необходимым условием при определении параметров  и  отработке соответствующих  критериев  оценки качества элементов конструкции ИС, а также для подтверждения возможности использования методик физико-технической экспертизы, должны проводиться натурные, в том числе ускоренные испытания, подтверждающие приемлемость методик и достоверность критериев оценки.

Исходя из изложенного, настоящая работа посвящена решению актуальной проблемы - обоснованию технических и технолонгических решений, связанных с разработкой методов обеспечения и ускоренной оценки качества ИС.

Решение данной задачи включает выполнение исследований по рянду важнейших ее составляющих. 

Во-первых, определить требования к процессам разработки и производства и прежде всего технологическому процессу. 

Во-вторых, необходимо установить элементы конструкции и кристалла, параметры и критерии для контнроля и оценки качества ИС, на основе полученных причинно-следснтвенных связей между дефектами, отказами, технологическими операнциями.

В-третьих, следует разработать маршрут (порядок проведенния) физико-технической экспертизы.

В-четвертых, необходимо выбнрать, уточнить и разработать методики оценки качества ИС на оснонве использования физико-технического метода. При этом в качестве одной из важных составляющих задач исследования выделена разранботка математических моделей оценки точности визуального контронля, не зависящей от свойств контролируемой партии и надежностных характеристик функционально сложных сверхбольших интегральных микросхем  на основе суперкристаллов.

Рассмотреть особенности применения статистических методов для оценки качества технологических процессов. Предложить метод статистического контроля технологических процессов изготовления микросхем для партий малого объема при прерывистом производстве.

Основой для проведения исследований служит сбор и обработка данных о причинах отказов ИС в процессе производства и эксплуатанции, влияния конструктивно-технических решений, технологических операций, материалов на качество  интегральных микросхем.

Вопросам предотвращения отказов ИС и повышения их качества уделяется большое внимание также  и за рубежом. Анализ отказов превращается в анализ способов совершенствонвания конструкции, ИС и процесса производства, то есть в анализ способов предотвращения отказов. Выход годных функционально сложных интегральных микросхем в большинстве пронизводств не высок, что существенно снижает эффективность произнводства, причем чем сложнее ИС и чем больше площадь кристалла, а значит чем дороже ИС,  - тем меньше процент выхода годных. Именно поэтому обеспечение качества на этапах разработки и производства, диагностика в процессе производства, исследование спосонбов предотвращения отказов должны в значительной степени занять место контрольных испытаний в конце производства. Эти методы явнляются существенным фактором повышения выхода годных ИС, примененние их позволяет минимизировать реальную стоимость ИС. Причем вынсокая стоимость современных ИС делает экономически эффективными затраты на совершенствование процесса производства и внедрение оптимальных методов повышения выхода годных ИС, ориентированных на предотвращение отказов.

Основные задачи диссертационной работы, решались в НИР "Экснпертиза", выполненной в 1991-1992 гг., Осень-1 Осень-3, Осень-5 Осень-7 Технология-22, Кластер-М-22 и др., выполненных в 1993-2009 гг., заместителем научного руководителя и ответственным исполнителем которых являлся соискатель.  Вопросы, решаемые в диссертации, предусматривают не только предотвращение отказов, повыншение качества ИС на этапах разработки и производства, но и разработку методик проведения ускоренных испытаний ИС по результатам физико-технической экспертизы.

Цель диссертационной работы.

Разработка  методов обеспечения качества и надежности микросхем на основе определения требований к процессам проектирования и производства; дополнение и обоснование системы отбраковочных испытаний, статистического контроля технологических процессов, ускоренной оценки работоспособности ИС по результатам физико-технической экспертизы элементов конструкции и кристалла, математических моделей оценки точности визуального контроля и надежностных характеристик микросхем на основе суперкристаллов.

Методы исследований.

В работе использованы методы системного анализа, теории вероятностей, математического моделирования, функционально-стоимостного  анализа, математической статистики.

Научная новизна работы.

Научная новизна работы включает в себя следующие результаты:

1.  Разработаны требования к информационному обеспечению, тестовым структурам, контроля параметров пластин, технологии,  оценочных микросхем, библиотеке элементов.

2. Разработаны методики оценки качества микросхем по результатам физико-технической экспертизы.

Методики предусматривают:

• контроль качества корпуса и сборочных операций;
• контроль качества кристалла.

Приведена интегральная оценка качества физических структур.

3. Определены требования к процессам производства микросхем, включающие требования к комплектующим элементам, технологическому процессу, технологическому и контрольно-измерительному оборудованию.

4. Предложено дополнение и обоснование  отбраковочных испытаний и возможность уменьшения планов контроля для функционально-сложных микросхем.

5. Разработан метод ускоренной оценки качества  иннтегральных микросхем, основанный на результатах физико-техничеснкой экспертизы. Разработан рациональный алгоритм - маршрут провендения физико-технической экспертизы  микросхем, предуснматривающий диагностику по внешним выводам, контроль качества корпуса и сборочных операций, контроль качества кристалла.

6. На основе обобщения результатов исследований и анализа отказов  микросхем установлены причинно-следственные свянзи между видами дефектов и механизмами их отказов, используемые при установлении параметров и критериев оценки качества  микросхем. Установлены элементы конструкции, параметнры и критерии оценки качества  микросхем методом физинко-технической экспертизы.

7. Разработана математическая модель определения эргономинческих характеристик оператора при визуальном контроле, не завинсящая от свойств контролируемой партии.

8. Разработаны две математические модели расчета надежностнных характеристик СБИС на основе суперкристаллов, вероятности вынхода годных на этапе производства и вероятности безотказной работы на этапе эксплуатации.

9. Дана оценка возможности и особенностей применения методов статистического контроля и регулирования технологических процессов.

10. Предложен метод статистического контроля и регулирования технологических процессов, основанный на использовании толерантных пределов, позволяющий осуществлять статистический контроль при поставке микросхем малыми партиями и прерывистом производстве.

Практическая значимость

Требования к информационному обеспечению позволяют осуществлять разработку стандартов предприятий по основным процессам разработки микросхем различной функциональной сложности и проектных норм.

Требования к процессам производства позволяют создать стандарты предприятия по основным процессам производства микросхем, в том числе по регламентации требований к технологическому процессу, комплектующим элементам, материалам, технологическому, испытательному и измерительному оборудованию.

Диагностический контроль в системе отбраковочных испытаний партий пластин используется в производстве для выявления потенциально ненадежных микросхем.

Метод оценки качества микросхем по результатам физико-технической экспертизы, алгоритм-маршрут проведения физико-технической экспертизы микросхем позволяет оценивать качество микросхем на всех этапах их жизненного цикла.

Методики физико-технической экспертизы позволяют оценивать качество элементов конструкции, технологии, структур, определить количественные значения параметров.

Причинно-следственные связи между видами дефектов и механизмами отказов используются при установлении системы параметров и критериев оценки качества микросхем, технологических операций, причин возникновения отказов.

Математическая модель определения эргономических характеристик оператора при визуальном контроле позволяет учитывать особенности (субъективные) оператора.

Математическая модель расчета вероятности выхода годных на этапе производства и вероятности безотказной работы на этапе эксплуатации позволяют проводить количественную оценку показателей надежности характеристик СБИС на основе суперкристаллов.

Оценка возможности и особенности применения методов статистического контроля и регулирования технологических процессов и качества микросхем позволяют использовать наиболее рациональные методы в реальных условиях производства.

Разработанный метод статистического контроля и регулирования, основанный на использовании толерантных пределов, позволяет осуществлять контроль и регулирование технологических процессов и качества микросхем в условиях прерывистого производства и малых объемов выпуска.

Теоретические и практические результаты работы использованы при создании отраслевых стандартов и руководящих документов ОСТ В 11 0998, ОСТ 11 0999,  ОСТ 11 20.9926, ОСТ В 11 1009, ОСТ В 11 1010, ОСТ 11 14.1011, ОСТ 11 14.1012, ОСТ 11 1000, РД 22.12.174-94.

Достоверность результатов. Достоверность теоретических и экспериментальных результатов, разработанных моделей, подтверждается проверками на адекватность по экспериментальным данным, метрологической поверкой,  сравнениями с зарубежными литературными данными, выступлениями и обсуждениями на конференциях и семинарах, ссылками и отзывами в отечественной печати.

Экспериментальные исследования проводились на современном отечественном и зарубежном оборудовании, специально разработанных стендах. Достоверность разработанных методик технологических процессов и установок подтверждается положительными технологическими испытаниями, экспериментальными образцами.

Внедрение результатов работы.

Основные результаты включены в  14 нормативных документов (включая 8 отраслевых стандартов), регламентирующих оценку качества микросхем (ОСТ В 11 0998, ОСТ 11 0999,  ОСТ 11 20.9926, ОСТ В 11 1009, ОСТ В 11 1010, ОСТ 11 14.1011, ОСТ 11 14.1012, ОСТ 11 1000, РД 22.12.174-94 и др.) обнсуждены на международной научно-технической конференции по инфорнматике Микроэлектроника и информатика (Москва, Зеленоград, 1993 г.) и  научно-практической конференции Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения (Москва, 2004 г., 2005 г.).

Требования разработанных стандартов реализованы в стандартах предприятий разработчиков-изготовителей микросхем (ОАО Ангстрем, ОАО НИИМЭ и Микрон, г. Зеленоград, ФГУП НПП Восток, г. Новосибирск, ФГУП  НИИЭТ, г. Воронеж  и других предприятий разрабатывающих и изготавливающих микросхемы.).

Основные положения, выносимые на защиту.

1. Требования к процессам разработки,  информационному обеспечению, тестовым структурам контроля параметров пластин, технологии, оценочным микросхемам, библиотеке стандартных элементов.

       Требования к процессам производства и технологическому процессу.

2.  Причинно-следственные связи между видами дефектов и механизмами их отказов, используемые при  установлении параметров и критериев оценки качества микросхем, элементы конструкции, параметры и критерии оценки качества микросхем методом физико-технической экспертизы.

3. Дополнение системы отбраковочных испытаний пластин и микросхем в процессе производства.

       Возможность уменьшения планов контроля при испытаниях микросхем повышенной функциональной сложности.

4. Модель определения эргономических характеристик оператора при визуальном контроле, не зависящая от свойств контролируемой партии.

       Математические модели расчета надежностных характеристик СБИС на основе суперкристаллов, вероятности выхода годных на этапе производства и вероятности безотказной работы на этапе эксплуатации.

       5. Метод статистического контроля и регулирования технологических процессов, основанный на использовании толерантных пределов, позволяющий осуществить статистический контроль при поставке микросхем малыми партиями и прерывистом производстве.

6.  Метод  и методики ускоренной оценки качества интегральных микросхем, основанный на результатах физико-технической экспертизы. Рациональный алгоритм-маршрут проведения физико-технической экспертизы микросхем, предусматривающий диагностику по внешним выводам, контроль качества корпуса и сборочных операций, контроль качества кристалла.

Апробация работы. Результаты диссертационной работы докладывались на международных научно-технических конференциях "Микроэлектроника и информатика" и Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения.

Публикации.

Материалы исследований опубликованы в 48 трудах, в числе которых 28 печатных и 20 рукописных: изложены в 20 научно-технических отчетах по НИР и  13 статьях.

Структура и объем работы.

Диссертация состоит из введения, шести глав, заключения, списка литературы. Объем диссертации 242 страницы машинописного текста. Работа содержит 21 рисунок и 5 таблиц. Список литературы включает 122 наименования.

СОДЕРЖАНИЕ РАБОТЫ

Во введении обоснована актуальность темы, определена научная новизна, сформулированы защищаемые положения и отмечена практическая значимость работы.

В первой главе рассмотрена проблема ускоренной оценки качества микросхем. Приведены основные показатели качества (электрические параметры,  процент выхода годных ИС, надежность и др.), которые могут быть использованы как параметры критерии качества. Отмечается, что данные показатели определяются совокупностью схемо-технологических, конструктивных и технологических решений. Требования к ним в большинстве случаев противоречивы, и количественная оценка качества микросхем затруднена. Предлагается проводить комплексную оценку качества ИС, для этих целей можно применять количественное значение физических параметров микросхем.

Указывается, что на всех этапах развития микроэлектроники основным методом оценки качества и одного из основных его показателей надежности являлись натурные испытания готовых ИС. При этом оценка качества состоит в проведении испытаний и последующей статистической обработке результатов испытаний.

Проведенный анализ показал, что по мере совершенствования ИС, расширения их функциональных возможностей натурные и известные ускоренные испытания на надежность становятся недостаточно эффективными и нецелесообразными. Возникают трудности экономического и технического характера.

Показано, что наиболее достоверную оценку качества ИС можно получить по результатам физико-технической экспертизы. Сущность экспертизы ИС состоит в выявлении физического состояния ИС, скрытых дефектов и предпосылок к отказам.

Объектом экспертизы являются технологические операции, тестовые структуры, элементы конструкции ИС: корпус, подкорпусной объем, кристалл и его стуктурно-топологическое исполнение, выводы и микросхема в целом.

Разработан алгоритм проведения физико-технической экспертизы, который приведён на рис. 1.

На основе анализа состояния проблемы оценки качества ИС определены важнейшие составляющие ускоренной оценки качества ИС, сформулированы основные задачи исследований в рамках настоящей диссертационной работы.

1.  Установить взаимосвязь конструктивно-технологических требованний с качеством ИС.

2. Исследовать влияние качества выполнения технологических опенраций и условий производства на качество микросхем.

3. Установить взаимосвязь дефектов и механизмов отказов микронсхем с технологическими операциями. Осуществить выбор контролирунемых параметров.

4. Разработать математическую модель определения эргономиченских характеристик оператора при визуальном контроле, не зависянщую от свойств контролируемой партии.

5. Разработать требования к процессам разработки и производства микросхем.

6. Дополнить и обосновать систему отбраковочных испытаний партий пластин и микросхем.

7. Определить номенклатуру конструктивно-технологических харакнтеристик ИС, элементов конструкции и кристалла и метода их физинко-технического анализа.

8. Определить нормы оценки качества по конструктивно-технологинческим характеристикам микросхем и элементам конструкции и криснталла.

               

       Нет

       

Да

Рис. 1.  Алгоритм физико-технической экспертизы

9. Разработать методики физико-технической экспертизы.

10. На основе физико-технического анализа разработать новый поднход к проведению ускоренных испытаний на влагостойкость.

11. Дать оценку возможности использования статистических методов контроля технологических процессов и рекомендации по их использованию.

12. Предложить метод статистического контроля технологических процессов изготовления микросхем для партий малого объема при прерывистом производстве.

13. Разработать две математические модели расчета надежностных характеристик СБИС на основе суперкристаллов, вероятности выхода годных на этапе производства и вероятности безотказной работы на этапе эксплуатации.

Вторая глава

Во второй главе содержатся требования к процедурам проектирования.

Главной задачей системы проектирования является обеспечение перевода требований технического задания в требования к материалам, элементам конструкции микросхем, технологии изготовления и производства партий микросхем, требования к полноте контроля, изготовления и испытаний микросхем.

При проектировании должно проводиться моделирование работы микросхем в условиях воздействия факторов, установленных в техническом задании для наихудшего сочетания факторов. Модели должны быть: обоснованы, апробированы, аттестованы, обеспечивать требуемую точность и реализовывать связь параметров моделей с режимами и условиями техпроцесса.

Проектирование технологии должно предусматривать моделирование и оптимизацию технологического процесса с целью снижения его чувствительности к изменению условий.

Процедуры проектирования должны предусматривать разработку необходимых тестовых структур находящихся в модулях рабочих или тестовых кристаллов для оперативной и достоверной оценки в процессе изготовления микросхем.

На этапе разработки должны быть разработаны, а на этапе производства проводится контроль тестовых структур, характеризующих возможные дефекты вызванные: 

- деградацией под влиянием горячих носителей;

- электромиграцией;

- времязависимым пробоем диэлектрика;

  - деградацией металлизированных дорожек и омических контактов.

Для оценки качества технологического процесса могут использоваться оценочные и демонстрационные схемы [17].

Типовые оценочные схемы должны соответствовать требованиям, установленным проектными нормами. Требования к электрическим нагрузкам и параметрам транзисторов и всех межсоединений должны устанавливаться по наиболее жесткому варианту нагрузки.

Разработчик обязан продемонстрировать возможность и стабильность всех операций, применяемых при контроле конструктивных, электрических и проектных норм.

Определены требования к техническим и программным средствам, информационному обеспечению. Разработчик должен иметь  банки (базы) данных и знаний, позволяющих структурировать, накапливать и использовать информацию, необходимую для выполнения проектирования конструкции и технологии изготовления.

Приведены требования к информационному обеспечению разработчика.

  Базы данных и знаний должны содержать:

- универсальные библиотеки, инвариантные к технологии производства:

- поведенческих моделей;

- фунционально-логических моделей;

- схемных  и приборных моделей;

- топологических моделей;

- условных графических обозначений;

- библиотеку конструктивно-технологических функциональных элементов;

- стандартные приемы разбиения микросхемы на структурно-функциональные части;

- модели  стандартных  внешних  факторов,  воздействующих на микросхемы;

- методы  преобразования  внешних  факторов,  действующих на микросхему, в наборы нагрузок, действующих на конструктивно-технологический функциональный элемент (КТФЭ);

- стандартные  значения  нагрузок,  действующих на КТФЭ и не влияющих на их работоспособность;

- перечень предельных значений нагрузок,  приводящих к нарушению функций КТФЭ или микросхемы в целом;

- правила  ранжирования нагрузок по значимости их влияния на функциональные запасы КТФЭ;

- библиотеку моделей, связывающих характеристики нагрузок со значениями конструктивно - технологических параметров КТФЭ;

- библиотеку стандартных механизмов отказов, включающую описание дефекта, условия возникновения дефекта, причины возникновения дефекта, условия и вероятность развития дефекта в отказ;

- методы обнаружения (контроля) дефектов;

- библиотеку стандартных конструктивно-технологических решений.

Определены требования к процессам производства:

• организации и управлению производством;
• обеспечению производства персоналом необходимой квалификации;
• обеспечению и управлению технической документацией;
• обеспечению производства технологическим, контрольно-измерительным, испытательным оборудованием и метрологическое обеспечение;
• обеспечению условий производства;
• обеспечению сырьем, материалами и комплектующими изделиями;
• обеспечению качества и управлению технологическим процессом изготовления микросхем;
• обеспечению идентификации и прослеживаемости изделий;
• организации проведения корректирующих воздействий;
• организации внутренних проверок системы качества;
• организации учета и анализу затрат на качество;
• системе статистического контроля и регулирования производства;
• программе обеспечения качества;
• организации обращения с готовой продукцией;
• организации обращения с продукцией не соответствующей требованиям нормативной документации;
• организации сбора, регистрации, обработки и хранения данных о качестве;
• организации технической помощи в применении микросхем;
• маркетинговая деятельность.

Важнейшим процессом производства, определяющим качество и надежность микросхем, является требование к обеспечению качества и управлению технологическим процессом изготовления микросхем.

Требования к технологическому процессу должны включать в себя, главным образом, требования к режимам проведения  технологических операций, межоперационным параметрам и допускам на них.

Обобщение данных маршрутных карт, а также данных по причинно-следственным связям позволило определить нормы и допуска на параметры технологического процесса.

Определены основные технологические операции (формирование диэлектрических слоев, литография и травление, формирование переходов, получение металлических слоев и др.), требования к ним, методы контроля технологических процессов.

Требования к процессу производства и технологическому процессу включены в [20].

Результаты исследований надежности и анализа отказов микросхем подтверждают необходимость проведения отбраковочных испытаний.

Исследования эффективности различных видов испытаний показывают, что в состав отбраковочных испытаний необходимо включать: термовыдержку, визуальный контроль, контроль герметичности, механические и климатические воздействия, электротермотренировку, функциональный контроль и контроль параметров в диапазоне температур.

Дополнена и обоснована система отбраковочных испытаний.

Сто процентные отбраковочные испытания позволяют выявлять потенциально ненадежные микросхемы. Для подтверждения необходимости и достаточности состава отбраковочных испытаний проводится контроль функционирования, измерение электрических параметров в диапазоне температур, испытания на воздействие изменения температуры среды, электротермотренировка и др.

Для партии микросхем объема N, определено n  видов дефектов, число отбраковочных микросхем будет а1, а2, а3 Е аn, общая совокупность дефектных микросхем равна 

       ,                 (2.1)

                                       

Показатели уровня качества на этапе проведения отбраковки равны

,               (2.2)

Уровень выходного качества, может быть определен после проведения на N/ микросхемах следующих испытаний. Он определяется отношением:

                               

  ,                  (2.3)

                                         

В качестве численного критерия оценки эффективности отдельных видов отбраковочных испытаний целесообразно взять улучшение выходного качества по сравнению  с уровнем качества на момент отбраковочных испытаний.

Коэффициент эффективности можно выразить:

,                 (2.4)

где        g1 - уровень качества на момент проведения отбраковки;

       g2 - уровень качества после операции отбраковки.

Соответсвующие виды отбраковочных испытаний целесообразны, если доля отбраковываемых микросхем на последующих испытаниях уменьшается. Коэффициент эффективности более нагляно выражается зависимостью

,                 (2.5)

Повышение эффективности отбраковочных испытаний может проводиться за счет выбора жесткости воздействующих факторов, увеличения длительности воздействий или использования дополнительных критериев отбраковки.

Определена возможность уменьшения планов контроля качества для функционально сложных микросхем.

юбая микросхема, независимо от степени интеграции, содержит одни и те же конструктивно-технологические элементы, количество которых изменяется в зависимости от степени сложности микросхемы. Микросхема может быть представлена физико-статистической моделью нормирования сложности. Такая модель считается справедливой только для обоснования объемов выборок при испытаниях микросхем. Количество эквивалентных элементов строго связывается с количеством конструктивно-технологических элементов в микросхеме, а следовательно, и со степенью интеграции. Такая связь может быть достигнута для целей оценки качества микросхем, если предопределить, что один элемент модели заменяет собой совокупность единичных конструктивно-технологических элементов согласно равенству:

nэх = g1+g2+ Е + gm+1= 1,                         (2.6)

где nэх =1  - эквивалентный элемент;

      g1,g2 Еgm - удельные веса отказов или частота отказов конструктивно-технологических элементов

Тогда общее число niх эквивалентных однотипных элементов, нормированных по числу отказов, для i- микросхемы любой сложности будет определяться формулой

niх= g1Ni1+ g2Ni2+  Е+ gmNim,                 (2.7)

,

где Nj(N1,N2ЕNm) - количество конструктивно-технологических элементов в j-ом направлении;

- общее число конструктивно-технологических элементов в микросхеме

Для микросхем с большей степенью интеграции должен подтверждаться не меньший уровень надежности, чем для исходной микросхемы. Это может быть обеспечено испытанием выборки с общим количеством эквивалентных элементов не менее nох nо.

Таким образом для одних и тех же условий и режимов испытаний можно записать

niх ni= nох nо ,

что позволяет определить объем выборки для i - микросхемы по формуле

                      (2.8)

или                                

,               (2.9)

Например, для проведения  кратковременных испытаний на безотказность  микросхем первой и второй степени интеграции объем выборки составляет 80 штук, а для микросхем восьмой степени интеграции - десять.

Третья глава посвящена исследованиям по определению элементов конструкции и кристалла, параметров и критериев ускоренной оценки качества микросхем.

Важнейшее значение в обеспечении надежности ИС имеет зандание и реализация конструктивно-технологических требований. Рассмотрено влияние на надежность ИС конструкции, элементов микнросхем, подложки, качества термокомпрессионных соединений, фотонрезиста, пассивации окисла, металлизации, корпуса и др. Не соблюндение требований к конструктивно-технологическим решениям привондит к возникновению различных видов дефектов. Так, например, нанличие кислородных выделяющихся фаз в кристалле может привести к чрезмерным токам утечки. Недостаточная толщина фоторезиста принводит к трещинам под действием напряжения. Смещенние масок может привести к разрывам в цепях. Чрезмерное напряженние в процессе термокомпрессии может привести к появлению трещин в контактных площадках. Проколы в фоторезисте приводят к коротким замыканиям. Расширение областей диффузии вызывает более низкое пробивное напряжение р-n переходов.

Исследована взаимосвязь видов дефектов и механизмов отканзов микросхем с технологическими операциями: термокомпрессией, фотолитографией, диффузией имплантацией, окислением, металлизациней.

Исследовано влияние качества материалов на надежность микросхем. Наибольшее влияние на надежность микросхем оказывают полупроводниковые материалы, фотошаблоны, корпуса.

Приведены аналитические соотношения по предельному отклоненнию значений удельного сопротивления по торцу слитка и площади пластины. В качестве критериев эффективности проектирования, а также качества выполнения технологических операций, обработки иснходных материалов предложены: однородность распределения удельного сопротивления по площади пластины;  однородность распределения времени жизни неосновных носителей заряда в слитках  и  пластинах монокристаллического кремния;  удельное  сопротивление  и толщины эпитаксиальных слоев  в  кремниевых  однослойных эпитаксиальных структурах; время жизни неосновных носителей заряда в эпитаксинальных слоях. Стабильность параметров ИС во многом определяется содержанием кислорода в кремнии, попадание которого возможно вследствие взаимодействия расплава с тиглем.

На основании обобщения материалов влияния реализации конструктивно-технологических требований, взаимосвязи видов денфектов и механизмов отказов микросхем с технологическими операцинями, качества материалов на качество ИС, а также анализа отказов микросхем, установлены причинно-следственные связи между видами, дефектами, характером их проявления, механизмами и причинами отнказов ИС, которые целесообразно использовать при установлении панраметров, критериев оценки качества микросхем при их физико-техннической экспертизе.

Переход к БИС существенно влияет на распределение отканзов, т. к. происходит уменьшение топологических размеров элеменнтов. Уменьшение геометрических размеров элементов делает необхондимым уменьшение электрических напряжений, толщины слоя окисла и металлического слоя, глубины диффузии и увеличение легирования. Это способствует возникновению различных типов отказов: кристалнлографические дефекты, пробой окисла, электропережоги металлизанции; коррозии металлизации.

Для достижения высокого качества, снижения стоимости и сокращения времени разработки должен быть изменен подход к органнизации создания БИС, заключающийся в том, чтобы перейти от решенния проблем к предупреждению их возникновения, от нормирования количественных показателей надежности к снижению количества отканзов и других проявлений ненадежной работы, от автоматизации отбнраковки дефектных изделий к исключению возможности появления денфектов за счет использования методов физико-технической экспертинзы микросхем.

Для количественного сертифицирования оператора при визунальном контроле целесообразно использовать математическое ожиданние c и σ "порога" принятия решения оператором. В основе определения этих метрологических характеристик лежит процедура разбраковки им некоторой контрольной партии изделий по двум пронизводственным нормам Yп1 и Yп2.

В этом случае величины С и σ определяются по формулам, полученным на основании выражений для рисков поставщика и заказчика (γ12, γ21):

,         (3.1)

,

где Z - решение уравнения:  exp (Ц) = 2  Z F (Z), 

а γ12 (П1), γ21 (П2), W (П1), W (П2) - апостериори известные значения рисков и коэффициента выхода годных изделий при разбраковке оператором контрольной партии.

Достоинство метрологических характеристик С и σ - возможность оценки точности операторов визуального контроля при работе с произвольными партиями изделий и, как следствие этого,  возможность сравнения и профессионального отбора операторов, оценка эффективности их работы в течение смены и от смены к смене, прогноз последствий работы операторов.

Четвертая глава  посвящена исследованиям по определению номенклатуры конструктивно-технологических характеристик микросхем, тестовых структур и метода их физико-технического анализа, разработке математических моделей расчета надежностных характеристик СБИС на основе суперкристаллов.

Параметры, предусмотренные техническими условиями (ТУ) для контроля качества ИС не в полной мере определяют их физическое состояние характеризующее надежность.

ИС со скрытыми дефектами, возможно, выявить при контроле дополнительных параметров путем сравнения с их усредненными значениями.

По характерным признакам и параметрам состояния, а также по показателям развития деградационных процессов, ряд методов позволяет определить виды и причины возникновения дефектов, приводящих к отказам ИС.

В ИС возможны дефекты элементов конструкции и кристалла, которые не выявляются при контроле параметров по ТУ и дополнительных. Для выявления ИС с такими дефектами предложено проводить оценку качества методом физико-технической экспертизы.

Комплексная физико-техническая экспертиза ИС заключается в системной оценке качества их проектирования и изготовления физико-техническим методом.

Цель экспертизы состоит в выявлении физического состояния ИС, скрытых дефектов и предпосылок к отказам.

Микросхемы характеризуются большим числом элементов конструкции и кристалла, параметров и критериев. Контроль качества по всем параметрам достаточно трудоемкий, длительный и дорогой. Необходимо найти определяющие параметры-критерии годности, по которым и следует проводить оценку качества ИС.

Выявление критичных и определяющих параметров предложено осуществлять на основе использования причинно-следственных связей между видами дефектов, характером их проявления и причинами отказов ИС.

Важным вопросом является правильное установление норм на параметры.

Основываясь на экспериментальных исследованиях по установлению причинно-следственных связей, определены элементы конструкции  и кристалла, параметры и критерии, нормы на них для оценки качества ИС.

Физико-техническая экспертиза при контроле корпуса и сбонрочных операций включает контроль:

герметичности, состава среды, содержания паров воды и проводимоснти,  коррозионной стойкости металлизации;

качества сварных соединений, покрытия, тестовых характеристик, качества металлизации.

При контроле качества кристалла осуществляется: проверка совмещения слоев;

контроль термостабильности диэлектрика;

оценка состава и дефектности диэлектрика;

контроль элементного состава, стабильность металлизации и электнромиграции, времени жизни неосновных носителей заряда, распреденления потенциалов.

При анализе результатов физико-технической экспертизы можно использовать метод статистического выборочного контроля, как наиболее точного при контроле по количественному признаку, Существуют выражения для расчета необходимого объёма выборки (z) по заданным рискам поставщика и заказчика, допустимым и недопустимым долям дефектных изделий в принятой партии.

Одним из главных факторов, определяющих эффективность ФТЭ, является разработка рационального маршрута проведения экспертизы.

Для выбора рационального маршрута Мопт предлагается использовать критерии:

,         (4.1)

где  z -  число ИС, используемых для проведения ФТЭ;

F(Mi)  -  функция эффективности  i-го маршрута ФТЭ;

  Pд, i  - статистическая вероятность обнаружения скрытых дефектов  при реализации i-го маршрута ФТЭ;

Е  -  множество методов, которые могут быть применены для ФТЭ

заданного типа СБИС:

  Мi Е  - вектор, характеризующий  i-ый маршрут ФТЭ.

       ,                               (4.2)

где  nд,j  - среднестатистическое нормированное число обнаруженных  скрытых дефектов при использовании на данном предприятии  j-го метода ФТЭ (отношение числа обнаруженных дефектов к общему числу СБИС, прошедших ФТЭ).

Применение критерия (4.1) возможно при наличии достаточного количества статистических данных по применению метода ФТЭ. Реализация указанного критерия предполагает выполнение последовательно трех принципов формирования маршрута ФТЭ:

1.  Включение в маршрут методов, наиболее информативных для данного типа ИС.

2. Приоритетность активных методов исследований над пассивными с целью выявления наибольшего количества скрытых дефектов.

3. Приоритетность  неразрушающих методов испытаний над разрушающими с целью минимизации числа ИС, требуемых для проведения ФТЭ.

Разработанный маршрут проведения физико-технической экспертизы, предусматривает диагностику по внешним выводам, контроль качества корпуса и сборочных операций, контроль качества кристалла.

Сокращённый маршрут физико-технической экспертизы приведён в таблице 1. Полная схема маршрута приведена в диссертации.

Предложена методика комплексной физико-технической экспертизы микросхем, заключающаяся в системной оценке качества их проектирования и изготовления методом физико-технической экспертизы, оперативном определении физического состояния ИС на всех стадиях их жизненного цикла, включая этапы приемки НИОКР.

Предложен порядок проведения физико-технической экспертинзы. Приведена процедура контроля статических, динамических и донполнительных параметров, диагностики по элементам и структурам, контроля качества кристалла.

При оценке качества СБИС методом физико-технической экспертизы, целесообразно определить такие показатели конструктивно-технологического уровня микросхем, как выход годных на этапе производства и вероятность безотказной работы на этапе эксплуатации.

В работе предложено для оценки этих характеристик СБИС на основе суперкристалла, представить микросхему в виде системы резервирования различного типа (с горячим и скользящим холодным резервом). В результате получены математические модели оценки вероятности выхода годных суперкристаллов с архитектурой Однородная вычислительная среда (ОВС) этапе производства:

                (4.3)

где  η - плотность дефектов на поверхности суперкристаллов;

nT - количество транзисторов в одном процессорном элементе;

Sn - площадь одного транзистора;

Nc  - число строк в суперкристалле;

Mc - число основных процессорных элементов (ПЭ) в строке;

m - число резервных ПЭ в строке. 

Аналогично получена модель расчета вероятности безотказной работы суперкристалла на этапе эксплуатации:

      (4.4)

где

m" - число резервных ПЭ в строке, оставшихся незадействованными на этапе производства;

P1 - вероятность безотказной работы одного ПЭ;

Pпр - вероятность подключения резервного ПЭ;

С - число сочетаний.

В результате исследований показано, что введение резервных процессорных элементов позволяет существенно увеличить его выход годных. При этом предложенный вариант группового резервирования с этой точки зрения является наиболее эффективным. Определено, что при такой системе резервирования возможно получение вероятности безотказной работы суперкристалла превышающей величину вероятности безотказной работы процессорных элементов, входящих в его состав.

Пятая глава посвящена систематизации и  разработке методик физико-технической экспертизы и использование ранее разработанных методик для оценки качества и надежности микросхем.

1. Методики диагностики микросхем по внешним параметрам.

Оценка стойкости микросхем к электрическим перегрузкам, анализ причин снижения электрической прочности микросхем и возникновения отказов, связанных с пробоями и утечками.

2. Методики контроля качества корпуса и сборочных операций:

- контроль газового состава  подкорпусного объема микросхем с использованием масс-спектрометра;

- методика контроля  элементного состава тонких диэлектрических и металлических слоев микросхем и качества золотого покрытия элементов корпуса;

- контроль теплового сопротивления микросхем;

- методика оценки стойкости алюминиевой металлизации микросхем к коррозии;

- методика контроля поверхностных и подповерхностных дефектов с помощью акустического микроскопа.

3. Методики контроля качества кристалла:

- методика оценки качества физической структуры микросхем с помощью параметрического тестового контроля;

- методика контроля толщины полупроводниковых и диэлектрических слоев с помощью микроспетрофотометра-толщинометра;

- методика контроля пористости  защитного диэлектрика на микросхеме;

- методика контроля распределения потенциалов;

- методика контроля термостабильности подзатворного  диэлектрика в металл-диэлектрик-полупроводник (МДП) структурах;

- методика контроля линейных размеров топологических элементов;

- методика измерения времени жизни неравновесных носителей заряда в кристаллах высокоомного монокристаллического кремния.

Шестая глава посвящена рассмотрению методов статистического контроля с учетом особенностей производства, возможности использования метода физико-технической экспертизы для ускоренной оценки влагостойкости  микросхем и других воздействующих факторов и разработке методики экономической эффективности физинко-технической экспертизы микросхем.

Проведен анализ методов статистического контроля. Даны рекомендации о возможности применения статистического контроля и регулирования технологического процесса с учетом особенностей производства.

Показана возможность использования коэффициента смещения для достижения технического или экономического  результатов.

Приведен метод статистического контроля технологических процессов изготовления интегральных микросхем для партий малого объема при прерывистом производстве.

В отличие от других методов статистического контроля, данный метод позволяет осуществлять управление технологическим процессом (ТП) при достаточно ограниченном объеме статистических данных и может быть применен, если объем выборки составляет не менее 5 контролируемых точек (n ≥ 5).

При нормальном распределении значений контролируемого параметра верхняя Xв и нижняя Xн толерантные (допустимые) границы определяются по формуле:

                       ,                                        (6.1)

где и Sj - среднее арифметическое и среднее квадратическое откнлонение по результатам испытаний выборки:

K = Kn (γ, P)- коэффициент, зависящий от уровня доверительной вероятности (достовернности) γ, при доле Р значений параметра, попадающих в определяемые границы при объеме выборки nj.

Таким образом, из формулы 6.1 видно что, при двухстороннем ограничении на параметр ширина толерантных границ прямо пропорциональна выборочному значению среднего квадратического отклонения и тем меньше, чем больше объем выборки.

       После проведения расчета толерантных границ для каждой партии осуществляется сравнение полученных значений и результатов измерений с нормами на параметр.

Разработанные методики ФТЭ могут быть использованы для ускоренной оценки влагостойкости интегральных микросхем в герметичных менталлокерамических,  керамических, металлостеклянных и стеклокеранмических корпусах, имеющих свободный внутренний объем.

Вместо известного способа проведения длительных испытаний на влагостойкость  в течение 56 суток была проведена оценка влагостойкости в течение 10 часов, по величине количества водяных паров в подкорпусном объеме (не более 5000 ppm) и оценке коррозионной устойчивости металлизации (по величине (локальной) коррозии).

Рассмотрена возможность использования методов физико-техннической экспертизы для других внешних воздействующих факторов, в том числе длительных испытаний на долговечность в электрическом режиме при повышенной температуре, а также используемых в настоянщее время ускоренных испытаний в форсированных режимах. При этом физико-техническими методами проводится оценка старения "горячих" носителей, электромиграции,  зависимости  пробоя  диэлектрика  от времени.

Показано, что методами физико-технической экспертизы возможно проводить оценку правильности разработки по величине тепловых полей и электрических потенциалов. Если указанные характеристики не пренвышают установленных критериев, то микросхема спроектирована пранвильно и ее конструкция будет обеспечивать требуемые условия экснплуатации.

Показано, что проведя физико-техническую экспертизу эленментов конструкции микросхемы и микросхемы в целом можно опреденлить ее устойчивость к внешним воздействующим факторам, оценить качество.

При подтверждении результатов физико-технической экспертизы результатами натурных испытаний можно в дальнейшем процессе пронизводства микросхем отказаться от проведения натурных, длительных дорогостоящих испытаний.

Предложена методика экономической эффективности физико-технической экспертизы микросхем путем сопоставления затрат на проведение физико-технической экспертизы с затратами, связанными с испытаниями по выявлению качества ИС традиционными натурными методами. Приведены соответствующие аналитические выражения.

В приложении приведены акты внедрения.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

1. Поставленная в работе задача по ускоренной оценке качества микросхем методами физико-технической экспертизы решалась на осннове теоретических и экспериментальных исследований, включающих:

- исследования влияния взаимосвязи и реализации конструктивнно-технологических решений на качество микросхем;

- исследование и выявление взаимосвязи видов дефектов и механизнмов отказов микросхем с качеством технологических операций и применяемых материалов;

-  разработку требований к процедурам проектирования, информационному обеспечению, тестовым структурам контроля параметров пластин, технологии, оценочных, демонстрационных и рабочих микросхем, библиотеке элементов и проектным нормам;

-  разработку требований к процессам производства, технологическому процессу изготовления микросхем;

- разработку математической модели оценки точности визуального контроля при физико-технической экспертизе микросхем;

-  дополнение и  обоснование оптимальной системы отбраковочных испытаний;

- определение возможности уменьшения планов контроля при испытаниях  микросхем повышенной функциональной сложности

- определение номенклатуры конструктивно-технологических характенристик микросхем, элементов, тестовых структур и метода их физинко-технического анализа;

- разработку надежностных характеристик СБИС на основе суперкриснталлов;

- установление параметров, критериев и норм оценки качества микнросхем по конструктивно-технологическим характеристикам и тестонвым структурам;

- разработку порядка и маршрута физико-технической экспертизы микросхем;

- разработку и использование ранее разработанных методик для физико-технической экспертизы микросхем;

- проведение комплексной физико-технической экспертизы микросхем;

- проведение ускоренной оценки качества микросхем;

- рассмотрения возможности использования предлагаемой методики ускоренной оценки качества микросхем для других внешних воздейснтвующих факторов и в целом оценки качества микросхем;

Теоретические и физические исследования базируются на экспенриментальных исследованиях причинно-следственных связей дефектов и отказов микросхем с конструктивно-технологическими характериснтиками, технологическими операциями, качеством материалов (стантистических обобщений за многие годы проведения анализа отказов микросхем).

2. В результате экспериментальных исследований установлены:

- метод статистического контроля технологических процессов изготовления микросхем для партий малого объема при прерывистом производстве;

- влияние конструктивно-технологических решений, технологических операции, качества материалов на качество ИС. Наибольшее влияние на качество микросхем оказывают: технологические операции термонкомпрессия и фотолитография, полупроводниковые материалы, фотошабнлоны, корпуса.

- элементы, структуры, параметры и критерии оценки качества микнросхем которые, целесообразно использовать при физико-технической экспертизе ИС.

Разработан маршрут проведения физико-технической экспертизы микросхем.

Проведена ускоренная  оценка  влагостойкости  микросхем.

3. На основе исследований получены следующие результаты.

Проведена оценка возможности и даны рекомендации по применению методов статистического контроля и регулирования технологических процессов.

Разработан метод статистического контроля и регулирования технологических процессов, основанный на использовании толерантных пределов для проведения контроля технологических процессов при ограниченном объеме статистических данных и позволяющий осуществить статистический контроль качества при прерывистом производстве и поставках микросхем малыми партиями.

Разработаны требования к процедурам проектирования, информационному обеспечению, тестовым структурам контроля параметров пластин, технологии, оценочных, демонстрационных и рабочих микросхем, библиотеке элементов и проектным нормам.

Дополнена и обоснована система отбраковочных испытаний пластин и микросхем.

Определена возможность уменьшения планов контроля при испытаниях микросхем повышенной функциональной сложности.

Предложен метод  ускоренной оценки качества микросхем методом физико-технической экспертизы (выявление физического состояния ИС, скрытых дефектов и предпосылок к отказам.).

На основе причинно-следственных связей отказов с конструктинвно-технологическими характеристиками, технологическими операциянми и качеством материалов определены структуры, элементы и узлы ИС, подлежащие экспертизе и проверяемые показатели для них.

Разработан рациональный маршрут проведения экспертизы, провернки параметров, элементов, структур и микросхем в целом.

Физико-техническая экспертиза при контроле сборочных операций включает контроль: герметичности, состава среды, содержание паров воды и проводимости, коррозионной стойкости.

При контроле качества кристалла осуществляется: проверка совнмещения слоев, контроль термостабильности диэлектрика, оценка сонстава и дефектности диэлектрика, контроль элементного состава, стабильности металлизации, электромиграции, времени жизни неоснонвных носителей заряда, распределение потенциала.

Определен перечень методик, используемых при проведении физинко-технической экспертизы ИС.

Установлены, критерии оценки (значений показателей) при пронверке структур, элементов и узлов.

Разработаны, уточнены методики для оценки качества микросхем.

На основе решения уравнения для рисков поставщика и заказчика разработана модель оценки эргономических характеристик оператора при визуальном контроле.

Предложен метод распределенного скользящего резервирования при кластерной организации матрицы процессорных элементов и 30 процентной аппаратной избыточности для серийного производства суперкнристаллов со структурой типа однородная вычислительная среда (ОВС).

Получены соотношения для оценки вероятности выхода годных на этапе производства и вероятности безотказной работы на этапе экснплуатации суперкристаллов ОВС.

Определен порядок проведения физико-технической экспертизы микросхем.

Приведена процедура контроля статических, динамических и донполнительных параметров, диагностики по элементам и структурам, контроль качества кристалла.

Приведены аналитические  соотношения  расчета  статистических показателей качества ИС.

Показана возможность использования  методики ускоренной оценки влагостойкости микнросхем методом физико-технической экспертизы.

Показана возможность ускоренной оценки качества микросхем при воздействии других внешних факторов, в том числе длительных испынтаний на наработку до отказа.

Методами физико-технической экспертизы возможно проводить оценку оптимальности разработки ИС по величине тепловых полей и электрических потенциалов.

Приведены аналитические соотношения по предельному отклонению значений удельного сопротивления по торцу слитка и площади пласнтины. В качестве критериев эффективности проектирования, а также качества выполнения технологических операций, обработки исходных материалов предложены: однородность распределения удельного сопнротивления по площади пластины, однородность распределения временни жизни неосновных носителей заряда в слитке и пластинах монокнристаллического кремния; удельное сопротивление и толщина эпитакнсиальных слоев в кремниевых однослойных эпитаксиальных структурах.

Предложена методика оценки экономической эффективности опренделения качества ИС методами физико-технической экспертизы.

4.  Результаты работы реализованы.

Общие положения обеспечения и контроля качества микросхем включены в ОСТ В 11 0998 Микросхемы интегральные. Общие техничесике условия.

Требования к информационному обеспечению, тестовым структурам контроля параметров пластин, технологии, оценочных, демонстрационных и рабочих микросхем, библиотеке элементов и проектным нормам включены в ОСТ 11 0999 Микросхемы интегральные. Обеспечение качества в процессе разработки. Требования к системе качества разработки.

Требования к процессам производства включены в стандарт ОСТ 11 20.9926 Микросхемы интегральные. Требования к элементам производства. Сертификация систем качества и производств.

Оценка возможности использования и особенностей применения методов статистического контроля и регулирования технологического процесса включена в стандарт ОСТ 11 14.1011 Микросхемы интегральные. Система и методы статистического контроля и регулирования технологического процесса.

Требования к технологическому процессу включены в стандарт
ОСТ 11 14.1012 Микросхемы интегральные. Технические требования к технологическому процессу. Система и методы операционного контроля.

Элементы, структуры, параметры критерии, маршрут, порядок проведения и методики физико-технической экспертизы включены
в РД 22.12.174 "Микросхемы интегральные. Порядок и методы провендения физико-технической экспертизы при оценке качества". РД  включен в комплекс стандартов на микросхемы (ОТУ).

5.  Внедрение разработанных предложений по обеспечению качества, в том числе метода физико-технической экспертизы в процесс разработки и производства, для контроля качества микросхем при изгонтовлении и выходном контроле, способствовало повышению качества микросхем.

Апробация положений диссертационной работы подтверждается тем, что все основные результаты включены в нормативно-техничеснкую документацию, регламентирующую оценку качества микросхем, обнсуждены на международных научно-технических конференциях.

Требования разработанных стандартов реализованы в стандартах предприятий разработчиков-изготовителей микросхем (ОАО Ангстрем, ОАО НИИМЭ и Микрон, г. Зеленоград, ФГУП НПП Восток, г. Новосибирск, ФГУП  НИИЭТ, г. Воронеж  и др.).

Основные положения и научные результаты диссертации опубликованы в следующих работах:

1.  Дорошевич В.К., Мальцев П.П. Новый подход к проведению усконренных испытаний микросхем. МО РФ "Фундаментальные и поисковые исследования в интересах страны", вып. 77-78, 1993.

2. Дорошевич В.К., Мальцев П.П. Взаимосвязь видов, причин и менханизмов отказов микросхем. МО РФ "Фундаментальные и поисковые исследования в интересах страны", вып. 77-78, 1993.

3. Дорошевич В.К., Дорошевич К.К., Критенко М.И. Комплексная оценка качества микросхем. МО РФ "Фундаментальные и поисковые исследования в интересах страны", вып. 77-78, 1993.

4. Гамкрелидзе С.А., Дорошевич В.К. Анализ эффективности реалинзации схем встроенного контроля в суперкристаллах. Труды 22 ЦНИнИИ МО. Вып. 42, 1992.

5.  Гамкрелидзе С.А., Дорошевич В.К., Седов В.С. Расчет выхода годных суперкристаллов с архитектурой типа "Однородная вычислинтельная среда". Международная научно-техническая конференция "Микроэлектроника и информатика". Тезисы докладов. М., 1993.

6. Бондаревский А.С., Дорошевич В.К., Попова А.Н. Метрологичеснкая аттестация опраторов визуального контроля в производстве ИС. Труды Международной Академии информатизации. Отделение микроэнлектроники и информатики. М., Зеленоград. Вып.1., 1994.

7. Дорошевич В.К., Перязев А.Н. Экономические аспекты критериев точности и настроенности технологических процессов. Материалы Международной научно-практической конференции Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения, М.: Часть 3, 2004, 253 с.

8. Дорошевич В.К. Влияние качества материалов на качество микросхем, 234 Материалы международной научно-технической конференции фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения, 25-28, 10, 2005 г., Москва.

9. Дорошевич В.К. Влияние технологических операций на качество микросхем, 237 Материалы международной научно-технической конференции фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения, 25-28, 10, 2005 г., Москва.

10. Дорошевич В.К. Рекомендации к построению и содержанию нормативной документации предприятий по статистическому контролю и регулированию технологических процессов микросхем, 26-18, Нано- и микросистемная техника №6, 2008 г., Москва

11. Дорошевич В.К. Методы статистического контроля технологического процесса изготовления микросхем  и порядок их применения, 13-14, Нано- и микросистемная техника №7, 2008 г., Москва

12. Дорошевич В.К. Требования к системе проектирования микросхем, 32-33, Нано- и микросистемная техника №5, 2008 г., Москва

13. Дорошевич В.К. Требования к обеспечению качества и управлению технологическим процессом изготовления микросхем, 21-23, Нано- и микросистемная техника №9, 2008 г., Москва

14. Дорошевич В.К. Переключающие испытания микросхем, ОСТ 11а073а013 Микросхемы интегральные. Методы испытаний, дополнение № 1, ФГУП л22 ЦНИИИ Минобороны России, 2003.

15. Дорошевич К.К., Критенко М.И., Баринов П.Е, Дорошевич В.К, и др.

Методики  физико-технической  экспертизы ИС.  Приложение к РД 22.12.174-94 "Микросхемы интегральные порядок и методы проведения физико-технической экспертизы при оценке качества" , Изд-во Минобороны, 1994.

16. РД 22.12.174-94 "Микросхемы интегральные порядок и методы проведения физико-технической экспертизы при оценке качества"./ ответственный исполнитель/, Изд-во Минобороны, 1994.

17.  ОСТ 11 0999-99 Микросхемы интегральные. Обеспечение качества в процессе разработки. Требования к системе качества разработки, /ответственный исполнитель/,: Изд-во Минобороны, 1999.

18.  ОСТ 11 20.9926-99 Микросхемы интегральные. Требования к элементам производства. Сертификация систем качества и производств, /ответственный исполнитель/,: Изд-во Минобороны, 1999.

19. ОСТ 11 14.1011-99 Микросхемы интегральные. Система и методы статистического контроля и регулирования технологического процесса , /ответственный исполнитель/,: Изд-во Минобороны, 1999.

20.  ОСТ 11 14.1012-99 Микросхемы интегральные. Технические требования к технологическому процессу. Система и методы операционного контроля, /ответственный исполнитель/,: Изд-во Минобороны, 1999.

21.  ОСТ В 11 0998-99 микросхемы интегральные. Общие технические условия, /ответственный исполнитель/,: Изд-во Минобороны, 1999.

22.  ОСТ В 11 1010-2001 Микросхемы интегральные, бескорпусные. Общие технические условия, /ответственный исполнитель/,: Изд-во Минобороны, 2001.

23.  ОСТ В 11 1009-2001 Многокристальные модули, микросборки. Общие технические условия, /ответственный исполнитель/, ФГУП л22 ЦНИИИ Минобороны России, 2001.

24. ОСТ 11 1000-99 Микросхемы интегральные. Типовая форма программы обеспечения качества, /ответственный исполнитель/, ФГУП л22 ЦНИИИ Минобороны России, 1999.

25. Методика сравнительных испытаний конструкций СБИС с суперкнристаллами, / ответственный исполнитель/. Инв. 938, 22 ЦНИИИ МО, 1993.

26. Отчет по НИР "Исследование областей военно-технического применнения, методов обеспечения дефекто-отказоустойчивости, контролепнригодности и конструктивного исполнения суперкристаллов", "Электроника ВСН-ВНС" /ответственный исполнитель/. Инв. 948, 22 ЦНИИИ МО, 1993.

27. Отчет по НИР "Исследование областей военно-технического применнения, методов обеспечения отказоустойчивости, контролепригодноснти и разработка методологии испытаний суперкристаллов для высонкоскоростных систем обработки данных", "Электроника ВСН-ВНС"/отнветственный исполнитель/. Инв. 949 , 22 ЦНИИИ МО, 1993.

28. Отчет по НИР "Исследование влияния на суперкристаллы специальнных воздействующих факторов","Электроника ВСН-ВНС"/ответственный исполнитель/. Инв. 950, 22 ЦНИИИ МО, 1993.

29. Отчет по НИР "Исследование областей военно-технического применнения, методов обеспечения дефекто-отказоустойчивости, контролепнригодности и разработка методологии испытаний суперкристаллов для высокоскоростных систем обработки данных", (анализ архитектур вынчислительных систем на суперкристалле),"Электроника ВСН-ВНС" /отнветственный исполнитель/.  Инв. 935, 22 ЦНИИИ МО, 1991.

30.  Временное положение определяющее требования к обеспечению качества, правилам приемки и поставки интегральных микросхем с субмикронными размерами элементов, выпускаемых малыми партиями на автоматизированном комплексе, /ответственный исполнитель/, ФГУП л22 ЦНИИИ Минобороны России, 2003.

31. Отчетные материалы по НИР Осень-1, Разработка нового поколения стандартов Минобороны России на интегральные микросхемы и их опробование на предприятиях промышленности, /ответственный исполнитель/, ФГУП л22 ЦНИИИ Минобороны России, 1995.

32. Отчетные материалы по НИР Осень-2, Исследование процессов конструктивно-технологического построения микроэлектронных датчиков и разработка требований по оценке их качества и надежности в интересах роботизированных РЭСВ, /ответственный исполнитель/, ФГУП л22 ЦНИИИ Минобороны России, 1995.

33. Отчетные материалы по НИР Осень-5, Разработка требований к технологическому процессу изготовления высокоинтегрированных изделий микроэлектроники, элементам системы качества, порядку и методам аттестации изготовителей, /ответственный исполнитель/, ФГУП л22 ЦНИИИ Минобороны России, 1997.

34. Отчетные материалы по НИР Осень-6, Разработка требований к системе и методам статистического контроля и регулирования технологического процесса изготовления микросхем, /ответственный исполнитель/, ФГУП л22 ЦНИИИ Минобороны России, 1997.

35. Отчетные материалы по НИР Осень-3-22, Разработка требований Минобороны России по обеспечению качества изделий микроэлектроники сверхвысокой функциональной сложности на основе гибридной технологии, /ответственный исполнитель/, ФГУП л22 ЦНИИИ Минобороны России, 1999.

36. Отчетные материалы по НИР Осень-7, Исследования по развитию методов испытаний интегральных микросхем, дополнению и корректировке действующей нормативной документации, /ответственный исполнитель/, ФГУП л22 ЦНИИИ Минобороны России, 2003.

37.  Отчет по НИР Разработка предложений по реализации требований нового поколения НД на микросхемы в НД на разработку и производство интегральных микросхем с субмикронными размерами элементов, выпускаемых на автоматизированном производстве. Шифр Кластер-М-22, /заместитель научного руководителя/, ФГУП л22 ЦНИИИ Минобороны России, 2004.

38. Отчет по НИР Определение требований к обеспечению качества, правилам приемки и поставки интегральных микросхем с субмикронными размерами элементов, выпускаемых малыми партиями на автоматизированном комплексе, Шифр Технология-22, /заместитель научного руководителя/, ФГУП л22 ЦНИИИ Минобороны России, 2003.

39. Отчетные материалы по НИР Принцесса, Обобщение и анализ результатов внедрения требований Минобороны России по обеспечению качества микросхем на этапе разработки и производства. Разработка предложений по дополнению и уточнению ОСТ В 11 0998-99 Микросхемы интегральные. Общие технические условия, /ответственный исполнитель/, ФГУП л22 ЦНИИИ Минобороны России, 2005.

40. Отчетные материалы по НИР Принцесса, Обобщение и анализ результатов внедрения требований Минобороны России по обеспечению качества микросхем на этапе разработки и производства. Разработка предложений по дополнению и уточнению ОСТ В 11 1010 Микросхемы интегральные бескорпусные. Общие технические условия, /ответственный исполнитель/, ФГУП л22 ЦНИИИ Минобороны России, 2005.

41. Отчет по НИР Исследования и анализ номенклатуры изделий ЭРИ межвидового применения, изготавливаемой предприятиями государств-участников СНГ в интересах разработки (модернизации) и производства  российских ВиВТ (шифр ВЭС-2007а-а22 ЦНИИИ), / научный руководитель/, ФГУ л22 ЦНИИИ Минобороны России, 2008.

42. Дорошевич В.К., Истомин Е.В., Щербаков С.В., Старостин О.В., Циникин А.П., Дегтярев Е.В., Толкачев А.А., Кулага И.Г., Игнатьев В.В., Суслов В.М., Долидзе В.Ч.,  Перечень  электрорадиоизделий, разрешенных к применению при  разработке  (модернизации), производстве и эксплуатации  аппаратуры,  приборов, устройств и оборудования военного назначения, МОП 44 001.01-21 2008

43. Отчет по НИР Исследование нормативно-правового и организационно-методического обеспечения проведения работ по снятию с производства изделий электронной техники и разработка макета специального программного обеспечения для автоматизации их информационного сопровождения (шифр Феонит),  / научный руководитель/, ФГУ л22 ЦНИИИ Минобороны России, 2008.

44. Отчет по НИР Военно-научное сопровождение комплекса работ по организации планирования производства номенклатуры электро-радиоизделий категории качества ОС, необходимой для комплектации высоконадежной радиоэлектронной аппаратуры при разработке (модернизации) и производстве образцов ВВТ в соответствии с ГПВ (шифр Шагомер),/  заместитель научного руководителя/, ФГУ л22 ЦНИИИ Минобороны России, 2008.

45. Отчет по НИР "Комплексное исследование проблем организации, дальнейшего развития и использования единой системы каталогизации предметов снабжения ВС РФ как составной части Федеральной системы каталогизации продукции для федеральных государственных нужд" (шифр "КодировщикЦ3"), / заместитель научного руководителя/, ФГУ л22 ЦНИИИ Минобороны России, 2008.

46. Дорошевич В.К., Истомин Е.В., Щербаков С.В., Старостин О.В., Вдовенко В.С., Криницкий А.В., Дегтярев Е.В., Толкачев А.А., Кулага И.Г., Семенчук В.В., Фионов А.Н., Долидзе В.Ч.,  Перечень  электрорадиоизделий, разрешенных к применению при  разработке  (модернизации), производстве и эксплуатации  аппаратуры,  приборов, устройств и оборудования военного назначения, МОП 44 001.01-21 2009.

47. Отчет по НИР Исследования и анализ номенклатуры изделий ЭРИ межвидового применения, изготавливаемой предприятиями государств-участников СНГ в интересах разработки (модернизации) и производства российских ВиВТ (шифр Кооперация 2009 -22 ЦНИИИ), / заместитель научного руководителя/, ФГУ л22 ЦНИИИ Минобороны России, 2009.

48. Отчет по НИР л"Комплексное исследование проблем организации, дальнейшего развития и использования единой системы каталогизации предметов снабжения ВС РФ как составной части Федеральной системы каталогизации продукции для федеральных государственных нужд" (шифр Кодировщик-3), / заместитель научного руководителя/,
ФГУ л22 ЦНИИИ Минобороны России, 2009.

Авторефераты по всем темам  >>  Авторефераты по техническим специальностям